Luận Văn Thạc Sĩ: Ứng Dụng Kim Cương Nhân Tạo Làm Vật Liệu Tản Nhiệt Cho Các Linh Kiện Điện Tử ...

Trường đại học

Trường Đại học Công nghệ

Người đăng

Ẩn danh

Thể loại

Luận Văn Thạc Sĩ

2010

61
1
0

Phí lưu trữ

30 Point

Mục lục chi tiết

LỜI CAM ĐOAN

1. CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN

1.1. Đế tản nhiệt cho linh kiện LED công suất

1.2. Vấn đề tản nhiệt của các linh kiện điện tử công suất

1.3. Giới thiệu về linh kiện LED

1.4. Vật liệu kim cương

1.4.1. Cấu trúc của kim cương

1.4.2. Cấu trúc của graphite

1.4.3. Tính chất dẫn nhiệt của kim cương

1.5. Công nghệ chế tạo màng kim cương nhân tạo

1.5.1. Phương pháp áp suất cao, nhiệt độ cao

1.5.2. Phương pháp lắng đọng pha hơi hóa học

1.6. Màng kim cương nhân tạo trên đế đồng

2. CHƯƠNG 2: THỰC NGHIỆM

2.1. Hệ thiết bị MPCVD

2.1.1. Các thông số cơ bản của hệ thiết bị MPCVD

2.2. Quy trình vận hành thiết bị MPCVD

2.3. Chế tạo mẫu

2.3.1. Chế tạo màng kim cương trên đế đồng

2.3.2. Chế tạo đế tản nhiệt cho linh kiện LED công suất

2.4. Các phương pháp phân tích

2.4.1. Hiển vi điện tử quét

2.4.2. Phổ tán xạ Raman

2.4.3. Phương pháp nhiễu xạ tia X

3. CHƯƠNG 3: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN

3.1. Các mẫu chế tạo theo chế độ nhiệt độ đốt đế thấp, công suất plasma cao

3.1.1. Hình thái học bề mặt của mẫu chế tạo

3.1.2. Kết quả đo phổ tán xạ Raman

3.2. Các mẫu chế tạo theo chế độ nhiệt độ đốt đế cao, công suất plasma thấp

3.2.1. Hình thái học bề mặt của mẫu chế tạo

3.2.2. Kết quả đo phổ tán xạ Raman

3.3. Kết quả đo giản đồ nhiễu xạ tia X

3.4. Đế tản nhiệt kim cương ứng dụng cho LED công suất

DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH CỦA TÁC GIẢ

TÀI LIỆU THAM KHẢO

Luận văn thạc sĩ vnu uet ứng dụng kim cương nhân tạo làm vật liệu tản nhiệt cho các linh kiện điện tử công suất