Tổng quan luận án
Vật liệu áp điện chì zirconat titanat $\text{Pb(Zr, Ti)O}_3$ (viết tắt là $\text{PZT}$) có cấu trúc perovskite $\text{ABO}_3$ đã được nghiên cứu và ứng dụng trong gần sáu thập kỷ. Kể từ khi Sawaguchi công bố giản đồ pha của hệ $\text{PbZrO}_3 - \text{PbTiO}3$ vào năm 1953 và Jaffe cùng các cộng sự phát hiện hiệu ứng áp điện, các hệ gốm $\text{PZT}$ đã đạt được những bước tiến lớn về thông số kỹ thuật. Hệ số áp điện $d{33}$ được cải thiện từ mức $200\text{ pC/N}$ ở vật liệu không pha tạp lên $300\text{ pC/N}$ ở $\text{PZT-4}$, $400\text{ pC/N}$ ở $\text{PZT-5A}$ và xấp xỉ $600\text{ pC/N}$ ở $\text{PZT-5H}$. Nhờ đó, $\text{PZT}$ trở thành thành phần then chốt trong các linh kiện cơ điện tử như hệ thống vi cơ điện tử ($\text{MEMS}$), hệ thống nano cơ điện tử ($\text{NEMS}$) và cảm biến điện từ. Mặc dù vậy, $\text{PZT}$ chứa hàm lượng chì cao, gây độc hại đối với sức khỏe con người và môi trường sống. Nhằm tuân thủ các quy định môi trường quốc tế, đặc biệt là Chỉ thị $\text{RoHS}$ của Hội đồng châu Âu có hiệu lực từ ngày 01 tháng 7 năm 2006, yêu cầu tìm kiếm vật liệu áp điện không chứa chì có khả năng thay thế $\text{PZT}$ được đặt ra cấp thiết.
Khoảng trống nghiên cứu được luận án chỉ ra là phần lớn các hệ gốm áp điện không chì truyền thống sở hữu hệ số áp điện tương đối thấp so với $\text{PZT}$, kể cả khi thành phần vật liệu nằm trong vùng biên pha hình thái học ($\text{MPB}$). Năm 2009, Liu và Ren phát hiện hệ vật liệu $\text{BaZr}{0,2}\text{Ti}{0,8}\text{O}3 - x\text{Ba}{0,7}\text{Ca}_{0,3}\text{TiO}3$ ($\text{BZT}-x\text{BCT}$) đạt hệ số $d{33}$ lên tới $620\text{ pC/N}$ tại $x = 50%$. Tuy nhiên, việc chế tạo hệ gốm này đòi hỏi nhiệt độ thiêu kết cao, nhiệt độ Curie ($T_C$) còn thấp và cơ chế hình thành tính phân cực lớn chưa được khảo sát đầy đủ. Tại Việt Nam, các nghiên cứu về hệ vật liệu không chì $\text{BZT}-\text{BCT}$ ở thời điểm thực hiện luận án còn rất hạn chế.
Mục tiêu nghiên cứu của luận án được xác định gồm bốn nội dung cụ thể:
- Một là, xây dựng quy trình công nghệ và chế tạo được hệ vật liệu áp điện $x\text{BZT}-(1-x)\text{BCT}$ và $x\text{BZT}-(1-x)\text{BCT}$ pha tạp;
- Hai là, nghiên cứu tính chất sắt điện, điện môi, áp điện của các vật liệu;
- Ba là, nghiên cứu một số tính chất vật lý của vật liệu bằng phương pháp phần tử hữu hạn;
- Bốn là, thử nghiệm ứng dụng của vật liệu trong chế tạo biến tử thủy âm.
Đối tượng nghiên cứu là hệ vật liệu áp điện không chứa chì trên nền $\text{BaTiO}3$ có công thức tổng quát $x\text{BZT}-(1-x)\text{BCT}$ ($x\text{BaZr}{0,2}\text{Ti}{0,8}\text{O}3 - (1-x)\text{Ba}{0,7}\text{Ca}{0,3}\text{TiO}_3$ với $x$ biến thiên từ $0,42$ đến $0,56$) và hệ vật liệu $0,52\text{BCT}$ pha tạp nano $\text{ZnO}$. Phạm vi nghiên cứu tập trung vào việc khảo sát điều kiện công nghệ gốm truyền thống, cấu trúc tinh thể, hình thái học vi cấu trúc bề mặt, các tính chất điện môi, chuyển pha sắt điện, thông số áp điện và mô phỏng dao động áp điện.
Tổng quan tài liệu và vị trí của luận án
Luận án đã hệ thống hóa các hướng nghiên cứu vật liệu áp điện từ năm 1950 đến nay. Đối với vật liệu chứa chì, Sawaguchi (1953) [80] thiết lập giản đồ pha $\text{PbZrO}_3 - \text{PbTiO}_3$, Jaffe và cộng sự [50] công bố tính chất áp điện. Đối với vật liệu không chì, $\text{BaTiO}_3$ là hệ vật liệu perovskite đầu tiên được khảo sát [33, 92, 101]. Các nghiên cứu biến tính $\text{BaTiO}3$ bằng cách thay thế cation vị trí A bởi $\text{Ca}^{2+}$ tạo dung dịch rắn $\text{Ba}{1-x}\text{Ca}_x\text{TiO}_3$ ($\text{BCT}$) và vị trí B bởi $\text{Zr}^{4+}$ tạo $\text{BaZr}x\text{Ti}{1-x}\text{O}_3$ ($\text{BZT}$) đã tạo tiền đề cho hệ hợp phần $\text{BZT}-\text{BCT}$ [66, 99].
Công trình của Liu và Ren (2009) [62] trên hệ $\text{BaZr}{0,2}\text{Ti}{0,8}\text{O}3 - x\text{Ba}{0,7}\text{Ca}{0,3}\text{TiO}3$ xác định hệ số áp điện $d{33} = 620\text{ pC/N}$ tại $x = 50%$, đồng thời dự báo dạng đơn tinh thể hoặc định hướng tinh thể (texture) có thể đạt $1500\text{ pC/N}$. Keeble và cộng sự (2013) [53] sử dụng nhiễu xạ tia X synchrotron phân giải cao chỉ ra sự tồn tại của pha trực thoi trung gian ($Amm2$) bên cạnh pha mặt thoi ($R3m$) và tứ giác ($P4mm$), với chuỗi chuyển pha $R3m \rightarrow Amm2 \rightarrow P4mm \rightarrow Pm\bar{3}m$. Xu và cộng sự [108] xác định toàn bộ hệ số đàn hồi, điện môi và áp điện của $\text{BZT}-50\text{BCT}$ ở nhiệt độ phòng và duy trì $d{33} = 93\text{ pC/N}$ ở $-50^\circ\text{C}$. Gao và cộng sự nghiên cứu cấu trúc đômen kích thước nano bằng kính hiển vi điện tử truyền qua, ghi nhận nhiệt độ khử phân cực khoảng $90^\circ\text{C}$ cùng tốc độ già hóa làm $d_{33}$ và $k_p$ giảm lần lượt $30%$ và $25%$ sau $10^4\text{ phút}$. Yao và cộng sự [110] xác định hệ số hỏa điện của $\text{BZT}-50\text{BCT}$ đạt $5,84 \times 10^{-4}\text{ C}\cdot\text{m}^{-2}\text{K}^{-1}$ (phương pháp Byer - Roudy) và $17,17 \times 10^{-4}\text{ C}\cdot\text{m}^{-2}\text{K}^{-1}$ (trong quá trình làm nguội).
| Vật liệu áp điện không chì |
$\varepsilon_r$ |
$\tan\delta$ |
$d_{33}\text{ (pC/N)}$ |
$k_p$ |
$k_{33}$ |
| $\text{BaTiO}_3$ |
$1700$ |
$0,010$ |
$190$ |
$0,360$ |
$0,500$ |
| $\text{BaTiO}_3 - \text{CaTiO}_3 - \text{Co}$ |
$1420$ |
$0,005$ |
$150$ |
$0,310$ |
$0,460$ |
| $(\text{K}{0,5}\text{Na}{0,5})\text{NbO}_3$ ($\text{KNN}$) |
$500$ |
$0,020$ |
$127$ |
$0,460$ |
$0,600$ |
| $\text{KNN} - \text{Li (7%)}$ |
$950$ |
$0,084$ |
$240$ |
$0,450$ |
$0,640$ |
| $\text{KNN} - \text{LF4}$ |
$1570$ |
- |
$410$ |
$0,610$ |
- |
| $\text{KNN} - \text{SrTiO}_3\text{ (5%)}$ |
$950$ |
- |
$200$ |
$0,370$ |
- |
| $\text{KNN} - \text{LiTaO}_3\text{ (5%)}$ |
$570$ |
$0,040$ |
$200$ |
$0,360$ |
- |
| $\text{KNN} - \text{LiNbO}_3\text{ (6%)}$ |
$500$ |
$0,040$ |
$235$ |
$0,420$ |
$0,610$ |
| $\text{KNN} - \text{LiSbO}_3\text{ (5%)}$ |
$1288$ |
$0,019$ |
$283$ |
$0,500$ |
- |
| $\text{NBT} - \text{KBT} - \text{LBT}$ |
$1550$ |
$0,034$ |
$216$ |
$0,401$ |
- |
| $\text{NBT} - \text{KBT} - \text{BT}$ |
$820$ |
$0,030$ |
$145$ |
$0,162$ |
$0,519$ |
| $\text{NN} - \text{BT10%}$ |
$1000$ |
$0,015$ |
$147$ |
- |
- |
| $\text{NBT} - \text{KBT50%}$ |
$825$ |
$0,030$ |
$150$ |
$0,220$ |
- |
| $\text{BBT} - \text{KBT90}$ |
$837$ |
$0,050$ |
$140$ |
$0,230$ |
$0,538$ |
Về hướng xử lý nhược điểm nhiệt độ thiêu kết cao và nhiệt độ Curie thấp của hệ $\text{BZT}-\text{BCT}$, Huixin Bao và cộng sự [10] nâng $T_C$ của hệ $\text{BaZr}{0,15}\text{Ti}{0,85}\text{O}3 - x\text{Ba}{0,8}\text{Ca}_{0,2}\text{TiO}3$ lên $114^\circ\text{C}$ ($x = 0,53$). Nhóm Yerang Cui [23] sử dụng tạp $\text{CuO}$ hạ nhiệt độ thiêu kết từ $1540^\circ\text{C}$ xuống $1350^\circ\text{C}$ ($d{33} = 510\text{ pC/N}$, $k_p = 0,45$, $\varepsilon = 3762$), hoặc dùng $\text{CeO}2$ $0,04%\text{ khối lượng}$ [22] đạt $d{33} = 600\text{ pC/N}$, $k_p = 0,51$, $\varepsilon = 4843$, $\tan\delta = 1,3%$. Pha tạp $\text{Y}_2\text{O}3$ $0,06%\text{ khối lượng}$ giúp gốm thiêu kết ở $1350^\circ\text{C}$ đạt $d{33} = 560\text{ pC/N}$ và ổn định áp điện trong khoảng $0 - 100^\circ\text{C}$ [24, 60].
Tại Việt Nam, các nghiên cứu vật liệu áp điện không chì được ghi nhận từ năm 2012 bởi Võ Duy Dần và cộng sự trên nền $(\text{K, Na})\text{NbO}3$ [1, 2]; Nguyễn Đức Văn [98] khảo sát sự tạo pha bột $\text{K}{0,5}\text{Na}{0,5}\text{TiO}3$ nano bằng nghiền năng lượng cao; Lê Văn Hồng và cộng sự [41, 54] nghiên cứu điện môi hệ $\text{Ba}{1-x}\text{Ca}x\text{TiO}3$; Nguyễn Trường Thọ và Lê Đại Vương [91] khảo sát hệ $\text{BiFe}{0,91}(\text{Mn}{0,47}\text{Ti}{0,53})_{0,09}\text{O}_3 - \text{BaTiO}_3$. Luận án này định vị là công trình đầu tiên tại Việt Nam thực hiện nghiên cứu thực nghiệm và mô phỏng một cách hệ thống trên hệ vật liệu $x\text{BZT}-(1-x)\text{BCT}$.
Cơ sở lý thuyết và phương pháp nghiên cứu
Luận án vận dụng các lý thuyết vật lý chất rắn và điện môi:
- Cấu trúc Perovskite $\text{ABO}_3$: Đánh giá mức độ biến dạng mạng tinh thể thông qua thừa số bền vững Goldschmidt:
$$t = \frac{r_a + r_o}{\sqrt{2}(r_b + r_o)}$$
Trong đó $r_a, r_b, r_o$ là bán kính ion tại các vị trí A, B và oxy. Trạng thái sắt điện phát sinh do sự lệch tâm của cation vị trí B trong khối bát diện $\text{BO}_6$.
- Lý thuyết sắt điện và chuyển pha: Mô tả mối liên hệ giữa độ dịch chuyển điện $D_i$, điện trường $E_j$ và độ phân cực $P_i$ qua phương trình:
$$D_i = \varepsilon_{ij} E_j = \varepsilon_0 E_i + P_i$$
Ở pha thuận điện trên nhiệt độ Curie $T_C$, hằng số điện môi tuân theo định luật Curie - Weiss $\varepsilon_r = C_C / (T - T_0)$. Quá trình đảo phân cực dưới điện trường ngoài tạo thành đường trễ $P(E)$, xác định các đại lượng: điện trường kháng $E_C$, phân cực bão hòa $P_{sat}$ và phân cực dư $P_r$.
- Sắt điện Relaxor và vùng phân cực nano ($\text{PNRs}$): Giải thích hiện tượng chuyển pha nhòe và tán sắc tần số dưới nhiệt độ Burns $T_B$. Động học đông cứng của các $\text{PNRs}$ tại nhiệt độ $T_f$ được mô tả bằng định luật Vogel - Fulcher:
$$f = f_0 \exp\left[-\frac{E_a}{k_B(T_m - T_f)}\right]$$
Trạng thái điện môi trên $T_m$ được mô tả bằng định luật Curie - Weiss mở rộng:
$$\frac{1}{\varepsilon_r} - \frac{1}{\varepsilon_m} = \frac{(T - T_m)^\gamma}{C_{cw}} \quad (1 \le \gamma \le 2)$$
và biểu thức thực nghiệm dạng Lorentz. Luận án điểm lại các mô hình lý thuyết của Westphal - Kleemann - Glinchuk ($\text{WKG}$), Glinchuk - Farhi ($\text{GF}$), Isupov và Ishchuk.
- Biên pha hình thái học ($\text{MPB}$) và Chuyển pha đa hình ($\text{PPT}$): Cơ chế tăng cường tính chất áp điện tại vùng cùng tồn tại pha do sự hạ thấp rào thế và sự quay dễ dàng của các vector phân cực.
Phương pháp thực nghiệm và công cụ phân tích bao gồm:
- Tổng hợp mẫu: Quy trình gốm truyền thống từ tiền chất $\text{BaCO}_3$, $\text{CaCO}_3$, $\text{TiO}_2$, $\text{ZrO}_2$ (Merck, độ tinh khiết trên $99%$). Phối liệu được nghiền hai lần (mỗi lần $20\text{ giờ}$) trong cồn ethanol bằng máy nghiền hành tinh $\text{PM400/2-MA-Type}$ sử dụng bi $\text{Zirconia}$ ở tốc độ $100\text{ vòng/phút}$. Bột được ép viên đĩa (đường kính $12\text{ mm}$, chiều dày $1,2\text{ mm}$) dưới áp lực $100\text{ MPa}$.
- Phân tích nhiệt và cấu trúc: Phân tích nhiệt vi sai $\text{TGA}-\text{DSC}$ với tốc độ quét $10^\circ\text{C/phút}$. Đo nhiễu xạ tia X ($\text{XRD}$) trên hệ thiết bị $\text{D8-Advanced, BRUKER AXS}$; tính toán tham số mạng tinh thể bằng phần mềm $\text{PowderCell}$ với sai số $0,0001\text{ \AA}$. Đo phổ tán xạ Raman trên hệ $\text{LABRAM-1B}$ ($\text{Horiba Jobin-Yvon}$), sử dụng chùm Laser Ar bước sóng $448\text{ nm}$, công suất $11\text{ mW}$.
- Hình thái học và tỷ trọng: Ảnh hiển vi điện tử quét ($\text{SEM}$) ghi nhận bằng thiết bị $\text{Nova NanoSEM 450 - FEI}$ sau khi ăn mòn hóa học bề mặt bằng dung dịch $95\text{ mL H}_2\text{O} + 4\text{ mL HCl (32%)} + 1\text{ mL HF (40%)}$. Kích thước hạt được xác định bằng phần mềm $\text{ImageJ}$ (làm khớp phân bố Gauss) và phần mềm $\text{Lince}$ (phương pháp cắt tuyến tính). Đo tỷ trọng bằng phương pháp Archimedes trên cân điện tử $\text{Denver Instrument M-120}$ (độ chính xác $0,1\text{ mg}$).
- Đặc trưng điện và áp điện: Đo hằng số điện môi và tổn hao điện môi bằng thiết bị $\text{HIOKI 3235-50 LCR HiTESTER}$ và $\text{HIOKI RLC 3532}$, $\text{Agilent-4396B}$. Đo đường trễ sắt điện bằng mạch Sawyer - Tower. Đánh giá tính chất áp điện theo chuẩn quốc tế $\text{IRE 1961}$ thông qua các tần số cộng hưởng và phản cộng hưởng dựa trên sơ đồ thay thế tương đương Mason. Mô phỏng trạng thái cộng hưởng bằng phương pháp phần tử hữu hạn ($\text{FEM}$).
Nội dung chính theo từng chương
Chương 1. Tổng quan lý thuyết
Chương này tổng hợp cơ sở lý thuyết về cấu trúc tinh thể perovskite $\text{ABO}_3$, thừa số bền vững Goldschmidt và cơ chế chuyển pha cấu trúc từ lập phương sang tứ giác gây dịch chuyển cation $\text{B}^{4+}$, hình thành phân cực tự phát $P_S$. Luận án phân tích sâu hiện tượng sắt điện relaxor, đặc trưng tán sắc tần số của đỉnh điện môi $\varepsilon_r(T)$, sự hình thành các vùng phân cực nano ($\text{PNRs}$) dưới nhiệt độ Burns $T_B$ và quá trình đông cứng lưỡng cực theo định luật Vogel - Fulcher. Các mô hình trường ngẫu nhiên $\text{WKG}$, mô hình $\text{GF}$, mô hình dao động nồng độ ion của Isupov và phân tích thế nhiệt động Landau của Ishchuk được trình bày làm cơ sở lý giải tính chất chuyển pha nhòe. Chương này cũng phân tích giản đồ pha của $\text{PZT}$, vai trò của pha đơn tà tại $\text{MPB}$ và so sánh các hệ gốm không chì tiêu biểu ($\text{KNN}$, $\text{NBT}-\text{BT}$, $\text{BZT}-\text{BCT}$).
Chương 2. Các phương pháp nghiên cứu và thực nghiệm tổng hợp hệ vật liệu áp điện xBZT - (1 - x)BCT
Chương 2 trình bày các phương pháp thực nghiệm và khảo sát tối ưu hóa quy trình công nghệ trên mẫu $0,48\text{BaZr}{0,2}\text{Ti}{0,8}\text{O}3 - 0,52\text{Ba}{0,7}\text{Ca}_{0,3}\text{TiO}_3$ ($0,48\text{BZT}$):
- Phân tích $\text{TGA}-\text{DSC}$ trên mẫu $0,48\text{BZT}$ ghi nhận hai điểm thu nhiệt mất khối lượng tại $709^\circ\text{C}$ ($\Delta m = 6,794%$) và $927^\circ\text{C}$ ($\Delta m = 17,643%$). Kết quả khảo sát $\text{XRD}$ bột nung ở $1150^\circ\text{C}$, $1200^\circ\text{C}$ và $1250^\circ\text{C}$ cho thấy ở $1250^\circ\text{C}$ các pha phụ ($\text{Ba}{0,88}\text{Ca}{0,12}\text{TiO}_4$, $\text{BaCaTiO}_4$, $\text{CaTiO}_3$, $12\text{R-BaTiO}_3$) hoàn toàn biến mất, tạo pha perovskite đơn pha hoàn chỉnh. Do đó, $1250^\circ\text{C}$ được chọn làm nhiệt độ nung sơ bộ.
- Khảo sát thiêu kết tại các mức nhiệt độ $1300^\circ\text{C}, 1350^\circ\text{C}, 1400^\circ\text{C}, 1450^\circ\text{C}, 1500^\circ\text{C}$ trong $4\text{ giờ}$. Kết quả phân tích vi cấu trúc, tỷ trọng, điện môi và áp điện được tổng hợp dưới đây:
| Nhiệt độ thiêu kết ($^\circ\text{C}$) |
Cỡ hạt $S_g\text{ (\mu m)}$ |
Tỷ trọng $\rho\text{ (kg/m}^3\text{)}$ |
$\varepsilon\text{ (1 kHz)}$ |
$\tan\delta\text{ (%)}$ |
$k_p$ |
$k_t$ |
$|d_{31}|\text{ (pC/N)}$ |
$d_{33}\text{ (pC/N)}$ |
| $1300$ |
$9,7$ |
$5010$ |
$1762$ |
$6,1$ |
$0,17$ |
$0,16$ |
$74$ |
$68$ |
| $1350$ |
$12,1$ |
$5310$ |
$2866$ |
$3,4$ |
$0,31$ |
$0,33$ |
$157$ |
$203$ |
| $1400$ |
$28,5$ |
$5567$ |
$3020$ |
$2,7$ |
$0,47$ |
$0,37$ |
$162$ |
$361$ |
| $1450$ |
$32,4$ |
$5624$ |
$3321$ |
$1,3$ |
$0,52$ |
$0,55$ |
$188$ |
$542$ |
| $1500$ |
$30,3$ |
$5615$ |
$3337$ |
$1,6$ |
$0,50$ |
$0,47$ |
$188$ |
$538$ |
- Khảo sát điều kiện phân cực trên mẫu thiêu kết ở $1450^\circ\text{C}$: Điện trường phân cực tối ưu được xác định là $E_p = 20\text{ kV/cm}$ (vượt quá $25\text{ kV/cm}$ gây đánh thủng mẫu); thời gian phân cực tối ưu là $t_p = 60\text{ phút}$; nhiệt độ phân cực là nhiệt độ phòng ($30 - 40^\circ\text{C}$).
Chương 3. Cấu trúc, vi cấu trúc và các tính chất điện của hệ vật liệu xBZT - (1 - x)BCT
Chương 3 trình bày các kết quả trên hệ mẫu $x\text{BZT}-(1-x)\text{BCT}$ ($x = 0,42 - 0,56$) thiêu kết tại $1450^\circ\text{C}$:
- Giản đồ $\text{XRD}$ khẳng định toàn bộ các mẫu đều tạo thành dung dịch rắn đơn pha có cấu trúc perovskite.
- Khi nồng độ $\text{BZT}$ thay đổi từ $x = 0,42$ đến $0,46$, vật liệu mang đối xứng tứ giác ($P4mm$), thể hiện qua sự tách vạch rõ nét giữa hai đỉnh $(002)$ và $(200)$ tại góc $2\theta \approx 45^\circ$. Khi tăng $x$, cường độ đỉnh $(002)_T$ giảm dần.
- Tại $x \ge 0,48$, hai đỉnh nhiễu xạ hợp nhất thành một đỉnh duy nhất, vật liệu chuyển sang đối xứng mặt thoi ($P3m$).
- Phân tích làm khớp phổ $\text{XRD}$ bằng hàm Gauss trong vùng góc $2\theta$ từ $44^\circ$ đến $46^\circ$ xác định thành phần $0,48\text{BZT}$ nằm tại biên pha hình thái học ($\text{MPB}$), nơi cùng tồn tại đồng thời pha tứ giác (với các đỉnh $(002)_T$ tại $45,11^\circ$, $(200)_T$ tại $45,36^\circ$) và pha mặt thoi (đỉnh $(200)_R$ tại $45,21^\circ$).
- Tham số mạng của mẫu $0,56\text{BZT}$ xác định qua $\text{PowderCell}$ là $a = b = c = 4,0047\text{ \AA}$, $\alpha = \beta = \gamma = 89,9131^\circ$.
Chương 4. Một số tính chất vật lý của hệ vật liệu áp điện 0.52BCT pha tạp ZnO có cấu trúc nano
Chương 4 nghiên cứu ảnh hưởng của việc bổ sung pha tạp nano $\text{ZnO}$ vào hệ nền $0,52\text{BCT}$. Luận án sử dụng kết hợp giản đồ nhiễu xạ tia X và phổ tán xạ Raman (ghi nhận trên hệ đo $\text{LABRAM-1B}$) để khảo sát tác động của tạp chất nano đến các mode dao động mạng tinh thể, sự thay đổi vi cấu trúc bề mặt, tính chất sắt điện, phản ứng điện môi và các hệ số áp điện của vật liệu.
Chương 5. Nghiên cứu đặc trưng cộng hưởng áp điện bằng phương pháp phần tử hữu hạn
Chương 5 ứng dụng phương pháp phần tử hữu hạn ($\text{FEM}$) để mô hình hóa và mô phỏng số hành vi dao động cơ điện của mẫu gốm áp điện. Luận án phân tích các mode dao động cộng hưởng, phân bố ứng suất và biến dạng trong vật liệu, đối chiếu giữa kết quả mô phỏng lý thuyết với các số liệu thực nghiệm thu được từ chuẩn $\text{IRE 1961}$, đồng thời đánh giá thử nghiệm khả năng ứng dụng của vật liệu trong việc chế tạo biến tử thủy âm.
Kết quả và những đóng góp mới
Luận án đã đạt được các kết quả và đóng góp mới sau:
- Là công trình khoa học đầu tiên tại Việt Nam nghiên cứu một cách hệ thống về cấu trúc tinh thể, vi cấu trúc, tính chất sắt điện, điện môi và áp điện của hệ vật liệu không chứa chì $x\text{BZT}-(1-x)\text{BCT}$.
- Xác lập bộ thông số công nghệ chế tạo gốm $x\text{BZT}-(1-x)\text{BCT}$ bằng phương pháp truyền thống: nhiệt độ nung sơ bộ $1250^\circ\text{C}$, nhiệt độ thiêu kết $1450^\circ\text{C}$ trong thời gian $4\text{ giờ}$, chế độ phân cực áp điện tại nhiệt độ phòng dưới điện trường $20\text{ kV/cm}$ trong $60\text{ phút}$.
- Xác định được vị trí biên pha hình thái học ($\text{MPB}$) tại thành phần $x = 0,48$, nơi cùng tồn tại hai pha tứ giác ($P4mm$) và mặt thoi ($P3m$).
- Đạt được các thông số vật liệu tối ưu trên mẫu $0,48\text{BZT}$ thiêu kết ở $1450^\circ\text{C}$: hệ số áp điện $d_{33} = 542\text{ pC/N}$, hệ số liên kết điện - cơ $k_p = 0,52$, $k_t = 0,55$, hệ số $|d_{31}| = 188\text{ pC/N}$, hằng số điện môi $\varepsilon = 3321$ và tổn hao điện môi thấp $\tan\delta = 1,3%$.
- Khảo sát ảnh hưởng của tạp chất nano $\text{ZnO}$ trên hệ nền $0,52\text{BCT}$ và áp dụng phương pháp phần tử hữu hạn ($\text{FEM}$) trong phân tích dao động cộng hưởng áp điện định hướng ứng dụng biến tử thủy âm.
Kiến nghị và giải pháp đề xuất:
- Luận án đề xuất sử dụng hệ gốm $x\text{BZT}-(1-x)\text{BCT}$ làm vật liệu thay thế gốm chứa chì $\text{PZT}$ trong các thiết bị cơ điện tử và biến tử thủy âm thân thiện với môi trường.
- Tiếp tục ứng dụng các kỹ thuật pha tạp oxit kim loại để hạ thấp hơn nữa nhiệt độ thiêu kết và cải thiện độ ổn định nhiệt độ của các thông số áp điện.
Hạn chế và hướng nghiên cứu tiếp
- Hạn chế: Do giới hạn về trang thiết bị công nghệ tại phòng thí nghiệm, luận án chưa thể khảo sát chế độ thiêu kết ở các mức nhiệt độ cao hơn $1500^\circ\text{C}$. Hệ vật liệu $\text{BZT}-\text{BCT}$ nhìn chung có nhiệt độ Curie ($T_C$) chưa cao và tồn tại hiện tượng già hóa thông số theo thời gian sau khi phân cực.
- Hướng nghiên cứu tiếp:
- Tiếp tục tối ưu hóa quy trình pha tạp đa nguyên tố nhằm nâng cao nhiệt độ chuyển pha Curie và hạ nhiệt độ thiêu kết gốm.
- Mở rộng thử nghiệm chế tạo hoàn chỉnh linh kiện biến tử thủy âm thực tế trên cơ sở vật liệu đã tối ưu hóa.
Giá trị tham khảo
- Đối tượng thụ hưởng:
- Nghiên cứu sinh, học viên cao học, giảng viên và các nhà nghiên cứu trong lĩnh vực Vật lý chất rắn, Khoa học vật liệu và Kỹ thuật vật liệu điện tử.
- Các kỹ sư nghiên cứu và phát triển linh kiện vi cơ điện tử ($\text{MEMS}$), cảm biến điện từ và thiết bị thủy âm.
- Nội dung đáng tham khảo:
- Dữ liệu thực nghiệm chi tiết về quy trình công nghệ chế tạo gốm không chì nền $\text{BaTiO}_3$ bằng phương pháp truyền thống.
- Phương pháp phân tích pha tinh thể kết hợp làm khớp phổ $\text{XRD}$ bằng $\text{PowderCell}$ và hàm Gauss để xác định biên pha $\text{MPB}$.
- Quy trình xử lý định lượng ảnh $\text{SEM}$ xác định kích thước hạt bằng phần mềm $\text{ImageJ}$ và $\text{Lince}$.
- Quy trình tính toán hệ số áp điện theo chuẩn quốc tế $\text{IRE 1961}$ và phương pháp mô phỏng cộng hưởng áp điện bằng phần tử hữu hạn.
Câu hỏi thường gặp
1. Vì sao hệ vật liệu $x\text{BZT}-(1-x)\text{BCT}$ được lựa chọn để nghiên cứu thay thế $\text{PZT}$?
Vật liệu $\text{PZT}$ chứa chì độc hại, bị hạn chế sử dụng theo Chỉ thị $\text{RoHS}$. Hệ không chì $x\text{BZT}-(1-x)\text{BCT}$ được lựa chọn vì sở hữu điểm ba giao nhau giữa ba pha (mặt thoi, tứ giác, lập phương) và biên pha hình thái học ($\text{MPB}$), cho phép đạt hệ số áp điện $d_{33}$ cao tương đương hoặc vượt các hệ gốm $\text{PZT}$.
2. Nhiệt độ nung sơ bộ và thiêu kết tối ưu của thành phần $0,48\text{BZT}$ được xác định là bao nhiêu?
Nhiệt độ nung sơ bộ tối ưu là $1250^\circ\text{C}$, được xác định dựa trên phân tích nhiệt $\text{TGA}-\text{DSC}$ (điểm thu nhiệt thứ hai tại $927^\circ\text{C}$) và giản đồ $\text{XRD}$ sạch pha phụ. Nhiệt độ thiêu kết tối ưu là $1450^\circ\text{C}$ trong $4\text{ giờ}$, cho mẫu có tỷ trọng cao nhất ($5624\text{ kg/m}^3$), tổn hao điện môi thấp nhất ($1,3%$) và tính chất áp điện tối ưu.
3. Chế độ phân cực áp điện được thiết lập như thế nào trong luận án?
Chế độ phân cực tối ưu cho mẫu $0,48\text{BZT}$ là: điện trường phân cực $E_p = 20\text{ kV/cm}$, thời gian phân cực $t_p = 60\text{ phút}$, thực hiện tại nhiệt độ phòng ($30 - 40^\circ\text{C}$).
4. Vị trí biên pha hình thái học ($\text{MPB}$) của hệ $x\text{BZT}-(1-x)\text{BCT}$ xuất hiện tại tỷ lệ thành phần nào?
Biên pha hình thái học xuất hiện tại thành phần $x = 0,48$ ($0,48\text{BZT}-0,52\text{BCT}$). Tại thành phần này, phép phân tích $\text{XRD}$ làm khớp hàm Gauss xác định sự cùng tồn tại của cả pha tứ giác ($P4mm$) với các đỉnh $(002)_T$, $(200)_T$ và pha mặt thoi ($P3m$) với đỉnh $(200)_R$.
5. Các giá trị thông số áp điện và điện môi cao nhất ghi nhận trên mẫu $0,48\text{BZT}$ thiêu kết ở $1450^\circ\text{C}$ là bao nhiêu?
Mẫu $0,48\text{BZT}$ thiêu kết ở $1450^\circ\text{C}$ đạt: $d_{33} = 542\text{ pC/N}$, $k_p = 0,52$, $k_t = 0,55$, $|d_{31}| = 188\text{ pC/N}$, hằng số điện môi $\varepsilon = 3321$ và tổn hao điện môi $\tan\delta = 1,3%$.
Kết luận
Luận án đã xây dựng thành công quy trình công nghệ chế tạo hệ gốm áp điện không chứa chì $x\text{BZT}-(1-x)\text{BCT}$ bằng phương pháp gốm truyền thống với nhiệt độ nung sơ bộ $1250^\circ\text{C}$ và thiêu kết $1450^\circ\text{C}$. Nghiên cứu đã làm sáng tỏ sự chuyển pha cấu trúc từ tứ giác sang mặt thoi và xác định vùng biên pha hình thái học tại $x = 0,48$, nơi vật liệu đạt các thông số áp điện vượt trội ($d_{33} = 542\text{ pC/N}$, $k_p = 0,52$). Kết hợp với việc khảo sát pha tạp nano $\text{ZnO}$ và tính toán mô phỏng phần tử hữu hạn, luận án cung cấp các dữ liệu thực nghiệm và lý thuyết quan trọng cho định hướng phát triển vật liệu áp điện thân thiện với môi trường tại Việt Nam.