TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCII KIOA HÀ NỌI LUẬN VĂN THẠC SĨ XAY DUNG QUY TRINITINEU CIIUAN DO PIIANG CUA CHL TIẾT QUANG HỌC SU DUNG MAY GIAO THOA LASER Toc vien: NGUYEN PID VU Mã học viên: CBI800108 Lớp: 2018B. Giảng viên hướng dẫn: PGS. VŨ TOÀN TIIÁNG Viện: CƠ KHÍ IIa Nội, 05/2020 ĐỀ TÀI LUẬN VĂN XAY DUNG QU TRÌNH HIỆ CHUAN )O PHANG CUA CHÍ TIẾT QUANG HOC SU DUNG MAY GIAO THOA LASER Giáng viên hướng dẫn PGS.TS Vũ Toàn Thắng Lời cam đoan Tôi xin cam đoan những kết quả có trong Tuân văn là do bản thân tôi thực hiện dưới sự hướng dẫn của thầy giáo PGS.L5 Vũ Toản Thắng, các số liệu và kết quả thực nghiệm là trưng thực và chưa được ai công bố trong bất cứ công trỉnh nào khác. 'Tôi xin gửi lời cảm ơn chân thanh đến giảng viên hướng dẫn đã định.
hướng đề tài phù hợp dé kết hợp được quá trình nghiên cứu bám sát công việc thực tiễn. Cảm ơn các thầy cô giáo trong bộ môn đã có những đóng góp ý kiến rất sâu sắc để tôi có thể hoàn thiện hơn về những kiến thức trong luận văn. Cảm ơn các đồng nghiệp ở Viên do lường Việt Nam đã giúp dỡ tận tỉnh vả tạo điều kiện tốt nhất cho cả nhân tôi có thể hoàn thành được đề tải, Luan van dược tải trợ bởi dễ tải B2018-BKA07-CTVI, Học viên Nguyễn Phi Vũ DÁNIIMỤC BẢNG BIẾU Bimy 1. Độ dài kết hợp của một số laser thông dụng ba t Bảng 2: Các thiết bị sử dụng.
Cáo thành phần chỉnh của giao thoa kế 41 4 Bảng 1*: ác phép hiệu chuẫn Tầng 2* : Phương tiện hiệu chuẩn. Các thành phần độ không đảm bảo đo. 54 TOM TAT LUAN VAN Ho va tén học viên: Nguyễn Phi Vũ Chuyên ngành: Kỹ thuật cơ khí MSIIV: CB180008 l.CTM Giảng viên hướng dẫn: PG%.I% Vũ Toàn Thắng Tên đề tài: Xây dựng quy trình hiệu chuẫn độ phẳng của chỉ tiết quang học sử dụng máy giao thoa lascr. Tóm tắt: Từ thực tiễn quy trình hiệu chuẩn dé phẳng chỉ tiết quang học ở ViệL Nam hiện tại vẫn chưa có, trên cơ sở đã có thiết bị giao thoa kế và tim chuẩn phẳng, có thể sử dụng để thực biện các thi nghiệm đánh giá, tôi đã chọn để tải luận văn là “Xây dựng quy trình hiệu chuẩn dộ phẳng của chỉ tiết quang học sử dụng máy giao thoa laser”.
Luận văn trình bảy về những đặc điểm tính chất của các thiết bị dược hiệu chuẩn, về cầu tạo, nguyên lý hoạt dộng của thiết bị dược sử dung lam chuẩn đo lường, Từ đó xây dựng một quy trinh để tiến hành hiệu chuẩn. một cách chính xác nhất, hạn chế tối da ảnh hưởng của những yếu tổ môi trường. Bên cạnh đó, luận văn cũng trinh bày giải pháp kỹ thuật để gia tăng độ chính xác khi hiệu chuẩn và giảm thiểu chỉ phí trang bị Kết quả đo đối chiếu với chứng nhận của nhà sản xuất dầm bão nằm trong vùng sai số cho phép.2 Muc tiéu otia dé tai 2 1.3 _ Phương pháp nghiên cửu 141 Vé mat ly thuyé 2 1.2 Vẻ mặt thực tiến:. HH HH HH2.
rà * CHƯƠNG 2. TONG QUAN vin HIEU CHUAN DO PHANG. 21 Dinhnghĩavẻ độ phẳng. Tam quan trong cia viée hiệu chuẩn độ phẳng, ".
Các phương pháp hiệu chuẩn độ phẳng. Những yêu cầu cẩn dại được của hiệu chuẩn độ phẳng.5 Chủ phi và sự rúi ro của việc không hiệu chuẩn dộ phẳng. CƠ SỞ LÝ THUYẾT TEU CHUAN TAM PI QUANG HỌC.1 _ Tâm phẳng quang học 3.1 Khái niệm vẻ tâm phẳng quang học.2 Cáo loại lâm phẳng quang học 7 3.3 Công dụng của lắm chuẩn phẳng quang học 8 3.4 Đệ chính xác và sai số. Vệ sinh và bảo quản.2 Tia Laser va cdc tính chất đặc biệt - " 3.1 Dộ đơngắc cao.
Độ kết hợp cao.à so eererrerriiereeeroer TỔ Dộ định hưởng cao. Cö khả năng hội ty cao.5 Các mô hình giao thoa kế thông dụng - 19 3.51 Giao thoa ké Michelson - - 20 3.2 Giao thoa ké Mach-Zehnder 21 3. Giao thoa kế Twyman - Green ^¬ 3.6 __ Yếu tổ chính ảnh hưởng đến giao thoa kế laser.1 Ảnh hưởng của môi trưởng đến giao thoa kế Laser. 23 DÁNIIMỤC BẢNG BIẾU Bimy 1.
Độ dài kết hợp của một số laser thông dụng ba t Bảng 2: Các thiết bị sử dụng. Cáo thành phần chỉnh của giao thoa kế 41 4 Bảng 1*: ác phép hiệu chuẫn Tầng 2* : Phương tiện hiệu chuẩn. Các thành phần độ không đảm bảo đo.2 Muc tiéu otia dé tai 2 1.3 _ Phương pháp nghiên cửu 141 Vé mat ly thuyé 2 1.2 Vẻ mặt thực tiến:. HH HH HH2.
rà * CHƯƠNG 2. TONG QUAN vin HIEU CHUAN DO PHANG. 21 Dinhnghĩavẻ độ phẳng. Tam quan trong cia viée hiệu chuẩn độ phẳng, ".
Các phương pháp hiệu chuẩn độ phẳng. Những yêu cầu cẩn dại được của hiệu chuẩn độ phẳng.5 Chủ phi và sự rúi ro của việc không hiệu chuẩn dộ phẳng. CƠ SỞ LÝ THUYẾT TEU CHUAN TAM PI QUANG HỌC.1 _ Tâm phẳng quang học 3.1 Khái niệm vẻ tâm phẳng quang học.2 Cáo loại lâm phẳng quang học 7 3.3 Công dụng của lắm chuẩn phẳng quang học 8 3.4 Đệ chính xác và sai số. Vệ sinh và bảo quản.2 Tia Laser va cdc tính chất đặc biệt - " 3.1 Dộ đơngắc cao.
Độ kết hợp cao.à so eererrerriiereeeroer TỔ Dộ định hưởng cao. Cö khả năng hội ty cao.5 Các mô hình giao thoa kế thông dụng - 19 3.51 Giao thoa ké Michelson - - 20 3.2 Giao thoa ké Mach-Zehnder 21 3. Giao thoa kế Twyman - Green ^¬ 3.6 __ Yếu tổ chính ảnh hưởng đến giao thoa kế laser.1 Ảnh hưởng của môi trưởng đến giao thoa kế Laser. 23 DÁNIIMỤC BẢNG BIẾU Bimy 1.
Độ dài kết hợp của một số laser thông dụng ba t Bảng 2: Các thiết bị sử dụng. Cáo thành phần chỉnh của giao thoa kế 41 4 Bảng 1*: ác phép hiệu chuẫn Tầng 2* : Phương tiện hiệu chuẩn. Các thành phần độ không đảm bảo đo. 54 Chính vì thể tôi chọn đề tài nghiên cứu về đề tài: | Xây dựng quy trình hiệu chuân độ phang chỉ tiết quang hoc bang phương pháp giao (hoa sử dụng máy giao thua laser.
1⁄2 Mục tiêu của đề tài Xây dựng một quy trình hiệu chuẩn dùng để hiệu chuẩn độ phẳng của 14m quang phẳng sử dụng hệ do giao thoa Laser Cân đảm báo được trình tự quy trinh hợp lý, các thao tác dễ hiểu, đầm bao độ chính xác của kết quả đo, xác định được các yếu tổ ánh hưởng đến kết quá do, cách khắc phục những ảnh hưởng đó 1⁄3 Thương pháp nghiên cứu Quá trình nghiên cứu sử đụng phương pháp lý thuyết kết hợp với thực hành thí nghiệm 13.1 Vềmặtlý thuyết: -_ Nghiên cứu tính chất đặc didm cua tia laser dược sử dụng trong thiết bị - Nghién cửu, tìm hiểu về phương pháp giao thoa. - Tim hiểu nguyên lý hoạt động của thiết bị piao thoa kế ~_ Vận dụng những kiến thức tìm hiểu được để xác định phương pháp đo độ phẳng bằng phương pháp giao thoa sử dụng giao thoa kế. - Nghiên cửu về cách ước lương dé không đầm bảo đo.2 VỀ mặt thực tiễn: - Tiên hành thực hiện do thử nghiệm nhiễu lần, phi kết quả và xử lý kết quá đo theo các công thức đã xây đựng được. - Thay déi các yếu tổ tác đông dễ dánh giá mức độ ảnh hưởng của từng loại đến kết quả đo.
Lừ đó đưa ra các giải pháp để phép đo chính xác nhất tà TOM TAT LUAN VAN Ho va tén học viên: Nguyễn Phi Vũ Chuyên ngành: Kỹ thuật cơ khí MSIIV: CB180008 l.CTM Giảng viên hướng dẫn: PG%.I% Vũ Toàn Thắng Tên đề tài: Xây dựng quy trình hiệu chuẫn độ phẳng của chỉ tiết quang học sử dụng máy giao thoa lascr. Tóm tắt: Từ thực tiễn quy trình hiệu chuẩn dé phẳng chỉ tiết quang học ở ViệL Nam hiện tại vẫn chưa có, trên cơ sở đã có thiết bị giao thoa kế và tim chuẩn phẳng, có thể sử dụng để thực biện các thi nghiệm đánh giá, tôi đã chọn để tải luận văn là “Xây dựng quy trình hiệu chuẩn dộ phẳng của chỉ tiết quang học sử dụng máy giao thoa laser”. Luận văn trình bảy về những đặc điểm tính chất của các thiết bị dược hiệu chuẩn, về cầu tạo, nguyên lý hoạt dộng của thiết bị dược sử dung lam chuẩn đo lường, Từ đó xây dựng một quy trinh để tiến hành hiệu chuẩn. một cách chính xác nhất, hạn chế tối da ảnh hưởng của những yếu tổ môi trường.
Bên cạnh đó, luận văn cũng trinh bày giải pháp kỹ thuật để gia tăng độ chính xác khi hiệu chuẩn và giảm thiểu chỉ phí trang bị Kết quả đo đối chiếu với chứng nhận của nhà sản xuất dầm bão nằm trong vùng sai số cho phép. DÁNIIMỤC IHIÌNII VẼ Hình 2.1: Khoảng cách t giữa hai mặt phẳng, Hình 2.2 Do độ phẳng bằng CMM - Hình 2.3 Kết quả của phớp đo độ phẳng bing CMM.4 Hệ thống giao thoa kế đo độ phẳng, Tỉnh 3.1 Tắm chuẩn phẳng mài hai mit.2 Tắm chuẩn phẳng mài một mặt.3 Sơ dễ kiểm tra đô phẳng sử dụng tắm chuẩn phẳng Hình 3.4 Vân giao thoa quan sát trên.5 Tính chất kết hợp của tia laser.6 Phân hỗ năng lượng trong laser mod ngang Hình 3.7 Sơ đỗ cầu tạo Laser He-Ne.8 Sơ đồ mức năng lượng Laser He-Nc Tình 3.9 Hiện tượng giao thoa Hình 3.10 Sơ đỗ nguyên lý giao thoa ké Michelson .11 Sơ để nguyên lý giao thoa Mach-Zender.12 Giao thoa kế Twyman-Grecn.13 Nhãn cảnh báo đáng chú ý.1 Ilinh ảnh thực tế hệ thẳng giao thoa ké tai VMI. Tình 42 Các thiết bị cơ bản của hệ giao thoa kế I.4: Mô hình giao thoa kế Kizeau.5a Các thông số thiết lập của phép đo.5b Các thông số thiế ập của phép đo Hình 46 Căn chỉnh điểm phản xa Hinh 4.7 Căn chỉnh khoảng cách đề lấy nét đúng.8 Vân giáo thoa trước tỉnh chính Hình 4.9 Vân giao thoa sau khi tĩnh chỉnh Hình 4.10 Kết quả đo lần 1.11 Kết quả đo lần 2.12 Kết quả do lần 3 - Hình 4.13 Kết quả đo lần 4.14 Kết quả đo lần 5 DÁNIIMỤC BẢNG BIẾU Bimy 1. Độ dài kết hợp của một số laser thông dụng ba t Bảng 2: Các thiết bị sử dụng.
Cáo thành phần chỉnh của giao thoa kế 41 4 Bảng 1*: ác phép hiệu chuẫn Tầng 2* : Phương tiện hiệu chuẩn. Các thành phần độ không đảm bảo đo. 54 TOM TAT LUAN VAN Ho va tén học viên: Nguyễn Phi Vũ Chuyên ngành: Kỹ thuật cơ khí MSIIV: CB180008 l.CTM Giảng viên hướng dẫn: PG%.I% Vũ Toàn Thắng Tên đề tài: Xây dựng quy trình hiệu chuẫn độ phẳng của chỉ tiết quang học sử dụng máy giao thoa lascr.