Luận án tiến sĩ về màng mỏng ZnO nano: Nghiên cứu và ứng dụng tại Đại học Quốc gia Hà Nội

Luận án tiến sĩ nghiên cứu chế tạo nghiên cứu tính chất của màng mỏng cấu trúc nano trên cơ sở zno pha tạp và khả năng ứng dụng, phát triển phương pháp mới, đánh giá hiệu quả ứng

Trường đại học

Đại học Quốc gia Hà Nội

Chuyên ngành

Vật lý chất rắn

Người đăng

Ẩn danh

Thể loại

luận án tiến sĩ

2011

169
2
0

Phí lưu trữ

45 Point

Mục lục chi tiết

DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT

1. Tổng quan về vật liệu bán dẫn ZnO

1.1. Tính chất của ZnO và các cấu trúc nano của nó

1.2. Cấu trúc tinh thể ZnO

1.3. So sánh tính chất vật lý của các cấu trúc nano ZnO với ZnO dạng khối

1.4. Tính chất cơ học

1.5. Tính chất điện

1.6. Tính chất quang

1.7. Pha tạp các ion từ tính

1.8. Tính chất nhận biết các chất hóa học

1.9. Tình hình nghiên cứu vật liệu ZnO hiện nay và những hướng nghiên cứu còn có khả năng phát triển

1.10. Tình hình nghiên cứu vật liệu ZnO trên thế giới và trong nước

1.11. Những hướng nghiên cứu còn có khả năng phát triển

1.12. Vật liệu ZnO pha tạp loại n hoặc loại p

1.13. Chế tạo và khảo sát tính chất của các cấu trúc nano của ZnO

1.14. Kết luận chương 1

2. Một số phương pháp chế tạo màng, vật liệu nano ZnO và các kỹ thuật thực nghiệm

2.1. Các phương pháp chế tạo mẫu

2.2. Phương pháp phún xạ r

2.3. Phương pháp bốc bay nhiệt đơn giản có sử dụng khí mang

2.4. Phương pháp vi sóng

2.5. Giới thiê ̣u chung

2.6. Cơ sở của phương pháp vi sóng

2.7. Một số phương pháp khảo sát tính chất của vật liệu ZnO

2.8. Nghiên cứu cấu trúc bằng phương pháp nhiễu xạ tia X

2.9. Hiển vi điện tử

2.10. Kính hiển vi điện tử truyền qua và truyền qua phân giải cao

2.11. Kính hiển vi điện tử quét

2.12. Nhiễu xạ điện tử trên diện tích chọn lọc

2.13. Phổ tán sắc năng lượng

2.14. Từ kế mẫu rung (VSM)

2.15. Hệ đo hiệu ứng Hall

2.16. Hệ đo phổ hấp thụ và truyền qua

2.17. Hệ đo phổ huỳnh quang

2.18. Kết luận chương 2

3. Chế tạo màng mỏng ZnO pha tạp chất bằng phương pháp phún xạ r. magnetron và tính chất của chúng

3.1. Chế tạo màng mỏng ZnO pha tạp chất Indi (In)

3.2. Chế tạo mẫu

3.3. Ảnh hưởng của nhiệt độ đế tới cấu trúc, tính chất điện và quang của màng ZnO:In

3.4. Tính chất cấu trúc

3.5. Hình thái học của màng

3.6. Tính chất điện

3.7. Tính chất quang

3.8. Chế tạo màng mỏng ZnO pha tạp chất Phốtpho (P)

3.9. Chế tạo mẫu

3.10. Tính chất cấu trúc và tính chất điện của màng mỏng ZnO pha tạp chất Phốtpho

3.11. Màng ZnO pha tạp Phốtpho (P) chế tạo trong môi trường khí Nitơ (N 2)

3.12. Chế tạo mẫu

3.13. Tính chất cấu trúc và tính chất điện của màng mỏng ZnO pha tạp chất Phốtpho chế tạo trong môi trường khí Nitơ

3.14. Kết luận chương 3

4. Chế tạo một số cấu trúc nano ZnO và ZnO pha tạp chất và tính chất của chúng

4.1. Chế tạo hạt nano ZnO và ZnO pha tạp chất bằng phương pháp vi sóng

4.2. Chế tạo mẫu

4.3. Quá trình chuẩn bị

4.4. Tạo hạt nano bằng phương pháp vi sóng

4.5. Ảnh hưởng của một số điều kiện công nghệ đến hình dạng và cấu trúc của ha ̣t nano ZnO

4.6. Ảnh hưởng của dung môi lên tính chất cấu trúc của hạt nano

4.7. Ảnh hưởng của chất hoạt hóa bề mặt lên hình dạng và cấu trúc của hạt và thanh nano ZnO chế tạo bằng phương pháp vi sóng

4.8. Ảnh hưởng của tỉ lệ PVP lên hình dạng và kích thước của cấu trúc nano ZnO pha tạp Ni

4.9. Một số tính chất của hạt nano ZnO và ZnO pha tạp

4.10. Nhiễu xạ tia X

4.11. Tính chất huỳnh quang

4.12. Tính chất từ của hạt nano ZnO pha tạp kim loại chuyển tiếp

4.13. Chế tạo dây, thanh nano ZnO bằng phương pháp bốc bay nhiệt đơn giản

4.14. Chế tạo mẫu

4.15. Ảnh hưởng của chế độ công nghệ lên hình thái và kích thước của các dây nano ZnO

4.16. Ảnh hưởng của độ dày màng vàng xúc tác

4.17. Ảnh hưởng của nhiệt độ đế

4.18. Tính chất cấu trúc, tính chất huỳnh quang của dây, thanh nano ZnO

4.19. Chế tạo mẫu đĩa nano ZnO pha tạp In

4.20. Ảnh hưởng của chế độ công nghệ đến hình thái, kích thước của cấu trúc nano ZnO pha tạp In

4.21. Ảnh hưởng của hàm lượng In trong bột nguồn

4.22. Ảnh hưởng của nhiệt độ đế

4.23. Cơ chế giải thích sự hình thành một số cấu trúc nano đã chế tạo được

4.24. Tính chất cấu trúc và tính chất huỳnh quang của đĩa nano ZnO:In

4.25. Kết luận chương 4

5. Một vài khả năng ứng dụng của màng mỏng và vật liệu cấu trúc nano trên cơ sở ZnO

5.1. Sử dụng màng mỏng ZnO để chế tạo cảm biến nhạy ánh sáng tử ngoại

5.2. Chế tạo màng mỏng ZnO và cấu trúc Al/ZnO/Al

5.3. Khảo sát tính chất cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng ZnO và cấu trúc Al/ZnO/Al

5.4. Sử dụng lớp chuyển tiếp dị thể n-ZnO:In/p-Si để chế tạo thiết bị tự động đóng ngắt quang điện

5.5. Chế tạo màng mỏng ZnO:In và cấu trúc n-ZnO:In/p-Si

5.6. Khảo sát tính chất quang, huỳnh quang của màng mỏng ZnO:In và cấu trúc n-ZnO:In/p-Si

5.7. Chế tạo thiết bị đóng ngắt quang điện

5.8. Sử dụng dây và thanh nano ZnO để chế tạo sensor nhạy độ ẩm

5.9. Chế tạo cấu trúc Pt/nano ZnO/Pt

5.10. Khảo sát tính chất nhạy độ ẩm của cấu trúc Pt/nano ZnO/Pt

5.11. Cơ chế nhạy ẩm của vật liệu nano ZnO

5.12. Kết luận chương 5

DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH KHOA HỌC CỦA TÁC GIẢ LIÊN QUAN ĐẾN LUẬN ÁN

Tài liệu tham khảo

Tóm tắt

I. Tổng quan về nghiên cứu màng mỏng ZnO nano và ứng dụng

Màng mỏng ZnO nano là một trong những vật liệu quan trọng trong lĩnh vực vật liệu bán dẫn. Chúng có nhiều ứng dụng trong các thiết bị điện tử, quang học và cảm biến. Nghiên cứu về màng mỏng ZnO nano không chỉ giúp hiểu rõ hơn về tính chất vật lý của vật liệu mà còn mở ra nhiều hướng đi mới trong công nghệ chế tạo và ứng dụng. ZnO nano có cấu trúc tinh thể lục giác, với nhiều tính chất nổi bật như tính dẫn điện, tính quang và tính từ. Những tính chất này làm cho ZnO nano trở thành một lựa chọn lý tưởng cho các ứng dụng trong lĩnh vực quang học và điện tử.

1.1. Tính chất của màng mỏng ZnO nano

Màng mỏng ZnO nano có nhiều tính chất nổi bật như tính dẫn điện, tính quang và tính từ. Tính dẫn điện của ZnO nano có thể được cải thiện thông qua việc pha tạp các ion từ tính. Tính quang của ZnO nano cũng rất đáng chú ý, với khả năng phát quang mạnh mẽ, đặc biệt trong vùng ánh sáng nhìn thấy. Các nghiên cứu cho thấy rằng việc điều chỉnh kích thước và hình dạng của hạt nano có thể ảnh hưởng đến tính chất quang của chúng.

1.2. Ứng dụng của màng mỏng ZnO trong công nghệ

Màng mỏng ZnO nano được ứng dụng rộng rãi trong các thiết bị quang học như cảm biến ánh sáng, màn hình LED và các thiết bị điện tử khác. Chúng cũng được sử dụng trong các cảm biến nhạy độ ẩm và cảm biến khí. Việc sử dụng màng mỏng ZnO trong các thiết bị này không chỉ giúp cải thiện hiệu suất mà còn giảm thiểu kích thước của thiết bị.

II. Vấn đề và thách thức trong nghiên cứu màng mỏng ZnO nano

Mặc dù màng mỏng ZnO nano có nhiều ứng dụng tiềm năng, nhưng vẫn tồn tại nhiều thách thức trong quá trình nghiên cứu và phát triển. Một trong những vấn đề lớn nhất là việc kiểm soát kích thước và hình dạng của hạt nano trong quá trình chế tạo. Điều này ảnh hưởng trực tiếp đến tính chất vật lý của màng mỏng. Ngoài ra, việc pha tạp các ion từ tính cũng gặp nhiều khó khăn, đặc biệt là trong việc duy trì tính ổn định của cấu trúc nano.

2.1. Khó khăn trong việc chế tạo màng mỏng ZnO

Quá trình chế tạo màng mỏng ZnO nano thường gặp khó khăn trong việc kiểm soát các thông số như nhiệt độ, áp suất và thời gian. Những yếu tố này có thể ảnh hưởng đến cấu trúc và tính chất của màng mỏng. Việc sử dụng các phương pháp chế tạo khác nhau như phún xạ, bốc bay nhiệt hay vi sóng cũng cần được nghiên cứu kỹ lưỡng để đạt được kết quả tốt nhất.

2.2. Thách thức trong việc pha tạp ion từ tính

Pha tạp các ion từ tính vào màng mỏng ZnO nano là một thách thức lớn. Việc lựa chọn ion pha tạp phù hợp và điều chỉnh nồng độ của chúng là rất quan trọng để đảm bảo tính chất điện và quang của vật liệu. Nghiên cứu hiện tại vẫn đang tìm kiếm các phương pháp hiệu quả để cải thiện khả năng pha tạp mà không làm giảm chất lượng của màng mỏng.

III. Phương pháp chế tạo màng mỏng ZnO nano hiệu quả

Có nhiều phương pháp chế tạo màng mỏng ZnO nano, mỗi phương pháp đều có những ưu điểm và nhược điểm riêng. Phương pháp phún xạ là một trong những phương pháp phổ biến nhất, cho phép tạo ra màng mỏng với độ dày và tính chất mong muốn. Ngoài ra, phương pháp bốc bay nhiệt cũng được sử dụng rộng rãi trong nghiên cứu này. Việc lựa chọn phương pháp chế tạo phù hợp sẽ ảnh hưởng lớn đến chất lượng và tính chất của màng mỏng.

3.1. Phương pháp phún xạ màng mỏng ZnO

Phương pháp phún xạ cho phép tạo ra màng mỏng ZnO với độ dày đồng đều và tính chất quang học tốt. Quá trình này diễn ra trong môi trường chân không, giúp giảm thiểu sự ô nhiễm và cải thiện chất lượng màng mỏng. Nghiên cứu cho thấy rằng việc điều chỉnh các thông số như áp suất và nhiệt độ có thể ảnh hưởng đến tính chất của màng mỏng.

3.2. Phương pháp bốc bay nhiệt trong chế tạo ZnO

Phương pháp bốc bay nhiệt là một kỹ thuật đơn giản và hiệu quả để chế tạo màng mỏng ZnO. Phương pháp này cho phép kiểm soát tốt kích thước và hình dạng của hạt nano. Tuy nhiên, việc duy trì nhiệt độ ổn định trong quá trình chế tạo là rất quan trọng để đảm bảo chất lượng của màng mỏng.

IV. Kết quả nghiên cứu và ứng dụng thực tiễn của màng mỏng ZnO

Nghiên cứu về màng mỏng ZnO nano đã cho thấy nhiều kết quả khả quan trong việc cải thiện tính chất điện và quang. Các ứng dụng thực tiễn của màng mỏng ZnO nano đang ngày càng mở rộng, từ cảm biến đến các thiết bị điện tử. Việc phát triển các phương pháp chế tạo mới và cải tiến các phương pháp hiện tại sẽ giúp nâng cao hiệu suất và khả năng ứng dụng của vật liệu này.

4.1. Ứng dụng trong cảm biến ánh sáng

Màng mỏng ZnO nano được sử dụng để chế tạo cảm biến ánh sáng nhạy bén. Các cảm biến này có khả năng phát hiện ánh sáng tử ngoại và có thể được ứng dụng trong nhiều lĩnh vực như an ninh, y tế và môi trường. Nghiên cứu cho thấy rằng việc pha tạp ion có thể cải thiện độ nhạy của cảm biến.

4.2. Ứng dụng trong thiết bị điện tử

Màng mỏng ZnO nano cũng được ứng dụng trong các thiết bị điện tử như transistor và diode phát quang. Các thiết bị này có hiệu suất cao và kích thước nhỏ gọn, phù hợp với xu hướng phát triển công nghệ hiện đại. Việc nghiên cứu và phát triển các cấu trúc mới sẽ mở ra nhiều cơ hội cho ứng dụng của ZnO nano trong tương lai.

V. Kết luận và tương lai của nghiên cứu màng mỏng ZnO nano

Nghiên cứu màng mỏng ZnO nano đã đạt được nhiều thành tựu quan trọng, nhưng vẫn còn nhiều thách thức cần phải vượt qua. Tương lai của nghiên cứu này hứa hẹn sẽ mang lại nhiều ứng dụng mới và cải tiến trong công nghệ. Việc tiếp tục nghiên cứu và phát triển các phương pháp chế tạo mới sẽ giúp nâng cao hiệu suất và khả năng ứng dụng của màng mỏng ZnO nano.

5.1. Hướng nghiên cứu trong tương lai

Hướng nghiên cứu trong tương lai sẽ tập trung vào việc cải thiện tính chất của màng mỏng ZnO nano thông qua việc pha tạp và điều chỉnh cấu trúc. Các nghiên cứu cũng sẽ hướng đến việc phát triển các ứng dụng mới trong lĩnh vực quang học và điện tử. Việc hợp tác giữa các nhà nghiên cứu và ngành công nghiệp sẽ giúp thúc đẩy sự phát triển của công nghệ này.

5.2. Tiềm năng ứng dụng của ZnO nano

Tiềm năng ứng dụng của ZnO nano là rất lớn, từ cảm biến đến các thiết bị điện tử. Việc phát triển các sản phẩm mới dựa trên ZnO nano sẽ mở ra nhiều cơ hội cho ngành công nghiệp. Nghiên cứu và phát triển trong lĩnh vực này sẽ tiếp tục đóng góp vào sự tiến bộ của công nghệ và cải thiện chất lượng cuộc sống.

16/08/2025

Trích đoạn nội dung tài liệu

MỞ ĐẦU Các cấu trúc nano của kẽm oxit (ZnO) đã thu hút sự quan tâm to lớn trong những năm gần đây vì nó có nhiều tính chất rất lý thú khiến cho vật liệu này có thể được ứng dụng trong rất nhiều lĩnh vực. Thực tế, ZnO có nhiều đặc tính rất quí báu như độ rộng vùng cấm lớn, năng lượng liên kết exciton lớn, độ bền hóa học cao, tương thích sinh học, có tính chất áp điện, các hiệu ứng quang phi tuyến. Hơn nữa, khi chuyển từ dạng khối sang dạng cấu trúc nano, sự lôi cuốn của vật liệu này còn tăng cao hơn nữa do ngoài những tính chất riêng của vật liệu ZnO nó còn có những tính chất của các cấu trúc thấp chiều. Những nghiên cứu trong lĩnh vực này càng được đẩy mạnh do khả năng tạo ra rất nhiều cấu trúc nano khác nhau của ZnO như chấm, dây, thanh, tetrapod, vành, ống, kim… ZnO khi ở dạng màng mỏng, rất thích hợp cho các thiết bị điện tử và quang điện tử như các tiếp xúc Ohmic, tiếp xúc Schottky, LED, laze, transitor trường (FET) trong suốt, detector quang, tế bào quang điện.

Để tạo ra các thiết bị quang điện tử, việc điều khiển được tính chất điện như loại dẫn, nồng độ hạt tải là rất cần thiết. Ngoài ra, do những tính chất đặc biệt của chúng, các cấu trúc nano bán dẫn là một đối tượng được nghiên cứu rất mạnh cho các thiết bị quang điện tử. Khi nghiên cứu vật liệu nano ZnO, rất nhiều ứng dụng khác nhau của ZnO trong lĩnh vực điện tử và quang điện tử đã được phát hiện. Việc tạo ra các cực tiếp xúc có kích thước nano bằng phương pháp bốc bay các kim loại khác nhau lên các cấu trúc nano ZnO đã được công bố, cho thấy khả năng có thể đạt được tính chất tiếp xúc Ohmic hoặc Schottky.

Tính chất điện huỳnh quang dùng trong các ứng dụng về LED đã được nghiên cứu rộng rãi với các thiết bị dựa trên cả các tập hợp thanh nano ZnO [82, 83] và đơn thanh nano ZnO [10]. Nhờ có chiết suất lớn (~2,0) và có các biên mặt khá sắc nét nên các dây nano có thể đóng vai trò là các gương phản xạ và do đó các dây nano có thể được dùng làm các bộ cộng hưởng rất lý tưởng. Thực tế tính chất phát laze ở nhiệt độ phòng đã được phát hiện đối với các thanh nano ZnO được sắp xếp một cách trật tự [20, 44] và các đơn thanh nano ZnO [52], các cấu trúc nano khác cũng đã được sử dụng để phát laze ngẫu nhiên. Thậm chí laze ngẫu nhiên trong màng gồm các hạt nano đơn tinh thể cũng đã được nghiên cứu.

FET chế tạo bằng đơn thanh nano ZnO, vành nano [14, 39] và cấu trúc lai hóa giữa cấu trúc nano tứ cực (tetrapod) của ZnO và các hỗn hợp polyme cũng đã được chế tạo thành công [8, 120]. Dây và thanh nano ZnO đã được nghiên cứu để sử dụng cho các detector 1 TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com quang vùng tử ngoại và các công tắc quang [41, 53]. Phôtô-điốt UV trên cơ sở tetrapod ZnO với tiếp xúc Shottky đã được công bố [76]. Khi được ứng dụng vào pin mặt trời, người ta tin rằng các thanh nano ZnO có thể đạt được hiệu suất cao vì các electron được vận chuyển nhanh hơn nhiều so với các tế bào quang điện thông thường, do đó, có rất nhiều nghiên cứu được tập trung vào hướng ứng dụng này [11, 60].

Trong lĩnh vực điốt Schottky dạng kim loại- bán dẫn hoặc FET, thanh nano ZnO đã được sử dụng để tạo ra các mạch logic [85]. Do chiết suất cao, ZnO cũng có thể được sử dụng trong các bộ dẫn sóng. Ánh sáng có thể được truyền trong một dây nano, đóng vai trò như một sợi quang nano, và nó tỏ ra đặc biệt hữu hiệu cho các mạch quang tử tích hợp. Thậm chí các bộ liên kết quang giữa các cấu trúc nano của các vật liệu nano khác nhau (như ZnO và SnO2) cũng đã được công bố [59].

Do ZnO thể hiện tính áp điện mạnh, nó rất thích hợp để chế tạo ra các bộ chuyển đổi điện cơ, sensor và các đầu đọc dữ liệu cũng như sử dụng trong các thiết bị sóng âm bề mặt (SAW). Ví dụ như tính áp điện của ZnO đã được sử dụng để tạo ra các sensor áp suất. Tính áp điện của các cấu trúc nano cũng được nghiên cứu rộng rãi. Một phương pháp để có thể chuyển năng lượng cơ thành năng lượng điện thông qua tính áp điện của dây nano ZnO đã được công bố, cho thấy khả năng có thể chuyển năng lượng cơ-sinh học, năng lượng dao động âm, và năng lượng của các dòng chảy thành năng lượng điện [109].

Tính áp điện có thể được sử dụng trong các sensor lực và áp điện. Ví dụ, trong một FET được làm từ dây nano, một sự thay đổi áp suất hay lực tác dụng vào dây có thể khiến nó bị cong đi và do đó sẽ làm thay đổi đường đặc trưng của FET, mà đường đặc trưng này có thể đo được và nó sẽ liên quan đến sự thay đổi của áp suất hay áp lực đặt vào dây nano đó. Các cấu trúc nano của ZnO cũng có khả năng được sử dụng để làm các đầu đo, ví dụ như đầu đo của kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) [47]. Nhờ có tính chất áp điện và kích thước nhỏ hơn kích thước của các đầu đo thông dụng (như đầu đo làm bằng Si3N4 và SiC) nên đầu đo bằng các cấu trúc nano của ZnO sẽ nhạy hơn nhiều.

ZnO dạng khối và dạng màng cũng thể hiện các hiệu ứng quang phi tuyến với hệ số phi tuyến lớn nên chúng có khả năng ứng dụng trong các thiết bị điện hoạt động ở chế độ lượng tử và các mạch quang tích hợp. Sự sinh các họa ba bậc 2 (second harmonic generation - SHG) và bậc 3 (third harmonic generation - THG) trong ZnO [13, 58, 105] đã được công bố cho thấy khả năng sử dụng vật liệu này trong lĩnh vực công nghệ, vì nó rẻ hơn và dễ tích hợp hơn 2 TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com các vật liệu đơn tinh thể có tính chất quang phi tuyến khác như LiNbO 3 và LiTaO3. Tính chất quang phi tuyến cũng đã được nghiên cứu đối với dây nano ZnO. Tính sắt từ trong ZnO pha tạp các kim loại chuyển tiếp như Mn và Co đã được chứng minh bằng các nghiên cứu thực nghiệm và lý thuyết [25] và mở ra khả năng ứng dụng vật liệu này trong lĩnh vực spin điện tử.

Khả năng tạo ra các cấu trúc nano sắp xếp trật tự là đặc biệt quan trọng đối với việc tạo ra các tinh thể photonic. Các kết quả lý thuyết và thực nghiệm đã chỉ ra khả năng thu được các cấu trúc photonic bằng các opal đảo ZnO và các tập hợp cấu trúc nano dạng cột của ZnO [22]. Một ứng dụng khác của các cấu trúc nano ZnO là các bộ phát xạ trường dùng trong các thiết bị hiển thị, catốt lạnh và các thiết bị quang điện. Các cấu trúc nano có hiệu suất cao và giá thành hạ, kích thước nhỏ so với các bộ phát nhiệt ion tiêu chuẩn và chúng bền hơn trong điều kiện môi trường khắc nghiệt.

Những mối quan tâm to lớn đối với vật liệu này cũng có một phần nguyên nhân là do chúng có nhiều cấu trúc nano có dạng hình kim ở đầu. Trong các cấu trúc này, tính phát xạ trường electron được tăng cường bởi sự tăng cường điện trường cục bộ ở các đầu nhọn đó. Một số công trình đã công bố về phát xạ trường từ tập hợp các cấu trúc nano khác nhau như dây, kim, ống nano, nanotetrapod và các cấu trúc nano khác [40, 43, 113]. Ngoài ra, tính chất phát xạ trường của tổ hợp lai hóa giữa các thanh nano ZnO và ống nano cacbon, dây nano ZnO riêng lẻ cũng đã được nghiên cứu.

Một ứng dụng khả dĩ khác của các cấu trúc nano ZnO có liên quan đến tính chất dính ướt, do các vật liệu hút nước đang được quan tâm cho một số loại ứng dụng như trong các thiết bị dòng chất lưu có kích thước micro, các sensor hóa học hoặc sinh học và cho công nghiệp như trong quá trình lau rửa và làm khô… Sự biến đổi từ các bề mặt kị nước sang các bề mặt ưu nước của thanh nano ZnO khi chiếu sáng bằng ánh sáng tử ngoại [27] hoặc bằng quá trình xử lý plasma oxy hoặc ủ nhiệt [71] cũng đã được công bố. Một trong những ứng dụng hấp dẫn nhất của ZnO là trong các sensor hóa học và sinh học. Nhờ có những tính chất đó các cấu trúc nano của bán dẫn đang là một chủ đề được nghiên cứu mạnh trong lĩnh vực khoa học kĩ thuật. ZnO cũng tương thích về mặt sinh học khiến nó có thể được sử dụng trong lĩnh vực dược liệu mà không cần phải sử dụng chất bọc bảo vệ.

Một hệ quả tất yếu của tất cả các khả năng ứng dụng như trên, là việc giới khoa học và công nghệ dành mối quan tâm to lớn cho các cấu trúc nano của ZnO 3 TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com trong những năm qua. Một bằng chứng rõ ràng của sự quan tâm này chính là số lượng lớn các công trình công bố tập trung vào chủ đề ZnO và các cấu trúc nano của nó trong những năm gần đây. Sự quan tâm mạnh mẽ trong lĩnh vực nghiên cứu này cũng đẩy mạnh khả năng tạo ra các cấu trúc nano ZnO với chất lượng tinh thể tốt bằng các công nghệ chế tạo khác nhau, và do đó cho phép ta tạo ra các thiết bị có chất lượng cao mà giá thành lại hạ. Các công nghệ có thể được sử dụng để tạo ra ZnO là: bốc bay nhiệt, lắng đọng hơi hóa học, quang khắc laze, lắng đọng điện hóa, phương pháp thủy nhiệt và các phương pháp khác dựa trên pha dung dịch, phún xạ, epitaxy chùm phân tử (MBE), các phương pháp tổng hợp bằng khuôn.

Đặc biệt, phún xạ được biết đến là một phương pháp khá thích hợp để chế tạo màng ZnO với chất lượng tốt. Hơn nữa phương pháp này cho phép tạo ra các màng đa lớp hay pha tạp rất dễ dàng. Trong khi đó, các cấu trúc 1 chiều như dây, thanh thì bốc bay nhiệt là một phương pháp vừa đơn giản lại vừa cho hiệu quả tốt. Ngoài ra, đối với các cấu trúc dạng hạt nano thì phương pháp hóa lại tỏ ra đặc biệt hữu hiệu và phù hợp với điều kiện phòng thí nghiệm còn hạn chế như ở Việt Nam.

Nội dung được bảo vệ bản quyền — Tải xuống đầy đủ