Luận án tiến sĩ: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO và ứng dụng trong công nghệ thông tin

Luận án tiến sĩ phân tích nghiên cứu chế tạo và khảo sát một số tính chất của màng mỏng trên cơ sở zno và khả năng ứng dụng, xây dựng cơ sở lý luận, kiểm chứng thực nghiệm, đóng

• Trường học: Đại học Khoa học Tự nhiên - ĐHQG Hà Nội
• Chuyên ngành: Vật lý chất rắn
• Đề tài: Nghiên Cứu Màng Mỏng ZnO Và Ứng Dụng Trong Công Nghệ
• Loại tài liệu: luận án
• Năm xuất bản: 2005
• Địa điểm: Hà Nội

Mục lục chi tiết

• MỞ ĐẦU
• 1. CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN VỀ VẬT LIỆU BÁN DẪN ZnO
• 1.1. CẤU TRÚC TINH THỂ ZnO
• 1.2. CẤU TRÚC VÙNG NĂNG LƯỢNG CỦA ZnO
• 2. CHƯƠNG 2: MỘT SỐ PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG VÀ CÁC KỸ THUẬT THỰC NGHIỆM
• 3. CHƯƠNG 3: ẢNH HƯỞNG CỦA CHẾ ĐỘ CÔNG NGHỆ ĐẾN TÍNH CHẤT CẤU TRÚC CỦA MÀNG ZnO TINH KHIẾT VÀ ZnO PHA TẠP
• 4. CHƯƠNG 4: TÍNH CHẤT ĐIỆN, TỪ, QUANG VÀ HUỲNH QUANG CỦA MÀNG ZnO TINH KHIẾT VÀ ZnO PHA TẠP
• 5. CHƯƠNG 5: CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT CẢM BIẾN NHẠY KHÍ HYDRO TRÊN CƠ SỞ MÀNG ZnO Ở NHIỆT ĐỘ PHÒNG
• KẾT LUẬN VÀ DANH MỤC TÀI LIỆU THAM KHẢO

Tóm tắt

I. Tổng quan về màng mỏng ZnO và ứng dụng trong công nghệ

Màng mỏng ZnO (Oxit kẽm) là một trong những vật liệu quan trọng trong công nghệ hiện đại. Với tính chất quang học và điện lý tưởng, ZnO đã thu hút sự chú ý của nhiều nhà nghiên cứu. Màng mỏng ZnO có thể được chế tạo bằng nhiều phương pháp khác nhau, từ đó mở ra nhiều ứng dụng trong các lĩnh vực như điện tử, quang học và năng lượng. Đặc biệt, tính chất quang học của ZnO cho phép nó được sử dụng trong các thiết bị phát quang và cảm biến.

1.1. Tính chất quang học của ZnO và vai trò trong công nghệ

Tính chất quang học của ZnO rất đa dạng, bao gồm khả năng hấp thụ và phát xạ ánh sáng. ZnO có băng năng lượng khoảng 3.3 eV, cho phép nó hoạt động hiệu quả trong các ứng dụng quang học. Các nghiên cứu đã chỉ ra rằng ZnO có thể phát quang mạnh mẽ, đặc biệt là trong vùng ánh sáng xanh và tím, làm cho nó trở thành một lựa chọn lý tưởng cho các thiết bị LED và laze.

1.2. Phương pháp chế tạo màng mỏng ZnO hiệu quả

Có nhiều phương pháp chế tạo màng mỏng ZnO, bao gồm phương pháp sol-gel, phun hóa học và lắng đọng hơi. Mỗi phương pháp đều có những ưu điểm và nhược điểm riêng. Ví dụ, phương pháp sol-gel cho phép kiểm soát tốt hơn về độ dày và tính chất của màng, trong khi phương pháp lắng đọng hơi lại cho ra sản phẩm có độ tinh khiết cao hơn.

II. Vấn đề và thách thức trong nghiên cứu màng mỏng ZnO

Mặc dù màng mỏng ZnO có nhiều ưu điểm, nhưng vẫn tồn tại một số thách thức trong việc nghiên cứu và ứng dụng của nó. Một trong những vấn đề chính là sự ổn định của màng mỏng trong các điều kiện môi trường khác nhau. Ngoài ra, việc kiểm soát các tạp chất trong quá trình chế tạo cũng là một thách thức lớn.

2.1. Ảnh hưởng của tạp chất đến tính chất của màng ZnO

Tạp chất có thể ảnh hưởng nghiêm trọng đến tính chất điện và quang của màng ZnO. Việc kiểm soát tạp chất trong quá trình chế tạo là rất quan trọng để đảm bảo hiệu suất của các thiết bị sử dụng ZnO. Nghiên cứu cho thấy rằng tạp chất như Al và Ga có thể cải thiện tính dẫn điện của màng ZnO.

2.2. Thách thức trong việc duy trì tính ổn định của màng ZnO

Màng ZnO có thể bị phân hủy hoặc thay đổi tính chất khi tiếp xúc với môi trường ẩm hoặc nhiệt độ cao. Việc phát triển các phương pháp bảo vệ màng ZnO khỏi các yếu tố bên ngoài là cần thiết để nâng cao tuổi thọ và hiệu suất của các thiết bị.

III. Phương pháp nghiên cứu chính trong chế tạo màng mỏng ZnO

Để nghiên cứu và phát triển màng mỏng ZnO, nhiều phương pháp khác nhau đã được áp dụng. Các phương pháp này không chỉ giúp chế tạo màng mà còn cho phép kiểm tra và đánh giá các tính chất của chúng.

3.1. Phương pháp sol gel trong chế tạo màng ZnO

Phương pháp sol-gel là một trong những phương pháp phổ biến nhất để chế tạo màng mỏng ZnO. Phương pháp này cho phép tạo ra màng với độ dày đồng đều và tính chất quang học tốt. Nghiên cứu cho thấy rằng màng ZnO chế tạo bằng phương pháp sol-gel có thể đạt được độ tinh khiết cao và tính dẫn điện tốt.

3.2. Lắng đọng hơi trong chế tạo màng ZnO

Lắng đọng hơi là một phương pháp khác được sử dụng để chế tạo màng mỏng ZnO. Phương pháp này cho phép tạo ra màng với độ tinh khiết cao và cấu trúc tinh thể tốt. Tuy nhiên, chi phí đầu tư cho thiết bị lắng đọng hơi thường cao hơn so với các phương pháp khác.

IV. Ứng dụng thực tiễn của màng mỏng ZnO trong công nghệ

Màng mỏng ZnO đã được ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực công nghệ, từ điện tử đến quang học. Các ứng dụng này không chỉ giúp nâng cao hiệu suất của thiết bị mà còn mở ra nhiều cơ hội mới trong nghiên cứu và phát triển.

4.1. ZnO trong công nghệ LED và laze

Màng ZnO được sử dụng trong các thiết bị LED và laze nhờ vào tính chất phát quang mạnh mẽ của nó. Các nghiên cứu đã chỉ ra rằng ZnO có thể được sử dụng để tạo ra các thiết bị phát quang hiệu quả với độ bền cao.

4.2. ZnO trong cảm biến và thiết bị quang học

Màng ZnO cũng được ứng dụng trong các cảm biến quang học nhờ vào tính nhạy cảm với ánh sáng. Các thiết bị cảm biến sử dụng ZnO có thể phát hiện các thay đổi nhỏ trong môi trường, từ đó cung cấp thông tin chính xác và kịp thời.

V. Kết luận và tương lai của nghiên cứu màng mỏng ZnO

Nghiên cứu về màng mỏng ZnO đang ngày càng phát triển và mở ra nhiều hướng đi mới trong công nghệ. Với những tính chất vượt trội, ZnO hứa hẹn sẽ tiếp tục là một vật liệu quan trọng trong tương lai.

5.1. Triển vọng nghiên cứu và phát triển màng ZnO

Triển vọng nghiên cứu màng ZnO rất lớn, đặc biệt trong các lĩnh vực như năng lượng tái tạo và công nghệ thông tin. Việc phát triển các phương pháp chế tạo mới và cải tiến tính chất của màng ZnO sẽ mở ra nhiều cơ hội mới.

5.2. Tương lai của ứng dụng ZnO trong công nghệ

Với sự phát triển không ngừng của công nghệ, ứng dụng của ZnO trong các thiết bị điện tử và quang học sẽ ngày càng mở rộng. Các nghiên cứu tiếp theo sẽ tập trung vào việc tối ưu hóa tính chất của ZnO để đáp ứng nhu cầu ngày càng cao của thị trường.

Trích đoạn nội dung tài liệu

më ®Çu Sù ph¸t triÓn m¹nh mÏ cña c«ng nghÖ th«ng tin ngµy nay ®ßi hái tèc ®é xö lý còng nh- kh¶ n¨ng nhí cña m¸y tÝnh cµng cao. Hai ®iÒu trªn kh«ng thÓ ®¹t ®-îc nÕu chØ dùa vµo c¸c qu¸ tr×nh liªn quan ®Õn chuyÓn ®éng cña ®iÖn tö, bëi v× vi ®iÖn tö hiÖn ®¹i ®· ®¹t ®Õn giíi h¹n lý thuyÕt ë c¶ hai mÆt lµ tèc ®é truyÒn d÷ liÖu vµ kh¶ n¨ng nhí cña m¸y tÝnh [11]. VÊn ®Ò nµy sÏ ®-îc gi¶i quyÕt tèt h¬n, c¶ trong nghiªn cøu khoa häc còng nh- trong thùc tiÔn nÕu sö dông mèi liªn hÖ gi÷a c¸c hiÖn t-îng liªn quan ®Õn chuyÓn ®éng cña ®iÖn tö vµ quang häc trong chÊt b¸n dÉn. §Ó lµm ®-îc ®iÒu ®ã cÇn ph¶i tËp trung nghiªn cøu c¸c hiÖn t-îng quang ®iÖn tö [5, 13], thay v× viÖc nghiªn cøu c¸c hiÖn t-îng ®iÖn tö ®¬n thuÇn.

Sù ph¸t triÓn cña c«ng nghÖ viÔn th«ng sîi quang ®ãng mét vai trß quan träng trong sù bïng næ cña c«ng nghÖ th«ng tin. Mét -u thÕ lín nhÊt cña nã lµ kh¶ n¨ng cung cÊp b¨ng th«ng réng, cã thÓ truyÒn d÷ liÖu víi tèc ®é hµng tr¨m Gigabit trªn gi©y [5]. Trong c«ng nghÖ c¸p quang sö dông LED galli-asenic vµ laze, photon ®-îc sö dông ®Ó truyÒn t¶i th«ng tin, nh-ng ë phÇn xö lý (thu, ®iÒu biÕn, khuÕch ®¹i, ph©n kªnh, chuyÓn kªnh …) th× chñ yÕu dïng ®iÖn tö. Nh- vËy, cÇn ph¶i cã bé chuyÓn ®æi ®iÖn tö  photon (quang ®iÖn tö).

NhiÒu linh kiÖn quang ®iÖn tö nh- laze b¸n dÉn, ®ièt ph¸t quang, cöa sæ quang häc. ®· ®-îc sö dông trong khoa häc, c«ng nghÖ ®iÖn tö, kü thuËt th«ng tin liªn l¹c, kü thuËt m¸y tÝnh, tù ®éng vµ ®iÒu khiÓn quang häc. Quang ®iÖn tö ®· ®¸nh dÊu mét sù ph¸t triÓn míi cña kü thuËt ®iÖn tö. Sù ph¸t triÓn cña kü thuËt vi ®iÖn tö, nhÊt lµ tõ khi sîi quang ®-îc øng dông réng r·i trong c«ng nghÖ th«ng tin, ®· h×nh thµnh c¸c ý t-ëng vÒ kü thuËt quang tÝch hîp.

§ã lµ kü thuËt tÝch hîp trªn mét tÊm m¹ch (chip) c¸c phÇn tö xö lý th«ng tin, chñ yÕu dïng photon. C«ng nghÖ chÕ t¹o c¸c tÊm m¹ch nh- vËy còng gièng nh- kü thuËt vi ®iÖn tö (IC) trong b¸n dÉn, ®-îc thùc hiÖn ®ång thêi theo tõng líp. ViÖc sö dông photon cã -u ®iÓm lín so víi ®iÖn tö lµ tèc ®é truyÒn cao h¬n nhiÒu, song viÖc dïng tr-êng ®iÖn tõ ®Ó ®iÒu khiÓn dßng photon phøc t¹p h¬n ®èi víi dßng ®iÖn tö. Khi phÇn lín c¸c kh©u cña c«ng nghÖ th«ng tin ®Òu sö dông photon, viÖc tÝch hîp gi÷a truyÒn dÉn, xö lý, l-u tr÷ th«ng tin sÏ thùc sù t¹o ra mét b-íc ®ét ph¸ míi trong lÜnh vùc quang tö häc (photonics).

Nh×n mét c¸ch tæng qu¸t, quang tÝch hîp lµ mét kü thuËt rÊt cã triÓn väng. Tuy nhiªn, cho ®Õn nay ch-a xuÊt 1 TIEU LUAN MOI download : [e-mail] hiÖn phÇn tö cã vai trß c¬ b¶n cña kü thuËt quang tö gièng nh- c¸c m¹ch IC trong kü thuËt b¸n dÉn. NÒn t¶ng c¬ b¶n cho sù ph¸t triÓn cña quang tö häc lµ c¸c vËt liÖu quang tö. HiÖn nay, vËt liÖu quang tö ®ang ®-îc nghiªn cøu réng r·i t¹i nhiÒu phßng thÝ nghiÖm trªn thÕ giíi.

C¸c vËt liÖu quang ®iÖn tö cã nhiÒu øng dông nh- c¸c mµng b¸n dÉn hai hoÆc ba thµnh phÇn nh- ZnS, ZnO, CdS, CdTe, CuInSe2, CdHgTe … C¸c hîp chÊt b¸n dÉn AIIBVI ®ang thu hót sù quan t©m nghiªn cøu ®Æc biÖt do cã nhiÒu tÝnh chÊt rÊt hÊp dÉn nh- ®é réng vïng cÊm lín ë nhiÖt ®é phßng, cho phÐp më réng giíi h¹n øng dông c¸c linh kiÖn quang ®iÖn tö tõ miÒn nh×n thÊy ®Õn miÒn tö ngo¹i gÇn. C¸c hîp chÊt AIIBVI ®Òu cã chuyÓn møc vïng cÊm th¼ng, ®ång thêi c¸c chuyÓn møc ph¸t quang g©y bëi c¸c t©m s©u cã x¸c suÊt lín, nªn cã thÓ hy väng c¸c chuyÓn dêi ®iÖn tö víi hiÖu suÊt l-îng tö cao [1, 12]. ¤xÝt kÏm (ZnO) lµ hîp chÊt b¸n dÉn thuéc nhãm AIIBVI cã nhiÒu ®Æc tÝnh quÝ b¸u nh- ®é réng vïng cÊm lín (cì 3,3 eV ë nhiÖt ®é phßng), cã ®é bÒn v÷ng, ®é r¾n, nhiÖt ®é nãng ch¶y cao. NhiÒu phßng thÝ nghiÖm trªn thÕ giíi ®ang tËp trung nghiªn cøu vËt liÖu ZnO ë d¹ng mµng máng vµ ®· t×m ®-îc nhiÒu øng dông kh¸c nhau.

ZnO lµ vËt liÖu cho linh kiÖn quang ®iÖn tö ho¹t ®éng trong vïng phæ tö ngo¹i, c¸c chuyÓn møc ph¸t quang x¶y ra víi x¸c suÊt lín. §èi víi ZnO hiÖu suÊt l-îng tö ph¸t quang cã thÓ ®¹t gÇn 100%, më ra triÓn väng trong viÖc chÕ t¹o laze ZnO. Mµng ZnO ®-îc chÕ t¹o th-êng mang tÝnh dÉn ®iÖn lo¹i n do tån t¹i sai háng tù nhiªn vµ còng v× vËy nång ®é h¹t t¶i thÊp vµ tÝnh æn ®Þnh kh«ng cao. §Ó chÕ t¹o c¸c mµng ZnO dÉn ®iÖn trong suèt trong miÒn nh×n thÊy vµ cã tÝnh æn ®Þnh cao, ng-êi ta th-êng pha t¹p chÊt nhãm III nh-: Ga, Al, In [34, 49, 58, 80, 83, 122, 126, 134, 140, 166, 182, 190].

Nång ®é t¹p trong ZnO cã thÓ lªn ®Õn 1020cm-3. Ng-êi ta dù ®o¸n trong t-¬ng lai mµng ZnO sÏ thay thÕ cho mµng ITO truyÒn thèng do vËt liÖu ZnO cã gi¸ thµnh rÊt rÎ [4]. C¸c mµng dÉn trong suèt ZnO pha t¹p Al ng-ng kÕt trªn ®Õ polyme nh- ®· c«ng bè [120, 183, 192] cã ®iÖn trë suÊt trong kho¶ng 4 10-3  5 10-4 cm víi mËt ®é h¹t t¶i trªn 2,6 1020 cm-3 vµ ®é linh ®éng Hall cì 5,78  13,11 cm2V-1s-1, ®é dµy 440 nm víi ®é truyÒn qua trung b×nh trªn 80% cã nhiÒu -u ®iÓm h¬n so víi c¸c mµng ng-ng kÕt trªn ®Õ thñy tinh, ch¼ng h¹n nh- nhÑ h¬n, thÓ tÝch nhá h¬n. C¸c mµng dÉn ®iÖn trong suèt nµy cã thÓ ®-îc sö dông trong c¸c mµn h×nh tinh thÓ láng, c¸c cöa sæ ®iÖn tõ, c¸c thiÕt bÞ ®iÖn quang uèn ®-îc, c¸c g-¬ng ph¶n x¹ nhiÖt dÔ phñ vµ khã phñ.

2 TIEU LUAN MOI download : [e-mail] GÇn ®©y, cã nhiÒu c«ng bè ®· chÕ t¹o ZnO lo¹i p b»ng c¸ch pha t¹p ®ång thêi N vµ Ga [101, 194, 196] hoÆc chÕ t¹o mµng ZnO trong m«i tr-êng khÝ NH3-O2 víi nhiÖt ®é ®Õ cao tõ 400  550 oC ®· më ra kh¶ n¨ng øng dông cô thÓ cho c¸c thiÕt bÞ quang kh¸c nhau. Do cã chuyÓn dêi ®iÖn tö th¼ng vµ n¨ng l-îng liªn kÕt exciton tù do lín (60 meV) nªn ZnO lµ vËt liÖu rÊt høa hÑn cho c¸c lo¹i linh kiÖn quang ®iÖn tö ho¹t ®éng trªn c¬ së exciton ë nhiÖt ®é phßng nh- bé läc sãng ©m [30, 56], mµn h×nh hiÓn thÞ, g-¬ng ph¶n x¹ nhiÖt. C¸c tÝnh to¸n lý thuyÕt còng nh- c¸c kÕt qu¶ thùc nghiÖm ®· cho thÊy, b¸n dÉn trë nªn cã tÝnh chÊt s¾t tõ ë nhiÖt ®é phßng khi pha t¹p nguyªn tè tõ (nh- c¸c kim lo¹i chuyÓn tiÕp 3d: Fe, Co, Ni, Mn …) vµo vËt liÖu b¸n dÉn cã ®é réng vïng cÊm lín nh- ZnO, GaN vµ TiO2. §é hßa tan cña Mn vµ Co trong ZnO lµ lín h¬n so víi ®é hßa tan cña c¸c nguyªn tè kim lo¹i chuyÓn tiÕp 3d kh¸c.

Ngoµi ra, tr¹ng th¸i hãa trÞ cña Co lµ æn ®Þnh vµ b¸n kÝnh cña i«n Co2+ gÇn b»ng b¸n kÝnh cña i«n Zn2+, dÉn ®Õn kh¶ n¨ng cã thÓ dÔ dµng thay thÕ Zn b»ng Co trong b¸n dÉn ZnO [93]. Phæ huúnh quang cña mµng ZnO ë nhiÖt ®é phßng theo nhiÒu t¸c gi¶ [45, 48, 58] th-êng tån t¹i nhiÒu d¶i kh¸c nhau phô thuéc vµo ph-¬ng ph¸p chÕ t¹o vµ ®iÒu kiÖn ph¸t triÓn mµng. D¶i ph¸t x¹ ë vïng tö ngo¹i gÇn bê hÊp thô cã ®Ønh n»m ë kho¶ng 380 nm th-êng ®-îc gi¶i thÝch lµ do qu¸ tr×nh t¸i hîp exciton [87, 99]. D¶i phæ tõ 390  410 nm lu«n lu«n tån t¹i víi c¸c lo¹i mÉu ZnO cã nguån gèc tõ nhiÒu c¬ chÕ t¸i hîp bøc x¹ gÇn bê hÊp thô.

D¶i ph¸t x¹ ë vïng mµu xanh, ®Ønh phæ huúnh quang trong kho¶ng b-íc sãng 500  510 nm cã ®Æc ®iÓm lµ rÊt réng vµ tï. HiÖn nay, cã rÊt nhiÒu quan ®iÓm kh¸c nhau vÒ nguån gèc cña ®Ønh t¸i hîp nµy [30, 59, 91]. D¶i ph¸t x¹ ë vïng mÇu da cam víi ®Ønh 620 nm, lµ do trong m¹ng tinh thÓ ZnO tån t¹i c¸c nót khuyÕt cña Zn hay c¸c i«n O ë vÞ trÝ ®iÒn kÏ t¹o thµnh cÆp ®ono-axepto [91]. D¶i ph¸t x¹ vïng mÇu ®á cã ®Ønh chÝnh ë 663 nm vµ c¸c lÆp l¹i phonon cña nã.

B¶n chÊt cña d¶i nµy lµ do c¸c t¹p chÊt Fe+3 hoÆc Li+ ë c¸c hãa chÊt ban ®Çu ®-îc sö dông ®Ó chÕ t¹o mÉu [99]. Tuy nhiªn, c¬ chÕ bøc x¹ g©y ra c¸c phæ huúnh quang trong ZnO vÉn cßn nhiÒu vÊn ®Ò cÇn ®-îc nghiªn cøu vµ lµm s¸ng tá. Mµng ZnO pha t¹p Al, Ga vµ In cã ®é ph¶n x¹ hång ngo¹i tèt nªn ®-îc dïng ®Ó phñ lªn c¸c cöa kÝnh trong x©y dùng. Khi pha c¸c t¹p chÊt Pd, Pt mµng ZnO trë nªn cã tÝnh chÊt nh¹y khÝ hy®r« [61,76, 85].

C¸c chuyÓn tiÕp dÞ thÓ ZnO ®-îc dïng 3 TIEU LUAN MOI download : [e-mail] lµm c¸c linh kiÖn quang ®iÖn tö chÊt l-îng cao ho¹t ®éng ë vïng tö ngo¹i vµ lµm pin mÆt trêi chÊt l-îng cao. §Æc biÖt, hiÖn nay vËt liÖu ZnO cã cÊu tróc nan« ®ang ®-îc tËp trung nghiªn cøu víi hy väng trong t-¬ng lai nã sÏ cho phÐp chÕ t¹o mét thÕ hÖ míi c¸c linh kiÖn cã nhiÒu tÝnh chÊt -u viÖt so víi c¸c mÉu d¹ng khèi. Do cã nhiÒu ®Æc tÝnh quý b¸u vµ kh¶ n¨ng øng dông rÊt phong phó nªn chóng t«i ®· chän vËt liÖu ZnO lµ ®èi t-îng ®Ó nghiªn cøu trong luËn ¸n nµy. Trong nh÷ng n¨m gÇn ®©y, mét sè c¬ së nghiªn cøu trong n-íc trong ®ã cã phßng thÝ nghiÖm VËt lý ChÊt r¾n - Khoa VËt lý - tr-êng §¹i häc Khoa häc Tù nhiªn - §HQG Hµ Néi ®· sö dông c¸c ph-¬ng ph¸p kh¸c nhau ®Ó chÕ t¹o vµ nghiªn cøu c¸c tÝnh chÊt vËt lý cña vËt liÖu quang ®iÖn tö ZnO.

NhiÖt ®é nãng ch¶y cña vËt liÖu ZnO rÊt cao (kho¶ng 1973 oC) vµ lµ vËt liÖu th¨ng hoa rÊt dÔ bÞ t¸ch pha, nªn mµng ZnO th-êng ®-îc chÕ t¹o b»ng c¸c ph-¬ng ph¸p nh-: ph-¬ng ph¸p epitaxy b»ng chïm ph©n tö, ph-¬ng ph¸p laze xung, ph-¬ng ph¸p phón x¹ cat«t, ph-¬ng ph¸p phun tÜnh ®iÖn, ph-¬ng ph¸p bèc bay axetat kÏm trong ch©n kh«ng, ph-¬ng ph¸p sol-gel. §Ó nghiªn cøu c¸c tÝnh chÊt quang vµ huúnh quang cña mµng ZnO tinh khiÕt vµ ZnO pha t¹p chÊt, chóng t«i sö dông ph-¬ng ph¸p phæ hÊp thô vµ phæ quang huúnh quang. Trong phÐp ®o phæ quang huúnh quang, nhiÖt ®é mÉu ®-îc thay ®æi tõ nhiÖt ®é 11 K ®Õn nhiÖt ®é phßng. §©y lµ ph-¬ng ph¸p nghiªn cøu nh¹y ®èi víi nh÷ng vËt liÖu cã nång ®é t©m t¹p thÊp mµ kh«ng cÇn t¹o ®iÖn cùc cho mÉu ®o.