Nghiên Cứu Chế Tạo Và Đặc Trưng Tính Chất Của Màng Phủ Nitrua Trên Nền Hợp Kim Cứng WC-Co

Chuyên ngành

Khoa học vật liệu

Người đăng

Ẩn danh

Thể loại

luận án tiến sĩ

2019

132
1
0

Phí lưu trữ

30.000 VNĐ

Mục lục chi tiết

LỜI CẢM ƠN

LỜI CAM ĐOAN

1. MỞ ĐẦU

1.1. Lịch sử phát triển màng phủ và phân loại

1.1.1. Khái niệm và lịch sử phát triển

1.1.2. Phân loại màng phủ

1.2. Tình hình nghiên cứu màng phủ nitrit trên thế giới

1.3. Cấu trúc màng phủ nitrua

1.3.1. Cấu trúc màng TiN và AlN

1.3.2. Cấu trúc màng TiAlN

1.3.3. Cấu trúc màng CrN

1.4. Các phương pháp chế tạo màng phủ nitrua

1.4.1. Phương pháp lắng đọng pha hơi hóa học (CVD)

1.4.2. Phương pháp lắng đọng vật lý pha hơi (PVD)

1.4.2.1. Phương pháp bốc bay chân không
1.4.2.2. Phương pháp phún xạ

1.5. Sự hình thành màng phủ bằng phương pháp phún xạ

1.5.1. Phún xạ vật liệu

1.5.2. Sự chuyển động của các hạt phún xạ

1.5.3. Lắng đọng trên bề mặt

1.5.3.1. Sự tạo mầm
1.5.3.2. Sự phát triển mầm

1.6. Vai trò của năng lượng trong việc hình thành cấu trúc nano

1.7. Ứng dụng màng phủ nitrua và tình hình nghiên cứu tại Việt Nam

2. CHUẨN BỊ MẪU VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU

2.1. Phương pháp chế tạo màng nitrua

2.1.1. Chế tạo bia phún xạ

2.1.2. Chế tạo màng phủ nitrua

2.1.2.1. Chuẩn bị bề mặt mẫu
2.1.2.2. Chế tạo màng đơn lớp TiAlXN (X: Si, B, V)
2.1.2.3. Chế tạo màng đa lớp TiAlSiN/CrN và TiAlBN/CrN
2.1.2.4. Thiết bị phún xạ magnetron

2.2. Phương pháp và thiết bị đặc trưng tính chất của màng phủ

2.2.1. Thiết bị đo độ cứng nano-indenter

2.2.2. Thiết bị đo độ mấp mô bề mặt và chiều dày màng phủ

2.2.3. Thiết bị đo hệ số ma sát, mài mòn

2.2.4. Thiết bị xác định độ bền bám dính

2.2.5. Các thiết bị khác

3. CHẾ TẠO MÀNG PHỦ CỨNG ĐƠN LỚP TiAlXN (X:Si,B,V)

3.1. Tối ưu hóa các thông số cơ bản của quá trình phún xạ

3.1.1. Ảnh hưởng của công suất phún xạ đến độ cứng của màng TiAlXN

3.1.2. Ảnh hưởng của áp suất phún xạ đến độ cứng của màng TiAlXN

3.1.3. Ảnh hưởng của khoảng cách giữa bia và đế đến độ cứng của màng TiAlXN

3.2. Chế tạo các màng đơn lớp TiAlSiN, TiAlBN và TiAlVN

3.2.1. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến cấu trúc và thành phần hóa học của màng TiAlSiN

3.2.2. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến độ cứng của màng TiAlSiN

3.2.3. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến hệ số ma sát và mài mòn

3.2.4. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến độ bền bám dính của màng

3.2.5. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến cấu trúc và thành phần hóa học của màng TiAlBN

3.2.6. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến độ cứng của màng TiAlBN

3.2.7. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến hệ số ma sát và mài mòn

3.2.8. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến độ bền bám dính của màng

3.2.9. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến cấu trúc và thành phần hóa học của màng TiAlVN

3.2.10. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến độ cứng của màng TiAlVN

3.2.11. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến hệ số ma sát và mài mòn

3.2.12. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến độ bền bám dính của màng

3.3. So sánh cơ tính của các màng chế tạo TiAlSiN, TiAlBN và TiAlVN

4. CHẾ TẠO MÀNG PHỦ NITRUA ĐA LỚP TiAlX(Si,B)/CrN

4.1. Màng đa lớp TiAlSiN/CrN

4.1.1. Cấu trúc của màng đa lớp TiAlSiN/CrN

4.1.1.1. Cấu trúc pha
4.1.1.2. Cấu trúc tế vi

4.1.2. Độ cứng và modul đàn hồi của màng đa lớp TiAlSiN/CrN

4.1.2.1. Ảnh hưởng chiều dày cặp lớp màng
4.1.2.2. Ảnh hưởng của số lớp màng
4.1.2.3. Hệ số ma sát của màng đa lớp TiAlSiN/CrN
4.1.2.4. Độ bền bám dính của màng đa lớp TiAlSiN/CrN

4.2. Màng đa lớp TiAlBN/CrN

4.2.1. Cấu trúc của màng đa lớp TiAlSiN/CrN

4.2.1.1. Cấu trúc pha
4.2.1.2. Cấu trúc tế vi của màng đa lớp

4.2.2. Độ cứng và modul đàn hồi của màng đa lớp TiAlBN/CrN

4.2.2.1. Ảnh hưởng chiều dày cặp lớp màng
4.2.2.2. Ảnh hưởng của số lớp màng
4.2.2.3. Hệ số ma sát của màng đa lớp TiAlBN/CrN
4.2.2.4. Độ bền bám dính của màng đa lớp TiAlSiN/CrN

KẾT LUẬN CHUNG

CÁC ĐÓNG GÓP MỚI CỦA LUẬN ÁN

CÁC CÔNG TRÌNH KHOA HỌC ĐÃ CÔNG BỐ

TÀI LIỆU THAM KHẢO

Tài liệu "Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Phủ Nitrua Trên Hợp Kim Cứng WC-Co Bằng Phương Pháp Phún Xạ Magnetron" trình bày một nghiên cứu sâu sắc về quy trình chế tạo màng phủ nitrua trên hợp kim cứng WC-Co, sử dụng phương pháp phún xạ magnetron. Nghiên cứu này không chỉ làm rõ các kỹ thuật và quy trình thực hiện mà còn chỉ ra những lợi ích của việc áp dụng màng phủ nitrua trong việc cải thiện độ bền và khả năng chống mài mòn của vật liệu. Điều này mang lại giá trị lớn cho các ngành công nghiệp cần sử dụng vật liệu có độ bền cao.

Để mở rộng thêm kiến thức về các công nghệ và nghiên cứu liên quan, bạn có thể tham khảo tài liệu Luận án tiến sĩ nghiên cứu ảnh hưởng của chế độ công nghệ phun phủ plasma đến tính chất của lớp phủ gốm hệ al2o3 tio2 trên nền thép, nơi khám phá ảnh hưởng của công nghệ phun phủ đến tính chất của lớp phủ. Ngoài ra, tài liệu Luận án tiến sĩ nghiên cứu ảnh hưởng của lớp phủ bề mặt đến độ bền mỏi của chi tiết máy dạng trục cũng cung cấp cái nhìn sâu sắc về cách lớp phủ ảnh hưởng đến độ bền của các chi tiết máy. Cuối cùng, bạn có thể tìm hiểu thêm về Nghiên cứu ảnh hưởng của công nghệ xử lý nhiệt đến khả năng thấm nit cho thép không gỉ sus420, tài liệu này sẽ giúp bạn hiểu rõ hơn về các phương pháp xử lý nhiệt và ảnh hưởng của chúng đến vật liệu. Những tài liệu này sẽ giúp bạn mở rộng kiến thức và hiểu biết về các công nghệ tiên tiến trong lĩnh vực vật liệu.