Luận văn thạc sĩ: Nghiên cứu chế tạo màng ITO pha tạp Ag

Luận văn thạc sĩ phân tích hus nghiên cứu chế tạo màng ito pha tạp ag, đánh giá thực trạng, chỉ ra hạn chế, đề xuất giải pháp khả thi cho thực tiễn.

• Chuyên ngành: Vật liệu TCO, ITO và pin mặt trời nano TiO2
• Đề tài: Nghiên cứu chế tạo màng ITO pha tạp Ag cho ứng dụng năng lượng
• Loại tài liệu: Luận văn

Mục lục chi tiết

• 1. CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN VỀ VẬT LIỆU TCO
• 1.1. Tình hình nghiên cứu chế tạo màng điện cực trong và ngoài nước
• 1.2. Các phương pháp chế tạo TCO
• 1.2.1. Phương pháp vật lý
• 1.2.2. Phương pháp hóa học
• 1.2.2.1. Phương pháp điện hóa
• 1.2.2.2. Phương pháp sol-gel
• 1.2.2.3. Phương pháp CVD
• 1.2.2.4. Phương pháp phun dung dịch trên đố nóng
• 1.3. Màng điện cực trong suốt dẫn điện ITO
• 1.4. Màng điện cực trong suốt dẫn điện SnO2
• 2. CHƯƠNG 2: TỔNG QUAN VỀ PIN MẶT TRỜI NANO TiO2
• 2.1. Vật liệu nano TiO2
• 2.2. Một số ứng dụng tiêu biểu của vật liệu nano TiO2
• 2.3. Ứng dụng trong lĩnh vực môi trường
• 2.4. TiO2 ứng dụng trong điện tử
• 2.5. Pin mặt trời thế hệ mới nano TiO2
• 2.6. Một vài nét về lịch sử phát triển của pin mặt trời
• 2.7. Pin mặt trời nano TiO2
• 3. CHƯƠNG 3: PHƯƠNG PHÁP VÀ THIẾT BỊ THỰC NGHIỆM
• 3.1. Thiết bị chế tạo màng vật liệu nano bằng phương pháp "Phun dung dịch trên đố nóng"
• 3.2. Mô hình chi tiết thực nghiệm chế tạo mẫu
• 3.3. Hệ đo nhanh hệ số truyền qua
• 4. CHƯƠNG 4: CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT TÍNH CHẤT MÀNG ITO
• 4.1. Chế tạo và khảo sát tính chất màng In2O3 : Sn
• 4.2. Chế tạo vật liệu nano bạc (Ag)
• 4.3. Chế tạo và khảo sát tính chất màng ITO pha tạp Ag
• 4.4. Khảo sát sự phụ thuộc của điện trở suất vào nồng độ (%) Ag
• 4.5. Khảo sát bằng XRD
• 4.6. Khảo sát bằng SEM
• 4.7. Khảo sát để truyền qua
• 4.8. Khảo sát lớp tiếp xúc TiO2/ITO : Ag
• 4.9. Chế tạo và khảo sát tính chất màng SnO2
• 4.10. Chế tạo và khảo sát tính chất màng SnO2 : F
• 4.11. Chế tạo và khảo sát tính chất màng SnO2 pha tạp Ag
• 4.12. Khảo sát màng Ag bằng XRD
• 4.13. Khảo sát màng Ag bằng SEM
• 4.14. Khảo sát màng SnO2 : F/Ag bằng XRD
• 4.15. Khảo sát sự phụ thuộc của điện trở suất vào tỉ lệ pha tạp Ag vào màng màng
• 4.16. Khảo sát tính chất lớp tiếp xúc với TiO2
• 4.17. Biện luận kết quả
• TÀI LIỆU THAM KHẢO

Tóm tắt

I. Tổng quan về nghiên cứu màng ITO pha tạp Ag cho năng lượng

Màng ITO (Indium Tin Oxide) là một trong những vật liệu quan trọng trong lĩnh vực năng lượng, đặc biệt là trong các ứng dụng quang điện. Nghiên cứu chế tạo màng ITO pha tạp Ag nhằm cải thiện tính chất quang điện và độ dẫn điện của màng này. Việc pha tạp Ag vào màng ITO không chỉ giúp tăng cường khả năng dẫn điện mà còn cải thiện tính chất quang học, từ đó nâng cao hiệu suất của các thiết bị năng lượng như pin mặt trời.

1.1. Tình hình nghiên cứu màng ITO và ứng dụng năng lượng

Màng ITO đã được nghiên cứu từ những năm 70 và ngày càng trở nên phổ biến trong các ứng dụng năng lượng. Các nghiên cứu gần đây cho thấy rằng việc pha tạp Ag vào màng ITO có thể cải thiện đáng kể hiệu suất quang điện của nó. Nhiều nghiên cứu đã chỉ ra rằng màng ITO pha tạp Ag có khả năng dẫn điện tốt hơn và độ bền cao hơn so với màng ITO nguyên chất.

1.2. Lợi ích của việc pha tạp Ag vào màng ITO

Pha tạp Ag vào màng ITO không chỉ cải thiện tính chất dẫn điện mà còn tăng cường khả năng hấp thụ ánh sáng. Điều này giúp tăng hiệu suất chuyển đổi năng lượng trong các thiết bị quang điện. Nghiên cứu cho thấy rằng màng ITO pha tạp Ag có thể đạt được hiệu suất quang điện cao hơn 20% so với màng ITO nguyên chất.

II. Vấn đề và thách thức trong nghiên cứu màng ITO pha tạp Ag

Mặc dù màng ITO pha tạp Ag có nhiều lợi ích, nhưng việc chế tạo và tối ưu hóa các tính chất của màng này vẫn gặp nhiều thách thức. Một trong những vấn đề chính là việc kiểm soát nồng độ Ag trong màng, vì nồng độ quá cao có thể dẫn đến sự hình thành các cụm Ag, làm giảm hiệu suất quang điện.

2.1. Thách thức trong việc kiểm soát nồng độ Ag

Việc kiểm soát nồng độ Ag trong màng ITO là rất quan trọng. Nồng độ Ag quá cao có thể dẫn đến sự hình thành các cụm Ag, làm giảm khả năng dẫn điện và hiệu suất quang điện. Do đó, cần có các phương pháp chế tạo chính xác để đảm bảo nồng độ Ag được kiểm soát tốt.

2.2. Vấn đề về tính đồng nhất của màng

Tính đồng nhất của màng ITO pha tạp Ag cũng là một vấn đề quan trọng. Màng không đồng nhất có thể dẫn đến sự phân bố không đều của các tính chất quang điện, ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị. Cần có các phương pháp chế tạo tiên tiến để đảm bảo tính đồng nhất của màng.

III. Phương pháp chế tạo màng ITO pha tạp Ag hiệu quả

Có nhiều phương pháp chế tạo màng ITO pha tạp Ag, bao gồm phương pháp phun dung dịch, phương pháp bay hơi và phương pháp sol-gel. Mỗi phương pháp đều có những ưu điểm và nhược điểm riêng, và việc lựa chọn phương pháp phù hợp là rất quan trọng để đạt được màng có tính chất tối ưu.

3.1. Phương pháp phun dung dịch

Phương pháp phun dung dịch là một trong những phương pháp phổ biến để chế tạo màng ITO pha tạp Ag. Phương pháp này cho phép kiểm soát tốt nồng độ Ag và đảm bảo tính đồng nhất của màng. Nghiên cứu cho thấy rằng màng chế tạo bằng phương pháp này có tính chất quang điện tốt.

3.2. Phương pháp bay hơi

Phương pháp bay hơi cũng được sử dụng để chế tạo màng ITO pha tạp Ag. Phương pháp này cho phép tạo ra màng có độ dày chính xác và tính chất quang điện cao. Tuy nhiên, việc kiểm soát nồng độ Ag trong quá trình chế tạo là một thách thức lớn.

3.3. Phương pháp sol gel

Phương pháp sol-gel là một phương pháp hứa hẹn trong việc chế tạo màng ITO pha tạp Ag. Phương pháp này cho phép tạo ra màng có tính chất quang điện tốt và độ bền cao. Nghiên cứu cho thấy rằng màng chế tạo bằng phương pháp sol-gel có thể đạt được hiệu suất quang điện cao.

IV. Ứng dụng thực tiễn của màng ITO pha tạp Ag trong năng lượng

Màng ITO pha tạp Ag có nhiều ứng dụng trong lĩnh vực năng lượng, đặc biệt là trong các thiết bị quang điện như pin mặt trời. Việc sử dụng màng này giúp tăng cường hiệu suất chuyển đổi năng lượng, từ đó giảm chi phí sản xuất năng lượng tái tạo.

4.1. Ứng dụng trong pin mặt trời

Màng ITO pha tạp Ag được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị pin mặt trời. Nghiên cứu cho thấy rằng màng này có thể cải thiện hiệu suất chuyển đổi năng lượng lên đến 25%, giúp giảm chi phí sản xuất năng lượng tái tạo.

4.2. Ứng dụng trong các thiết bị quang điện khác

Ngoài pin mặt trời, màng ITO pha tạp Ag còn được sử dụng trong nhiều thiết bị quang điện khác như cảm biến ánh sáng và màn hình hiển thị. Việc sử dụng màng này giúp cải thiện hiệu suất và độ bền của các thiết bị này.

V. Kết luận và tương lai của nghiên cứu màng ITO pha tạp Ag

Nghiên cứu chế tạo màng ITO pha tạp Ag đang mở ra nhiều cơ hội mới trong lĩnh vực năng lượng. Với những lợi ích vượt trội về tính chất quang điện và độ dẫn điện, màng này hứa hẹn sẽ trở thành một trong những vật liệu chủ chốt trong các ứng dụng năng lượng trong tương lai.

5.1. Tương lai của nghiên cứu màng ITO pha tạp Ag

Nghiên cứu về màng ITO pha tạp Ag sẽ tiếp tục được mở rộng trong tương lai. Các nhà khoa học đang tìm kiếm các phương pháp chế tạo mới và tối ưu hóa các tính chất của màng để đáp ứng nhu cầu ngày càng cao trong lĩnh vực năng lượng.

5.2. Tiềm năng ứng dụng trong công nghệ năng lượng tái tạo

Màng ITO pha tạp Ag có tiềm năng lớn trong việc phát triển công nghệ năng lượng tái tạo. Việc cải thiện hiệu suất quang điện của màng này sẽ góp phần quan trọng vào việc giảm chi phí sản xuất năng lượng và thúc đẩy sự phát triển bền vững.

Trích đoạn nội dung tài liệu

Môc lôc Më ®Çu……….……………1 Ch-¬ng 1: Tæng quan vÒ vËt liÖu TCO…….1 T×nh h×nh nghiªn cøu chÕ t¹o mµng ®iÖn cùc trong vµ ngoµi n-íc……. C¸c ph-¬ng ph¸p chÕ t¹o TCO………………………………………. Ph­¬ng ph¸p vËt lý………………. Ph-¬ng ph¸p bay h¬i vµ ng-ng kÕt trong ch©n kh«ng …….

Ph­¬ng ph¸p phón x¹ ca tèt………………………………. Ph­¬ng ph¸p hãa häc…………. Ph­¬ng ph¸p ®iÖn hãa…………………………………. Ph-¬ng ph¸p sol-gen…………………………………….

Ph­¬ng ph¸p CVD………………………………. Ph­¬ng ph¸p phun dung dÞch trªn ®Õ nãng…………. Mµng ®iÖn cùc trong suèt dÉn ®iÖn ITO……………………………. Mµng ®iÖn cùc trong suèt dÉn ®iÖn SnO2 ……………………….13 Ch-¬ng 2: Tæng quan vÒ pin mÆt trêi nano TiO2………….

VËt liÖu nano TiO2…………………………………………………. Mét sè øng dông tiªu biÓu cña vËt liÖu nano TiO2 ……………. øng dông trong lÜnh vùc m«i tr­êng…………………………. TiO2 øng dông trong ®iÖn tö…………………………….

Pin mÆt trêi thÕ hÖ míi nano TiO2 ………………………………. Mét vµi nÐt vÒ lÞch sö ph¸t triÓn cña pin mÆt trêi…………………. Pin mÆt trêi nano TiO2 .21 Ch-¬ng 3: Ph-¬ng ph¸p vµ thiÕt bÞ thùc nghiÖm.……………………………………………………………26 1 LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail. ThiÕt bÞ chÕ t¹o mµng vËt liÖu nano b»ng ph-¬ng ph¸p "Phun dung dÞch trªn ®Õ nãng"…………….

M« h×nh chi tiÕt thùc nghiÖm chÕ t¹o mÉu………. HÖ ®o nhanh hÖ sè truyÒn qua…………………….……………………32 Ch-¬ng 4: ChÕ t¹o vµ kh¶o s¸t tÝnh chÊt mµng ITO……. ChÕ t¹o vµ kh¶o s¸t tÝnh chÊt mµng In2O3 : Sn…. ChÕ t¹o vËt liÖu nano b¹c(Ag).

ChÕ t¹o vµ kh¶o s¸t tÝnh chÊt mµng ITO pha t¹p Ag. Kh¶o s¸t sù phô thuéc cña ®iÖn trë suÊt vµo nång ®é (%) Ag…. Kh¶o s¸t b»ng XRD. Kh¶o s¸t b»ng SEM.

Kh¶o s¸t ®é truyÒn qua. Kh¶o s¸t líp tiÕp xóc TiO2/ITO : Ag. ChÕ t¹o vµ kh¶o s¸t tÝnh chÊt mµng SnO2. ChÕ t¹o vµ kh¶o s¸t tÝnh chÊt mµng SnO2 : F.

ChÕ t¹o vµ kh¶o s¸t tÝnh chÊt mµng SnO2 pha t¹p Ag. Kh¶o s¸t mµng Ag b»ng XRD. Kh¶o s¸t mµng Ag b»ng SEM. Kh¶o s¸t mµng SnO2 : F/Ag b»ng XRD.

Kh¶o s¸t sù phô thuéc cña ®iÖn trë suÊt vµo tû lÖ pha t¹p Ag vµo mµng máng. Kh¶o s¸t tÝnh chÊt líp tiÕp xóc víi TiO2. BiÖn luËn kÕt qu¶.55 Tµi liÖu tham kh¶o.56 2 LUAN VAN CHAT LUONG download : add [e-mail] Më ®Çu. Khoa häc c«ng nghÖ nano ®· b¾t ®Çu tõ thËp kû 60 cña thÕ kû XX.

§Õn nh÷ng n¨m 90 cña thÕ kû nµy, nh÷ng øng dông quan träng ®Çu tiªn cña ngµnh c«ng nghÖ míi, c«ng nghÖ nano ra ®êi ®· lµm chÊn ®éng giíi khoa häc kü thuËt[1]. Tõ sù kiÖn nµy, sù chó ý cña thÕ giíi vÒ «ng nghÖ Nano cµng t¨ng. Trªn toµn cÇu, c¹nh tranh vµ hîp t¸c gi÷a c¸c n-íc vÒ c«ng nghÖ Nano trë nªn rÊt s«i ®éng, vµ thùc sù nã ®· trë thµnh mét h-íng nghiªn cøu mòi nhän cña khoa häc vµ c«ng nghÖ thÕ giíi. Sù ph¸t triÓn cña khoa häc c«ng nghÖ ®· t¹o nªn nh÷ng b-íc tiÕn mang tÝnh ®ét ph¸ toµn cÇu.

Víi nh÷ng tiÒm n¨ng to lín vµ nh÷ng tÝnh chÊt ®Æc biÖt quý gi¸, cã thÓ øng dông trong nhiÒu ngµnh khoa häc kü thuËt mòi nhän, mµng ®iÖn cùc trong suèt TCO (Transparent Conducting Oxide) ®· vµ ®ang lµ mèi quan t©m, ®Çu t- nghiªn cøu cña nhiÒu trung t©m, viÖn nghiªn cøu lín trªn thÕ giíi v× nh÷ng tÝnh chÊt ®Æc thï vµ kh¶ n¨ng øng dông réng r·i trong nhiÒu lÜnh vùc kh¸c nhau nh-: N¨ng l-îng, ®iÖn tö, sinh häc, m«i tr-êng, x©y dung,… Trªn thÕ giíi t×nh h×nh nghiªn cøu màng TCO hÕt søc s«i ®éng, tõ c¸c n-íc ®ang ph¸t triÓn tíi c¸c n-íc c«ng nghiÖp hiÖn ®¹i nh- Mü, NhËt B¶n, Hàn Quèc. Trong rÊt nhiÒu héi nghÞ quèc gia còng nh- quèc tÕ kh«ng bao giê v¾ng mÆt nh÷ng c«ng tr×nh vÒ TCO và nh÷ng øng dông, nh- Workshop on Quantum solar Energy conversion[17], International Energy Conversion Engineering Conference[12],. Màng TCO ®· trë thành mét mÆt hàng mà chóng ta cã thÓ mua mét c¸ch rÊt dÔ dàng, tõ c¸c c«ng ty nh- c«ng ty tr¸ch nhiÖm h÷u h¹n Zhengzhou chida Tungsteng & Molybdenum Products[37] cña Trung Quèc, c«ng ty Solaronix cña Thôy SÜ, c«ng ty tr¸ch nhiÖm h÷u h¹n Photox Optical system[28] cña Anh,… Cã 3 LUAN VAN CHAT LUONG download : add [e-mail] thÓ thÊy r»ng màng TCO ®· kh«ng chØ cßn là mét ®èi t-îng nghiªn cøu khoa häc mà nã thùc sù ®i vào øng dông thùc tÕ rÊt hiÖu qu¶. øng dông quan träng nhÊt cña màng ®iÖn cùc trong suèt dÉn ®iÖn ®ã lµ øng dông trong c¸c thiÕt bÞ quang ®iÖn, ®Æc biÖt là trong pin mÆt trêi nano TiO 2 [36],[19],[7],[34],[14],[21],[27], trong lóc mµ an toµn n¨ng l-îng ®ang lµ mèi quan t©m lín cña loµi ng-êi.

§Ó cã thÓ ph¸t triÓn bÒn v÷ng, chóng ta cÇn ph¶i tho¸t khái sù lÖ thuéc vµo nguån n¨ng l-îng ho¸ th¹ch v× chóng g©y « nhiÔm, lµm tr¸i ®Êt nãng lªn vµ b¶n th©n nã còng sÏ c¹n kiÖt sau kho¶ng 50 n¨m n÷a. Giíi khoa häc tr«ng cËy vµo nguån n¨ng l-îng t¸i t¹o. Trong ®ã, quan träng nhÊt lµ n¨ng l-îng mÆt trêi. C¸c nhµ khoa häc ®· tÝnh to¸n chØ cÇn thu lÊy n¨ng l-îng mÆt trêi chiÕu xuèng 0,1% diÖn tÝch bÒ mÆt tr¸i ®Êt vµ chØ cÇn mét hiÖu suÊt chuyÓn ®æi khiªm tèn lµ 10% thµnh ®iÖn n¨ng lµ chóng ta ®· tho¶ m·n hoµn toµn nhu cÇu n¨ng l-îng cña toµn nh©n lo¹i.

Nguån n¨ng l-îng nµy lµ v« tËn, gi¸ rÎ, t¹i chç vµ s¹ch, kh«ng lµm mÊt c©n b»ng sinh th¸i trªn quy m« toµn cÇu. Do ®ã cã thÓ ®¸nh gi¸ sù ra ®êi pin mÆt trêi thÕ hÖ míi dùa trªn c¬ së vËt liÖu nano TiO 2 lµ hÕt søc cÊp thiÕt. §©y chÝnh lµ cøu c¸nh cho môc tiªu ph¸t triÓn bÒn v÷ng vµ tr-êng tån cña nh©n lo¹i trªn tr¸i ®Êt. Sù ra ®êi cña pin mÆt trêi trªn c¬ së vËt liÖu nano TiO2 ®-îc giíi khoa häc kü thuËt vµ kinh tÕ thÕ giíi coi lµ lêi gi¶i cho bµi to¸n chuyÓn ®æi n¨ng l-îng mÆt trêi ë quy m« toµn cÇu.

Theo xu h-íng chung cña thÕ giíi, c¸c nhà khoa häc ViÖt Nam còng cã nhiÒu c«ng tr×nh nghiªn cøu vÒ c«ng nghÖ chÕ t¹o và tÝnh chÊt cña màng TCO. Cã thÓ kÓ ra ®©y nh÷ng trung t©m, phßng thÝ nghiÖm tiªu biÓu nghiªn cøu vÒ TCO: ViÖn khoa häc vËt liÖu (ITMS); Trung t©m Khoa häc tù nhiªn & C«ng nghÖ Quèc gia; Tr-êng §¹i häc B¸ch khoa Hà Néi; §¹i häc Khoa häc tù nhiªn Thành phè Hå ChÝ Minh; Phßng thÝ nghiÖm VËt lý øng dông, Bé m«n VËt lý chÊt 4 LUAN VAN CHAT LUONG download : add [e-mail] r¾n, Bé m«n VËt lý §¹i c-¬ng, Khoa VËt lý, §¹i häc Khoa häc tù nhiªn - §¹i häc Quèc gia Hµ Néi. C¸c nghiªn cøu chñ yÕu tËp trung vào c¸c tÝnh chÊt quang, ®iÖn cña màng TCO, ngoµi ra còng cã nh÷ng nghiªn cøu vÒ tÝnh chÊt huúnh quang, hay tÝnh chÊt nh¹y khÝ. Trong øng dông chÕ t¹o pin mÆt trêi nano TiO2, nh÷ng vËt liÖu ®-îc quan t©m hµng ®Çu là màng ITO (IndiumTin Oxide), FTO (Fluorine-doped Tin Oxide, màng kÏm «xÝt, ®Æc biÖt là AZO (Al-doped Zinc Oxide).

XuÊt ph¸t tõ nh÷ng luËn cø ®ã, luËn v¨n nµy ®· tËp trung vµo nghiªn cøu chÕ t¹o mµng TCO theo c¸c yªu cÇu cña øng dông lµm ®iÖn cùc cho pin mÆt trêi nano TiO2 mµ môc tiªu chñ yÕu lµ mµng ®iÖn cùc ITO pha t¹p b¹c. B¶n luËn v¨n nµy ®-îc chia lµm 4 ch-¬ng. Ch-¬ng 1 : Tæng quan vÒ vËt liÖu TCO, ITO. Ch-¬ng 2 : Tæng quan vÒ pin mÆt trêi nano TiO2.

Ch-¬ng 3 : Ph-¬ng ph¸p vµ thiÕt bÞ thùc nghiÖm. Ch-¬ng 4 : ChÕ t¹o vµ kh¶o s¸t tÝnh chÊt mµng ITO. 5 LUAN VAN CHAT LUONG download : add [e-mail] Ch-¬ng 1 Tæng quan vÒ vËt liÖu TCO, ITO 1. T×nh h×nh nghiªn cøu chÕ t¹o mµng ®iÖn cùc trong vµ ngoµi n-íc.

ITO lµ In2O3: Sn thuéc chñng lo¹i màng b¸n dÉn trong suèt dÉn ®iÖn TCO. C¸c mµng TCO ®· ®-îc nghiªn cøu tõ l©u, chóng ta cã thÓ t×m thÊy nh÷ng tài liÖu tõ nh÷ng n¨m 70, và ngày càng ph¸t triÓn. øng dông quan träng nhÊt cña màng ®iÖn cùc trong suèt dÉn ®iÖn ®ã là trong c¸c thiÕt bÞ quang ®iÖn, ®Æc biÖt là ®iÖn cùc cho pin mÆt trêi[36],[19],[7],[34],[14],[21],[27]. Trong øng dông nµy phÈm chÊt cña màng TCO ®-îc ®¸nh gi¸ qua ®iÖn trë, ®é truyÒn qua, ®é ph¶n x¹, ®é b¸m dÝnh, ®é bÒn ho¸ häc,… §Ó làm ®iÖn cùc cho pin mÆt trêi th× màng ®iÖn cùc ph¶i tháa m·n nh÷ng ®iÒu kiÖn sau [19]: - §iÖn trë suÊt  < 10-4 cm.

- HÖ sè hÊp thô  < 5%. C¸c ph-¬ng ph¸p chÕ t¹o TCO. §Ó cã thÓ chÕ t¹o vËt liÖu cã kÝch th-íc nanomet cã rÊt nhiÒu ph-¬ng ph¸p. Cã thÓ nãi lÞch sö c¸c ph-¬ng ph¸p chÕ t¹o vËt liÖu g¾n liÒn víi lÞch sö ph¸t 6 LUAN VAN CHAT LUONG download : add [e-mail] triÓn cña con ng-êi.

Riªng viÖc t×m hiÓu t-êng tËn mét ph-¬ng ph¸p còng ®· lµ mét vÊn ®Ò phøc t¹p bëi tÝnh ®a d¹ng vµ phong phó cña nã. Do ®ã, trong luËn v¨n nµy chóng t«i chØ nªu mét c¸ch tæng qu¸t vÒ mét vµi ph-¬ng ph¸p th«ng dông ®· ®-îc sö dông ®Ó chÕ t¹o vËt liÖu nano nãi chung vµ vËt liÖu TCO nãi riªng. Nh- chóng ta biÕt, cho ®Õn nay ®· cã rÊt nhiÒu ph-¬ng ph¸p truyÒn thèng vµ biÕn thÓ kh¸c nhau ®-îc sö dông ®Ó chÕ t¹o vËt liÖu. Tuy nhiªn vÒ nguyªn t¾c c¸c ph-¬ng ph¸p chÕ t¹o mµng vËt liÖu th-êng ®-îc chia thµnh hai lo¹i: Ph-¬ng ph¸p vËt lý vµ Ph-¬ng ph¸p ho¸ häc 1.

Ph-¬ng ph¸p vËt lý. C¸c ph-¬ng ph¸p vËt lý dïng ®Ó chÕ t¹o vËt liÖu mµng, vËt liÖu nano th-êng dùa trªn nguyªn t¾c gi¶m kÝch th-íc. Theo ®ã vËt liÖu d¹ng khèi ban ®Çu sÏ bÞ ph©n t¸n nhá b»ng c¸c qu¸ tr×nh vËt lý råi sau ®ã ®-îc s¾p xÕp, l¾ng ®äng lªn trªn c¸c chÊt nÒn phï hîp. §©y lµ ph-¬ng ph¸p chÕ t¹o cho ta mµng vËt liÖu cã chÊt l-îng cao, nh-ng nÕu øng dông trong thùc tÕ th× gÆp khã kh¨n v× gi¸ thµnh cao, thiÕt bÞ quý hiÕm khã thùc hiÖn.

Ph-¬ng ph¸p bay h¬i vµ ng-ng kÕt trong ch©n kh«ng [26]. §©y lµ ph-¬ng ph¸p ®-îc sö dông t-¬ng ®èi réng r·i vµ cã thÓ sö dông ®Ó t¹o mµng ITO. Nguyªn t¾c chung lµ ®èt nãng vËt liÖu lµm cho nã bèc bay vµ ng-ng kÕt trªn ®Õ. Ta cã thÓ sö dông mÆt n¹ ®Ó chÕ t¹o vËt liÖu cã d¹ng theo ý muèn.

Ch©n kh«ng cao trong buång bèc bay nh»m tr¸nh t¸c dông t¸n x¹ cña vËt liÖu bëi khÝ d- trong qu¸ tr×nh t¹o mµng, kh«ng g©y ra t¹p chÊt ngoµi ý muèn trong vËt liÖu. Cã thÓ ph©n lo¹i ph-¬ng ph¸p bay h¬i theo c¬ chÕ cung cÊp nhiÖt: - Ph-¬ng ph¸p bay h¬i dïng thuyÒn ®iÖn trë: NhiÖt ®é bay h¬i ®-îc khèng chÕ b»ng c¸ch ®iÒu khiÓn dßng ®iÖn qua thuyÒn vËt liÖu. Tèc ®é bay h¬i ®-îc biÓu diÔn bëi biÓu thøc: 7 LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail. Ps lµ ¸p suÊt trªn bÒ mÆt vËt liÖu.

M lµ khèi l-îng ph©n tö.