Chương 1: Tổng quan. Trong chương này, tác giả giới thiệu tổng quan về các cơ chế, đặc trưng, các thông số cơ bản và nguyên tắc hoạt động của cảm biến khí nói chung, cảm biến khí ôxít kim loại bán dẫn và cảm biến khí dựa trên cơ sở sợi nano ôxít kim loại nói riêng. Đồng thời, tác giả cũng chỉ ra một số phương pháp đơn giản để chế tạo các cấu trúc nano ứng dụng cho cảm biến khí. Tiếp theo tác giả trình bày tổng quan về khí êtylen, cấu trúc tinh thể, các tính chất cơ bản, phương pháp chế tạo cũng như khả năng ứng dụng của vật liệu Co3O4.
Chương 2: Thực nghiệm. Nội dung chính của chương này là các quá trình thực nghiệm chế tạo và đo đạc mẫu. - Tác giả trình bày các hóa chất, dụng cụ, thiết bị đã được sử dụng trong quá trình thực nghiệm. - Trình bày quy trình chế tạo sợi nano Co3O4 bằng phương pháp phun tĩnh điện.
- Trình bày phương pháp khảo sát cấu trúc, hình thái và phân tích vật liệu. - Trình bày các phép đo đạc, các hệ máy đo mà tác giả sử dụng để khảo sát tính chất nhạy khí của cảm biến chế tạo được. Chương 3: Kết quả và thảo luận - Trình bày các kết quả phân tích hình thái, cấu trúc tinh thể bằng ảnh kính hiển vi điện tử quét SEM, phổ tán sắc năng lượng tia X (EDX), kỹ thuật phân tích giản đồ nhiễu xạ tia X (XRD), kính hiển vị điện tử truyền qua (TEM) và phổ tán sắc năng lượng (EDX). - Khảo sát và đánh giá tính chất nhạy khí của cảm biến chế tạo được với các khí C2H4, NH3, C6H15N, CH3COCH3, H2S, C2H5OH và H2.
Trình bày cơ chế nhạy khí của sợi nano Co3O4 với khí đo. Kết luận và kiến nghị Trong mục này các tác giả trình bày các kết luận của luận văn bao gồm các kết quả thu được của luận văn, những kết luận khoa học về vấn đề nghiên cứu; cũng như kiến nghị các nghiên cứu sâu hơn trong tương lai để phát triển tri thức về vật liệu Co3O4 và cảm biến phát hiện khí C2H4. TỔNG QUAN Trong chương này tác giả giới thiệu sơ lược về cảm biến khí cũng như cơ chế nhạy khí của vật liệu ô-xit kim loại bán dẫn nói chung và vật liệu Co3O4 nói riêng và các đặc trưng cơ bản của cảm biến khí như độ đáp ứng, độ nhạy, thời gian đáp ứng và thời gian hồi phục, độ ổn định, độ chọn lọc và giới hạn phát hiện. Tiếp theo tác giả trình bày về tổng quan các phương pháp tổng hợp vật liệu Co3O4, tổng quan về phương pháp phun tĩnh điện (electrospinning) để chế tạo sợi nano (nanofibers) và các thông số ảnh hưởng.
Cuối cùng tác giả trình bày tổng quan về vật liệu Co3O4, tính chất vật lý cũng như đặc tính chất điện của vật liệu và ứng dụng của chúng trong lĩnh vực cảm biến khí. Cảm biến khí và đặc trưng của cảm biến khí 1. Cấu tạo chung của cảm biến khí Cảm biến được định nghĩa là một linh kiện dùng để chuyển đổi (biến) tín hiệu cần đo là các tác nhân kích thích thành tín hiệu có thể đo đạc được (tín hiệu điện, nhiệt, âm thanh, ánh sáng, màu sắc…). Cảm biến khí là thiết bị phát hiện sự hiện diện hoặc nồng độ các khí trong khí quyển.
Dựa trên nồng độ của khí, cảm biến tạo ra hiệu điện thế tương ứng bằng cách thay đổi điện trở của vật liệu bên trong cảm biến, có thể được đo dưới dạng điện áp đầu ra. Dựa trên giá trị điện áp này, loại và nồng độ của khí có thể được ước tính.1: Cấu tạo của chip cảm biến khí dựa trên sự thay đổi độ dẫn của vật liệu nano ôxít kim loại bán dẫn. Cấu tạo của một thiết bị cảm biến khí kiểu độ dẫn bao gồm màng ôxít bán dẫn phủ trên đế chịu nhiệt (thủy tinh hoặc kim loại), để đo sự thay đổi điện trở. Và bộ phận đốt nóng để duy trì nhiệt độ làm việc của cảm biến Hình 1.
Lớp vật liệu bán dẫn giữ vai trò chính trong quá trình phát hiện khí, chuyển đổi lượng khí bị hấp phụ thành sự thay đổi của điện trở hay nói một cách khác, biến tín hiệu không phải điện (nồng độ khí) thành tín hiệu điện (điện trở). Vật liệu làm đế thường được chọn là nhôm (Al) hoặc đế silic (Si), những loại đế có thể chịu nhiệt độ hoạt động cao. Điện cực là chi tiết dùng để truyền dẫn sự thay đổi tín hiệu hóa học thành tín hiệu điện và xuất ra ngoài. Trong một số thiết kế, điện cực còn có thể kết hợp để làm bộ nâng nhiệt trong thiết bị cảm biến.
4 Platin (Pt) là loại vật liệu thường được dùng để chế tạo điện cực. Tùy thuộc vào mục đích ứng dụng khác nhau mà mỗi cảm biến khí sẽ phải đáp ứng một số yêu cầu cụ thể. Trong đó các đặc trưng cơ bản của cảm biến khí bao gồm độ nhạy, thời gian đáp ứng/thời gian hồi phục, tính ổn định, tính chọn lọc… là những yếu tố quan tâm đầu tiên đối với một cảm biến khí. Các đặc trưng cơ bản của cảm biến khí Độ đáp ứng Độ đáp ứng là thông số đặc trưng nhất của thiết bị cảm biến, cho thấy sự thay đổi về tính chất vật lý hoặc hóa học khi tương tác với môi trường khí.
Trong trường hợp cảm biến khí điện trở, độ đáp ứng (S) là tỉ số giữa điện trở của mẫu đo trong không khí và đo trong môi trường chứa khí cần phát hiện. Các công thức thường được sử dụng để tính độ đáp ứng như sau: S=Ra/Rg (Ra>Rg) (1.1) Hoặc S=Rg/Ra (Ra<Rg) (1.2) Trong đó, Ra: Điện trở của cảm biến trong môi trường khí nền (thường là không khí). Rg: Điện trở của cảm biến trong môi trường chứa khí cần phát hiện. Thời gian đáp ứng và hồi phục Đối với cảm biến khí kiểu thay đổi độ dẫn, thời gian đáp ứng là thời gian để điện trở của cảm biến thay đổi từ giá trị Rair đến giá trị Rgas.
Thời gian hồi phục được định nghĩa là thời gian để điện trở cảm biến có thể hồi phục trở về giá trị ban đầu Rair sau khi ngắt khí thử. Thời gian hồi phục sẽ quyết định khoảng cách tối thiểu giữa hai lần đo liên tiếp mà vẫn đảm bảo cảm biến hoạt động bình thường. Có thể quan sát trong hình 1.2 với thời gian đáp ứng là Ʈres và thời gian hồi phục là Ʈrec.2: Thời gian đáp ứng và hồi phục của cảm biến khí. Độ chọn lọc Độ chọn lọc là khả năng đáp ứng chọn lọc với một nhóm hoặc một loại khí phân tích của cảm biến.
Để đánh giá độ chọn lọc của cảm biến khí, người ta 5 thường so sánh độ nhạy hoặc độ đáp ứng của cảm biến đối với các khí khác nhau ở cùng một ở một điều kiện nhất định (nồng độ khí cảm biến làm việc). Thông thường, cảm biến khí được mong muốn chỉ có thể đáp ứng chọn lọc với một vài loại khí nhất định ở vùng nồng độ nhất định trong điều kiện làm việc tối ưu. Tuy nhiên đối với cảm biến khí kiểu thay đổi độ dẫn dựa trên lớp nhạy khí là các ôxít kim loại bán dẫn thường có độ chọn lọc khá kém do cảm biến có thể cho độ đáp ứng tương đối cao với một vài loại khí khác nhau.3 cho thấy độ chọn lọc của cảm biến Co3O4 với khí H2S ở nồng độ 100 ppm, 225oC là cao nhất (360%), cao hơn hẳn so với các khí khác. Tăng tính chọn lọc của cảm biến khí vẫn đang là một vấn đề thách thức, thu hút nhiều nhà khoa học nghiên cứu.3: Độ chọn lọc của cảm biến Co3O4 với khí H2S, nồng độ 100 ppm, 225oC [9].
Độ nhạy khí Độ nhạy của cảm biến khí kiểu điện trở là tỷ số giữa sự thay đổi điện trở tương đối của cảm biến (∆R) so với sự thay đổi của nồng độ khí đo (∆C). Hay độ nhạy chính là độ dốc của đường phụ thuộc của độ đáp ứng khí theo nồng độ khí đo. Cảm biến khí có độ nhạy càng cao thì càng dễ dàng trong việc thiết kế mạch đo và càng có thể đo được các giới hạn nồng độ khí thấp hơn. Độ ổn định Độ ổn định là thông số đánh giá khả năng làm việc của cảm biến trong một khoảng thời gian nhất định mà vẫn đảm bảo tính lặp lại của các kết quả đo.
Chúng bao gồm thời gian sống, độ nhạy, độ chọn lọc, thời gian đáp ứng và hồi phục. Thông thường mỗi cảm biến có một thời gian sống nhất định. Đối với cảm biến bán dẫn, khi làm việc ở nhiệt độ cao, các tinh thể ôxít kim loại sẽ khuếch tán vào nhau và hình thành các tinh thể lớn hơn, từ đó dẫn đến làm suy giảm đáp ứng của cảm biến. Như vậy, sau một khoảng thời gian làm việc cảm biến cần được hiệu chỉnh lại.4 cho thấy độ lặp lại của cảm biến Co3O4 với khí H2S ở nồng độ 25 ppm, 225oC tương đối ổn định.4: Độ lặp lại của cảm biến trên cơ sở Co3O4 với khí H2S, 25 ppm, 225oC [9].
Ảnh hưởng của nhiệt độ đến độ đáp ứng khí Hình 1.5: Điện trở của cảm biến Co3O4 theo nhiệt độ khác nhau [9]. Thông thường đối với cảm biến bán dẫn ôxít kim loại thì điện trở sẽ giảm khi tăng nhiệt độ làm việc. Nhiệt độ làm việc của cảm biến là nhiệt độ tại đó người ta lựa chọn để khảo sát các thông số đặc trưng của cảm biến. Thông thường nhiệt độ làm việc là nhiệt độ mà tại đó cảm biến thể hiện độ đáp ứng cao nhất.
Đối với cảm biến khí bán dẫn kiểu thay đổi độ dẫn, quá trình hấp phụ khí trên bề mặt vật liệu phụ thuộc khá nhiều vào nhiệt độ làm việc. Thông thường cảm biến khí trên cơ sở ôxít kim loại bán dẫn kiểu thay đổi điện trở có nhiệt độ làm việc trong khoảng từ 100oC đến 450oC, tùy thuộc vào từng loại khí và từng loại vật liệu nhạy khí khác nhau.6: Đồ thị độ đáp ứng theo nhiệt độ của cảm biến trên cơ vật liệu Co3O4 với khí H2S nồng độ 100 ppm [9] .6 cho thấy độ đáp ứng của cảm biến Co3O4 với khí H2S nồng độ 100 ppm theo các nhiệt độ khác nhau. Khi nhiệt độ dưới 220oC thì độ đáp ứng tăng khi nhiệt độ tăng, còn trên 220oC thì độ đáp ứng giảm nhanh khi nhiệt độ tăng. Độ đáp ứng cao nhất đạt 350% tại 220oC, độ đáp ứng thấp nhất là 100% tại 250oC.
Tổng quan về khí êtylen C2H4 hay còn được gọi là khí êtylen và được ứng dụng trong sản xuất công nghiệp [10] cũng như các ngành khoa học.