Luận văn thạc sĩ: Nghiên cứu màng mỏng La0.3Sr0.7MnO3 chế tạo bằng bốc bay xung laser

Luận văn thạc sĩ nghiên cứu vnu uet nghiên cứu màng mỏng la0 7 sr0 3 mno3 kích thước nanô mét chế tạo bằng phương pháp bốc bay, đánh giá hiện trạng, phân tích vấn đề, đề xuất biện

• Người hướng dẫn: PGS. Lê Văn Hằng
• Trường học: Đại học Quốc gia Hà Nội
• Chuyên ngành: Vật liệu và Linh kiện nano
• Đề tài: Nghiên cứu màng mỏng La0.3Sr0.7MnO3 chế tạo bằng phương pháp bốc bay xung laser
• Loại tài liệu: luận văn thực sự
• Năm xuất bản: 2006
• Địa điểm: Hà Nội

Mục lục chi tiết

• MỞ ĐẦU
• 1. CHƯƠNG 1: VẬT LIỆU MÀNG MẢNG PEROVSKITE MANGANITE
• 1.1. Tổng quan về perovskite manganite
• 1.2. Cấu trúc tinh thể và hiện tượng méo màng
• 1.2.1. Cấu trúc tinh thể perovskite
• 1.2.2. Hiệu ứng Jahn-Teller và các hiện tượng méo màng
• 1.3. Các tương tác trao đổi
• 1.3.1. Tương tác siêu trao đổi (Super Exchange interaction)
• 1.3.2. Tương tác trao đổi kép (Double Exchange Interaction)
• 1.4. Chuyển pha sắt từ - thuần từ và chuyển pha kim loại điện môi
• 1.5. Ảnh hưởng của từ trường và hiệu ứng từ trễ tại lân cận TC
• 1.6. Các kết quả nghiên cứu màng mỏng perovskite manganite
• 1.6.1. Một số kết quả nghiên cứu trên màng mỏng perovskite manganite
• 1.6.2. Ảnh hưởng điều kiện công nghệ chế tạo lên cấu trúc của màng manganite
• 1.6.3. Ảnh hưởng lên tính chất điện
• 1.6.4. Ảnh hưởng lên tính chất từ
• 1.6.5. Hiệu ứng từ trễ từ trường thấp
• 1.6.6. Các kết quả nghiên cứu về hiệu ứng từ trễ từ trường thấp (Low Field Magneto-Resistance, viết tắt là LFMR)
• 1.6.7. Mô hình lý thuyết giải thích hiệu ứng từ trễ từ trường thấp
• 2. CHƯƠNG 2: KỸ THUẬT THỰC NGHIỆM
• 2.1. Phương pháp chế tạo mẫu
• 2.1.1. Chế tạo mẫu bia
• 2.1.2. Chế tạo màng mỏng La0.3MnO3 bằng phương pháp béc bay xung laser
• 2.2. Các phép đo phân tích tính chất của vật liệu
• 2.2.1. Phân tích cấu trúc bằng nhiễu xạ tia X
• 2.2.2. Phép đo tính chất từ
• 2.2.3. Các phép đo điện trở và từ trễ
• 3. CHƯƠNG 3: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN
• 3.1. Kết quả nghiên cứu trên vật liệu bia
• 3.1.1. Phân tích cấu trúc
• 3.1.2. Phép đo các tính chất điện - từ
• 3.2. Kết quả nghiên cứu trên vật liệu màng mỏng
• 3.2.1. Ảnh hưởng của nhiệt độ lên tính chất của màng mỏng
• 3.2.2. Phân tích cấu trúc
• 3.2.3. Phép đo tính chất từ
• 3.2.4. Ảnh hưởng của chiều dày lên tính chất của màng mỏng
• 3.2.5. Phân tích cấu trúc
• 3.2.6. Phép đo các tính chất điện - từ
• 3.2.7. Ảnh hưởng của chiều dày lên tính chất từ trễ
• 3.2.8. Hiệu ứng từ trễ từ trường thấp
• KẾT LUẬN
• TÀI LIỆU THAM KHẢO

Tóm tắt

I. Tổng quan về nghiên cứu màng mỏng La0

Nghiên cứu màng mỏng La0.3Sr0.7MnO3 chế tạo bằng phương pháp bốc bay xung laser đang thu hút sự chú ý trong lĩnh vực vật liệu. Màng mỏng này có nhiều ứng dụng tiềm năng trong công nghệ điện tử và từ tính. Việc hiểu rõ về cấu trúc và tính chất của màng mỏng này là rất quan trọng để phát triển các ứng dụng thực tiễn.

1.1. Đặc điểm của màng mỏng La0.3Sr0.7MnO3

Màng mỏng La0.3Sr0.7MnO3 có cấu trúc perovskite, với tính chất điện từ đặc biệt. Các nghiên cứu cho thấy màng mỏng này có khả năng điều chỉnh tính chất điện từ thông qua việc thay đổi tỷ lệ các thành phần.

1.2. Ứng dụng của màng mỏng La0.3Sr0.7MnO3

Màng mỏng La0.3Sr0.7MnO3 được ứng dụng trong các thiết bị điện tử, cảm biến và linh kiện từ tính. Tính chất điện từ của nó giúp cải thiện hiệu suất của các thiết bị này.

II. Thách thức trong nghiên cứu màng mỏng La0

Mặc dù màng mỏng La0.3Sr0.7MnO3 có nhiều tiềm năng, nhưng việc chế tạo và tối ưu hóa vẫn gặp nhiều thách thức. Các vấn đề như độ dày, cấu trúc tinh thể và tính đồng nhất của màng mỏng cần được giải quyết.

2.1. Vấn đề về độ dày của màng mỏng

Độ dày của màng mỏng ảnh hưởng lớn đến tính chất điện từ. Việc kiểm soát độ dày trong quá trình chế tạo là một thách thức lớn.

2.2. Cấu trúc tinh thể và tính đồng nhất

Cấu trúc tinh thể không đồng nhất có thể dẫn đến sự suy giảm tính chất điện từ. Cần có các phương pháp phân tích chính xác để đánh giá cấu trúc tinh thể.

III. Phương pháp chế tạo màng mỏng La0

Phương pháp bốc bay xung laser (PLD) là một trong những kỹ thuật hiệu quả nhất để chế tạo màng mỏng La0.3Sr0.7MnO3. Kỹ thuật này cho phép kiểm soát tốt các thông số chế tạo và đạt được màng mỏng có chất lượng cao.

3.1. Nguyên lý của phương pháp bốc bay xung laser

Phương pháp PLD sử dụng laser để bốc bay vật liệu từ một mục tiêu, tạo ra các hạt màng mỏng. Nguyên lý này cho phép tạo ra màng mỏng với độ tinh khiết cao.

3.2. Các yếu tố ảnh hưởng đến quá trình chế tạo

Nhiệt độ, áp suất và năng lượng laser là những yếu tố quan trọng ảnh hưởng đến chất lượng màng mỏng. Việc tối ưu hóa các yếu tố này là cần thiết để đạt được màng mỏng tốt nhất.

IV. Kết quả nghiên cứu và ứng dụng thực tiễn

Kết quả nghiên cứu cho thấy màng mỏng La0.3Sr0.7MnO3 có tính chất điện từ vượt trội, với khả năng điều chỉnh theo yêu cầu ứng dụng. Các ứng dụng thực tiễn của màng mỏng này đang được mở rộng trong lĩnh vực điện tử và từ tính.

4.1. Tính chất điện từ của màng mỏng

Màng mỏng La0.3Sr0.7MnO3 thể hiện tính chất điện từ mạnh mẽ, với khả năng điều chỉnh theo nhiệt độ và từ trường. Điều này mở ra nhiều cơ hội cho các ứng dụng mới.

4.2. Ứng dụng trong công nghệ điện tử

Màng mỏng này có thể được sử dụng trong các thiết bị điện tử tiên tiến, như cảm biến và linh kiện từ tính, nhờ vào tính chất điện từ đặc biệt của nó.

V. Kết luận và triển vọng tương lai của nghiên cứu

Nghiên cứu màng mỏng La0.3Sr0.7MnO3 chế tạo bằng phương pháp bốc bay xung laser đã mở ra nhiều hướng đi mới trong lĩnh vực vật liệu. Tương lai của nghiên cứu này hứa hẹn sẽ mang lại nhiều ứng dụng thực tiễn và cải tiến công nghệ.

5.1. Triển vọng nghiên cứu tiếp theo

Các nghiên cứu tiếp theo sẽ tập trung vào việc tối ưu hóa quy trình chế tạo và khám phá thêm các ứng dụng mới cho màng mỏng La0.3Sr0.7MnO3.

5.2. Tác động đến ngành công nghiệp

Sự phát triển của màng mỏng La0.3Sr0.7MnO3 có thể tạo ra những bước tiến lớn trong ngành công nghiệp điện tử và từ tính, góp phần vào sự phát triển bền vững.

Trích đoạn nội dung tài liệu

§¹i häc Quèc gia hµ néi tr−êng ®¹i häc c«ng nghÖ NguyÔn v¨n §¹i nghiªn cøu mµng máng La0.3MnO3 kÝch th−íc nan« mÐt ChÕ t¹o b»ng ph−¬ng ph¸p bèc bay xung laser Chuyªn ngµnh: VËt liÖu vµ Linh kiÖn nan« LuËn v¨n th¹c sÜ Ng−êi h−íng dÉn khoa häc: PGS. Lª V¨n Hång Hµ Néi - 2006 LUAN VAN CHAT LUONG download : add [e-mail] 2 Môc lôc Trang phô b×a Lêi c¶m ¬n Môc lôc Më ®Çu 1 Ch−¬ng 1. VËt liÖu mµng máng perovskite 5 manganite 1. Tæng quan vÒ perovskite manganite 5 1.

CÊu tróc tinh thÓ vµ hiÖn t−îng mÐo m¹ng 6 1. CÊu tróc tinh thÓ perovskite 6 1. HiÖu øng Jahn- Teller vµ c¸c hiÖn t−îng mÐo m¹ng 7 1. C¸c t−¬ng t¸c trao ®æi 9 1.

T−¬ng t¸c siªu trao ®æi (Super Exchange interaction) 9 1. T−¬ng t¸c trao ®æi kÐp (Double Exchange Interaction) 10 1. ChuyÓn pha s¾t tõ - thuËn tõ vµ chuyÓn pha kim lo¹i ®iÖn m«i 12 1. ¶nh h−ëng cña tõ tr−êng vµ hiÖu øng tõ trë t¹i l©n cËn TC 13 1.

C¸c kÕt qu¶ nghiªn cøu mµng máng perovskite manganite 15 1. Mét sè kÕt qu¶ nghiªn cøu trªn mµng máng perovskite 15 manganite 1. ¶nh h−ëng ®iÒu kiÖn c«ng nghÖ chÕ t¹o lªn cÊu tróc cña mµng 17 máng manganite 1. ¶nh h−ëng lªn tÝnh chÊt ®iÖn 19 1.

¶nh h−ëng lªn tÝnh chÊt tõ 21 1. HiÖu øng tõ trë tõ tr−êng thÊp 23 1. C¸c kÕt qu¶ nghiªn cøu vÒ hiÖu øng tõ trë tõ tr−êng thÊp (Low 24 – Field Magnetor-Resistance, viÕt t¾t lµ LFMR) 1. M« h×nh lý thuyÕt gi¶i thÝch hiÖu øng tõ trë tõ tr−êng thÊp 26 Ch−¬ng 2.

kü thuËt thùc nghiÖm 30 2. Ph−¬ng ph¸p chÕ t¹o mÉu 30 2. ChÕ t¹o mÉu bia 30 2. ChÕ t¹o mµng máng La0.3MnO3 b»ng ph−¬ng ph¸p bèc bay 30 LUAN VAN CHAT LUONG download : add [e-mail] 3 xung laser 2.

C¸c phÐp ®o ph©n tÝch tÝnh chÊt cña vËt liÖu 35 2. Ph©n tÝch cÊu tróc b»ng nhiÔu x¹ kÕ tia X 35 2. PhÐp ®o tÝnh chÊt tõ 35 2. C¸c phÐp ®o ®iÖn trë vµ tõ trë 36 Ch−¬ng 3.

KÕt qu¶ vµ th¶o luËn 38 3. KÕt qu¶ nghiªn cøu trªn vËt liÖu bia 38 3. Ph©n tÝch cÊu tróc 38 3. PhÐp ®o c¸c tÝnh chÊt ®iÖn - tõ.

KÕt qu¶ nghiªn cøu trªn vËt liÖu liÖu mµng máng 40 3. ¶nh h−ëng cña nhiÖt ®é ñ lªn tÝnh chÊt cña mµng máng 40 3.Ph©n tÝch cÊu tróc 40 3. PhÐp ®o tÝnh chÊt tõ 41 3.¶nh h−ëng cña nhiÖt ®é ñ lªn tÝnh chÊt tõ trë 42 3. ¶nh h−ëng cña chiÒu dµy lªn tÝnh chÊt cña mµng máng 44 3.

Ph©n tÝch cÊu tróc 44 3. PhÐp ®o c¸c tÝnh chÊt ®iÖn - tõ 45 3. ¶nh h−ëng cña chiÒu dµy lªn tÝnh chÊt tõ trë 47 3. HiÖu øng tõ trë tõ tr−êng thÊp 49 KÕt luËn 55 Danh môc c¸c c«ng tr×nh c«ng bè 56 Tµi liÖu tham kh¶o 57 LUAN VAN CHAT LUONG download : add [e-mail] Thank you for evaluating AnyBizSoft PDF Splitter.

A watermark is added at the end of each output PDF file. To remove the watermark, you need to purchase the software from http://www.com/buy/buy-pdf-splitter.html LUAN VAN CHAT LUONG download : add [e-mail] 5 Më ®Çu Trong nh÷ng n¨m gÇn ®©y, vËt liÖu cã kÝch th−íc nan« mÐt ®· ®−îc quan t©m nghiªn cøu m¹nh mÏ bëi kh¶ n¨ng øng dông cña chóng. HiÖu øng giam gi÷ l−îng tö xuÊt hiÖn trong lo¹i vËt liÖu nµy lµ nguyªn nh©n g©y ra nh÷ng tÝnh chÊt ®Æc biÖt ch−a tõng ®−îc quan s¸t trªn c¸c vËt liÖu cæ ®iÓn tr−íc ®ã. Nghiªn cøu vÒ vËt liÖu nan« rÊt phong phó vµ ®a d¹ng trong c¶ lý thuyÕt vµ thùc nghiÖm.

C¸c kÕt qu¶ ®· më ra nh÷ng triÓn väng øng dông to lín dùa trªn c¸c tÝnh chÊt quang - ®iÖn – tõ. Tõ ®ã cã thÓ t¹o ra c¸c thiÕt bÞ, c¸c linh kiÖn nh»m phôc vô, n©ng cao ®êi sèng con ng−êi. Trong c¸c vËt liÖu cã cÊu tróc nan«, vËt liÖu tõ nan« cã mét vÞ trÝ ®Æc biÖt ®· thu hót ®−îc sù quan t©m nghiªn cøu. C¸c h¹t tõ nan« ®−îc xem nh− cã triÓn väng lín trong c¸c øng dông xö lý m«i tr−êng vµ ®Æc biÖt lµ trong y sinh.

Mét khÝa c¹nh kh¸c cña vËt liÖu tõ nan« ®· ®−îc quan t©m nghiªn cøu lµ hiÖu øng tõ trë trong c¸c mµng máng kÝch th−íc nan« mÐt. Tõ c¸c kÕt qu¶ thu ®−îc, ng−êi ta hy väng c¸c øng dông cña nã sÏ n©ng cao kh¶ n¨ng xö lý th«ng tin, thu nhá kÝch th−íc cña c¸c linh kiÖn ®iÖn tö. Nghiªn cøu vÒ vËt liÖu tõ ®−îc tËp trung m¹nh vµo hä vËt liÖu cã cÊu tróc perovskite ABO3 (A lµ nguyªn tè ®Êt hiÕm, B lµ c¸c kim lo¹i chuyÓn tiÕp). Ngoµi sù xuÊt hiÖn cña hiÖu øng tõ trë khæng lå (Colossal MagnetoResistance - CMR), hä vËt liÖu ABO3 cßn thÓ hiÖn nhiÒu tÝnh chÊt lý thó kh¸c vµ thu hót ®−îc sù quan t©m nghiªn cøu.

HÇu hÕt c¸c vËt liÖu perovskite ABO3 ®Òu thÓ hiÖn tÝnh chÊt ph¶n s¾t tõ- ®iÖn m«i. Khi ®−îc pha t¹p lç trèng b»ng c¸ch thay thÕ mét phÇn nguyªn tè ®Êt hiÕm (R) bëi c¸c kim lo¹i kiÒm thæ (A') nh− Ba, Ca, Sr, Pb. th× c¸c hîp chÊt R1- A'xBO3 thÓ hiÖn mèi t−¬ng quan m¹nh mÏ gi÷a c¸c tÝnh chÊt ®iÖn-tõ vµ cÊu tróc x tinh thÓ. C¸c tÝnh chÊt nµy kh«ng chØ thay ®æi theo nång ®é pha t¹p mµ cßn phô thuéc m¹nh vµo nh÷ng t¸c nh©n bªn ngoµi nh− nhiÖt ®é, tõ tr−êng, ®iÖn tr−êng, ¸p suÊt.

HiÖu øng CMR th−êng x¶y ra m¹nh nhÊt t¹i l©n cËn nhiÖt ®é chuyÓn pha s¾t tõ - thuËn tõ TC trong c¸c hîp chÊt s¾t tõ manganite A0.3MnO3, kÌm theo LUAN VAN CHAT LUONG download : add [e-mail] 6 ®ã lµ chuyÓn pha kim lo¹i - ®iÖn m«i cña tÝnh dÉn t¹i nhiÖt ®é TP. Ngoµi hiÖu øng CMR x¶y ra t¹i nhiÖt ®é chuyÓn pha s¾t tõ - thuËn tõ, ®èi víi c¸c mÉu ®a tinh thÓ, ng−êi ta cßn thÊy hiÖu øng tõ trë xuÊt hiÖn t¹i vïng nhiÖt ®é thÊp trong tõ tr−êng thÊp. C¸c tÝnh chÊt ®iÖn - tõ cña c¸c manganite ®Òu ®−îc gi¶i thÝch trªn c¬ së hiÖn t−îng mÐo m¹ng (mÐo Jahn - Teller vµ mÐo GdFeO3) vµ c¬ chÕ trao ®æi kÐp. GÇn ®©y, hiÖn t−îng bÊt ®ång nhÊt vµ t¸ch pha trong c¸c vËt liÖu ®−îc coi lµ yÕu tè ®ãng vai trß quan träng trong tÝnh dÉn mµ ®Æc biÖt lµ hiÖu øng tõ trë tõ tr−êng thÊp.

Thªm vµo ®ã, sù ®ång tån t¹i vµ c¹nh tranh cña c¸c t−¬ng t¸c tr¸i dÊu trong c¸c manganite còng lµ nh÷ng vÊn ®Ò rÊt ®¸ng quan t©m bëi lÏ ®©y lµ nguyªn nh©n g©y nªn hiÖn t−îng bÊt tho¶ tõ, vµ cïng víi c¸c yÕu tè bÊt trËt tù kh¸c sÏ lµm cho c¸c vËt liÖu thÓ hiÖn c¸c tÝnh chÊt thuû tinh tõ. Song song víi viÖc nghiªn cøu c¸c vËt liÖu d¹ng khèi, c¸c vËt liÖu manganite d¹ng mµng máng víi c¸c tÝnh chÊt næi tréi cña chóng còng ®· thu hót ®−îc sù quan t©m nghiªn cøu ®Æc biÖt. Bªn c¹nh viÖc kh¸m ph¸ ra hiÖu øng tõ trë lín t¹i nhiÖt ®é phßng, vËt liÖu mµng máng perovskite manganite ®· ®−îc quan t©m nghiªn cøu bëi lý do kh¸c ®ã lµ kh¶ n¨ng chÕ t¹o ®−îc nh÷ng mµng máng cã chÊt l−îng cao còng nh− t¹o ®−îc nh÷ng ®¬n tinh thÓ perovskite ®a thµnh phÇn. C¸c mµng máng perovskite manganite ®· ®−îc nghiªn cøu chÕ t¹o b»ng nhiÒu ph−¬ng ph¸p kh¸c nhau nh− ph−¬ng ph¸p phón x¹ catèt (Cathod Sputtering), ph−¬ng ph¸p epitaxy chïm ph©n tö (Molecular Beam Epitaxy - MBE) vµ ph−¬ng ph¸p l¾ng ®äng ho¸ häc tõ pha h¬i kim lo¹i - h÷u c¬ (Metal- Organic Chemical Vapour Deposition - MOCVD).

Tuy nhiªn, ph−¬ng ph¸p phæ biÕn nhÊt lµ ph−¬ng ph¸p bèc bay b»ng xung laser (Pulse Laser Deposition - PLD). PLD lµ ph−¬ng ph¸p cã nhiÒu −u ®iÓm trong viÖc chÕ t¹o mµng máng cña c¸c «xit ®a thµnh phÇn bëi nguyªn lý lµm viÖc ®¬n gi¶n, hîp phÇn cña vËt liÖu bia ®−îc ®¶m b¶o trong qu¸ tr×nh bèc bay. C¸c nghiªn cøu gÇn ®©y ®Òu chØ ra tÝnh chÊt cña c¸c mµng máng manganite bÞ ¶nh h−ëng m¹nh bëi hiÖu øng g©y biÕn d¹ng m¹ng, nã ®−îc xem nh− yÕu tè chÝnh ®Ó ph©n biÖt c¸c tÝnh chÊt cña vËt liÖu mµng víi vËt liÖu khèi. Sù biÕn d¹ng m¹ng g©y nªn bëi ¶nh h−ëng cña ®Õ do sai kh¸c h»ng sè m¹ng gi÷a ®Õ - mµng, qu¸ tr×nh xö lý nhiÖt vµ hiÖu øng kÝch th−íc.

§ã cã thÓ lµ nguyªn nh©n LUAN VAN CHAT LUONG download : add [e-mail] 7 lµm thay ®æi c¸c tÝnh chÊt nh− cÊu tróc, vi cÊu tróc, nhiÖt ®é chuyÓn pha kim lo¹i ®iÖn m«i (TMI), nhiÖt ®é chuyÓn pha s¾t tõ - thuËn tõ TC vµ ®Æc biÖt lµ ¶nh h−ëng lªn hiÖu øng tõ trë cña vËt liÖu nµy. Nghiªn cøu c¸c tÝnh chÊt ®iÖn - tõ cña c¸c manganite lµ mét chñ ®Ò ®· thu hót sù quan t©m m¹nh trªn thÕ giíi còng nh− ë ViÖt nam, c¸c kÕt qu¶ nghiªn cøu kh¸ kü l−ìng vµ cã hÖ thèng. Tuy nhiªn, ë trong n−íc c¸c nghiªn cøu míi chØ dõng l¹i trªn c¸c vËt liÖu d¹ng khèi. C¸c kÕt qu¶ nghiªn cøu vÒ vËt liÖu manganite d¹ng mµng máng cßn lµ mét vÊn ®Ò ch−a ®−îc gi¶i quyÕt.

H¬n thÕ n÷a, viÖc chÕ t¹o mµng máng lµ b−íc tÊt yÕu ®Ó tiÕn tíi chÕ t¹o c¸c linh kiÖn vµ tiÕp cËn víi nghµnh Khoa häc vµ C«ng nghÖ nan«. ViÖc nghiªn cøu ¶nh h−ëng cña hiÖu øng kÝch th−íc lªn tÝnh chÊt ®iÖn - tõ vµ hiÖu øng tõ trë cña c¸c mµng máng manganite kh«ng nh÷ng høa hÑn cho nh÷ng triÓn väng øng dông to lín, mµ cßn lµ mét ®Ò tµi thó vÞ cho c¸c nghiªn cøu c¬ b¶n. KÕt qu¶ nghiªn cøu trªn c¸c vËt liÖu manganite ®Òu chØ ra hîp chÊt La0.3MnO3 cho gi¸ trÞ tõ trë cao vµ nhiÖt ®é chuyÓn pha s¾t tõ-thuËn tõ TC lµ cao nhÊt (~365K). Hîp chÊt nµy ®−îc xem lµ phï hîp nhÊt cho viÖc nghiªn cøu øng dông ë nhiÖt ®é phßng.

Tõ c¸c lý do trªn vµ dùa vµo c¸c ®iÒu kiÖn thiÕt bÞ s½n cã, h−íng nghiªn cøu cña phßng thÝ nghiÖm nªn chóng t«i ®· lùa chän ®Ò tµi cho luËn v¨n lµ: “Nghiªn cøu mµng máng La0,7Sr0,3MnO3 kÝch th−íc nan« mÐt chÕ t¹o b»ng ph−¬ng ph¸p bèc bay xung laser” Môc tiªu cña luËn v¨n: + ChÕ t¹o thµnh c«ng mµng máng La0.3MnO3 b»ng ph−¬ng ph¸p bèc bay xung laser. + Nghiªn cøu ¶nh h−ëng cña c¸c ®iÒu kiÖn chÕ t¹o lªn tÝnh chÊt tõ trë cña mµng máng La0. + Nghiªn cøu hiÖu øng tõ trë tõ tr−êng thÊp cña mµng máng ®a tinh thÓ La0. Néi dung luËn v¨n: LuËn v¨n ®−îc tiÕn hµnh nghiªn cøu b»ng ph−¬ng ph¸p thùc nghiÖm, kÕt hîp víi viÖc ph©n tÝch sè liÖu thùc nghiÖm nh»m ®−a ra c¸c nhËn LUAN VAN CHAT LUONG download : add [e-mail] 8 ®Þnh vÒ ¶nh h−ëng cña c¸c ®iÒu kiÖn chÕ t¹o lªn hiÖu øng tõ trë vµ hiÖu øng tõ trë tõ tr−êng thÊp.