Luận án tiến sĩ: Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí từ vật liệu nhạy khí sno2 và zno hoạt động ở nhiệt độ phòng

• Tác giả: Võ Thanh Được
• Người hướng dẫn: PGS. Nguyễn Văn Duy
• Trường học: Đại học Bách khoa Hà Nội
• Chuyên ngành: Cơ điện tử
• Đề tài: Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí từ vật liệu nhạy khí SnO2 và ZnO tự đốt nóng
• Loại tài liệu: luận án
• Năm xuất bản: 2023
• Địa điểm: Hà Nội

• LỜI CAM ĐOAN
• LỜI CẢM ƠN
• 1. GIỚI THIỆU CHUNG
• 2. CẢM BIẾN KHÍ NO2 HOẠT ĐỘNG Ở NHIỆT ĐỘ PHÒNG/ TỰ ĐỐT NÓNG TRÊN CƠ SỞ VẬT LIỆU SnO2 và ZnO ĐỊNH HƯỚNG PHÁT TRIỂN CẢM BIẾN KHÍ TRÊN ĐẾ DẺO
• 3. CẢM BIẾN KHÍ HYDRO HOẠT ĐỘNG Ở NHIỆT ĐỘ PHÒNG/ TỰ ĐỐT NÓNG DÙNG VẬT LIỆU MÀNG MỎNG SnO2/Pt CHẾ TẠO TRÊN ĐẾ DẺO KAPTON
• KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ CỦA LUẬN ÁN
• DANH MỤC CÔNG TRÌNH ĐÃ CÔNG BỐ CỦA LUẬN ÁN
• TÀI LIỆU THAM KHẢO

I. Giới thiệu về cảm biến khí

Cảm biến khí là thiết bị quan trọng trong việc phát hiện và giám sát các loại khí độc hại trong môi trường. Các cảm biến này thường hoạt động dựa trên nguyên lý thay đổi điện trở của vật liệu nhạy khí khi tiếp xúc với các phân tử khí. Vật liệu nhạy khí chủ yếu là các oxit kim loại bán dẫn như SNO2 và ZNO, có khả năng hoạt động ở nhiệt độ phòng hoặc tự đốt nóng. Việc phát triển các cảm biến khí có độ nhạy cao, độ chính xác và tính ổn định là rất cần thiết trong bối cảnh ô nhiễm môi trường ngày càng gia tăng.

1.1. Tính chất của vật liệu nhạy khí

Vật liệu nhạy khí như SNO2 và ZNO có nhiều ưu điểm như diện tích bề mặt lớn, khả năng hấp phụ tốt và độ nhạy cao. Các cấu trúc nano của vật liệu này giúp tăng cường khả năng phản ứng với các phân tử khí, từ đó nâng cao hiệu suất làm việc của cảm biến. Đặc biệt, việc sử dụng công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) cho phép chế tạo cảm biến với kích thước nhỏ gọn, dễ dàng tích hợp vào các thiết bị di động.

II. Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí

Nghiên cứu này tập trung vào việc chế tạo cảm biến khí từ vật liệu nhạy khí SNO2 và ZNO hoạt động ở nhiệt độ phòng. Các phương pháp chế tạo như thủy nhiệt và bốc bay nhiệt được áp dụng để tạo ra các cấu trúc nano với hiệu suất cao. Việc chế tạo cảm biến khí từ các vật liệu này không chỉ giúp giảm thiểu tiêu thụ năng lượng mà còn tăng cường độ ổn định và độ nhạy của cảm biến.

2.1. Quy trình chế tạo

Quy trình chế tạo cảm biến khí bao gồm các bước như chế tạo chip điện cực, chế tạo vật liệu nhạy khí và khảo sát tính chất điện. Các phương pháp như phún xạ DC và lắng đọng hơi hóa học (CVD) được sử dụng để tạo ra các màng mỏng và cấu trúc nano. Kết quả cho thấy cảm biến khí chế tạo từ SNO2 và ZNO có khả năng phát hiện khí CO2, NH3, H2 và O2 với độ nhạy cao.

III. Ứng dụng của cảm biến khí

Cảm biến khí từ vật liệu nhạy khí SNO2 và ZNO có nhiều ứng dụng thực tiễn trong việc giám sát môi trường, an toàn lao động và y tế. Chúng có thể được sử dụng để phát hiện các khí độc hại trong không khí, giúp bảo vệ sức khỏe con người và môi trường. Đặc biệt, cảm biến khí hoạt động ở nhiệt độ phòng có thể được áp dụng trong các lĩnh vực như nông nghiệp, công nghiệp chế biến thực phẩm và công nghệ sinh học.

3.1. Tính năng và lợi ích

Cảm biến khí hoạt động ở nhiệt độ phòng không chỉ giúp tiết kiệm năng lượng mà còn giảm thiểu nguy cơ cháy nổ trong các môi trường dễ cháy. Chúng cũng có khả năng phát hiện nhanh chóng và chính xác các loại khí độc hại, từ đó nâng cao hiệu quả giám sát môi trường. Việc phát triển các cảm biến này là rất cần thiết trong bối cảnh ô nhiễm môi trường ngày càng gia tăng.