Luận văn thạc sĩ: Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng vi cảm biến lực áp trở

Trường đại học

Trường Đại học Công nghệ

Người đăng

Ẩn danh

2014

57
2
0

Phí lưu trữ

30 Point

Mục lục chi tiết

LỜI CẢM ƠN

LỜI CAM ĐOAN

TÓM TẮT LUẬN VĂN

DANH SÁCH HÌNH VẼ

DANH SÁCH BẢNG

GIỚI THIỆU

1. CHƯƠNG 1: VI CẢM BIẾN LỰC ĐA CHIỀU

1.1. Mô hình vi cảm biến lực đa chiều

1.1.1. Mô hình vi cảm biến

1.1.2. Mô hình vi cảm biến lực

1.1.3. Mô hình vi cảm biến lực 3 chiều

1.2. Vi cảm biến lực đa chiều dạng thanh dầm cantilever

1.2.1. Thanh dầm cantilever chữ I

1.2.2. Thanh dầm cantilever chữ L

1.3. Các tiêu chí cho việc thiết kế vi cảm biến lực đa chiều

1.3.1. Đường cong chuẩn cảm biến

1.3.2. Phương pháp chuẩn cảm biến

1.3.3. Độ nhạy

1.3.4. Sai số và độ chính xác

1.3.5. Kết luận chương

2. CHƯƠNG 2: VI CẢM BIẾN LỰC ÁP TRỞ

2.1. Phân loại vi cảm biến lực

2.1.1. Vi cảm biến lực kiểu tụ

2.1.2. Vi cảm biến lực kiểu áp điện

2.1.3. Vi cảm biến lực kiểu áp trở

2.1.4. Vi cảm biến lực kiểu laser quang

2.2. Vi cảm biến lực áp trở

2.2.1. Đặc tính cơ học của Silic đơn tinh thể

2.2.2. Hiệu ứng áp điện trở

2.2.3. Mạch cầu Wheatstone

2.2.4. Kết luận chương

3. CHƯƠNG 3: THIẾT KẾ CẤU TRÚC VI CẢM BIẾN LỰC ĐA CHIỀU ÁP TRỞ

3.1. Mô hình cấu trúc vi cảm biến lực 3 chiều áp trở

3.1.1. Cấu hình ngang

3.1.2. Cấu hình dọc

3.1.3. Cấu hình dài

3.1.4. Kết luận chương

4. CHƯƠNG 4: MÔ PHỎNG VÀ KẾT QUẢ

4.1. Thiết kế các thông số hình học của vi cảm biến

4.1.1. Giới thiệu phần mềm COMSOL

4.1.2. Mô phỏng thanh dầm cantilever chữ L

4.1.3. Cấu hình ngang

4.1.4. Cấu hình dọc

4.1.5. Cấu hình dài

4.1.6. Kết luận chương

KẾT LUẬN

TÀI LIỆU THAM KHẢO

Luận văn thạc sĩ vnu uet nghiên cứu thiết kế và mô phỏng vi cảm biến lực áp trở