Chương 1. GIOT THIEU TONG QUAN VE SIEU AM VA TAO ANH SIEU AM. Sóng âm va các công thức cơ ban của sóng am Sóng âm là sự nén giãn vật lý của môi trường (ran, lỏng, khí) đối với một tan số nhất định. Sóng dao động được gọi là sóng dọc cơ học nếu môi trường chứa dao động cùng với phương truyền sóng.
Sóng âm năm trong giới hạn nghe của con người, từ 20Hz đến 20Khz. Ngưỡng dưới 20Hz gọi là hạ âm (infrasound), và ngưỡng trên 20kHz gọi là siêu âm (ultrasound). Trong đó, sóng âm ngưỡng dưới được quan tâm dé phân tích câu trúc xây dựng, dự đoán động đất, và nguồn có cấu trúc lớn. Còn sóng siêu âm được ứng dụng phô bién trong y học hay công nghệ âm hóa học (sonochemistry).
Phố của các sóng có thé da dạng: từ các âm đơn sắc như máy đánh nhịp, tới da sắc như một ban nhạc vio-lông, hay như tiếng ồn có thé có pho rất rộng. Phổ sóng âm có thé là sự phân bố đồng đều về mật độ hay bị xáo trộn bởi các hàm điều hòa ưu thế tại một số đoạn của nó. Khi sóng âm bị nén, thê tích thay đổi từ V đến V-AV. Tỉ số sự thay đối áp suất với sự thay đối thé tích gọi là đơn vị khối của độ đàn hồi môi trường AP : — Aviv’= (1) Lil với Po là mật độ môi trường ngoài vùng nén, v là van tôc âm thanh trong môi trường.
Vận tốc của âm thanh được định nghĩa v= Je.2) Trong đó, vận toc của âm phụ thuộc vào độ đàn hôi B và mật độ của môi trường. Vì hai bién này là hàm của nhiệt độ nên tốc độ âm cũng tùy thuộc vào nhiệt độ, Châu Huy Thông Luan Văn Thạc Sỹ và đặc trưng này là nên tảng cho cảm ứng nhiệt âm. Đôi với vận tôc dọc trong chât răn, có thể định nghĩa qua suất Young E và tỉ số Poisson v= \ ø¿(+v)(—2v)- ay) (14.3) Đối với sóng âm điều hòa, độ dịch của phan tử khỏi vị trí cân băng được tính bởi 2 .4) với X là vi trí cân băng, y là độ dich khỏi vi trí cân bang, ym là biên độ, À là bước sóng. Trong thực tê, làm việc với các biên áp suât đơn giản hơn các biên vi trí.
Theo đó, áp suất được tạo bởi sóng âm là p=k/@v”y„ sin(kx— at), (1. kg ` LÀN Ke a eae , ` PA AA ⁄ Kia VỚI k= = là sô sóng, ø là tân sô góc, các giá tri đứng trước xem là biên độ áp suât âm thanh, p„„ và sóng âm được xem là sóng áp suất. Hàm sin và cos trong hai phương trình trên chi ra rang sóng áp suất và sóng dịch chuyền lệch pha 90°. Sự khác biệt giữa áp suất trung bình và tức thời gọi là áp suất âm thanh P.
Khi sóng âm lan truyền, các phần tử giao động gan vị trí cố định với vận tốc tức thời £. Tỉ số giữa áp suất âm thanh và vận tốc tức thời gọi là trở kháng âm thanh, P Z==—, (Li.6) ế với Z là đại lượng phức, gồm biên độ và pha. Xét trong môi trường lý tưởng (không mất mát), Z nhận giá trị thực và được tính theo vận tốc sóng âm Z=Øw (1.7) Thông thường, trở kháng âm Z thường được hiểu như độ vang hay độ dội của sóng âm trong môi trường và có vai trò quyêt định đôi với biên độ sóng phản xạ trên Châu Huy Thông Luan Văn Thạc Sỹ mặt phân cách giữa hai môi trường. Ta định nghĩa cường độ I của sóng âm ứng với công suất truyền qua một đơn vị diện tích I=PÉ=—.8) Thong dung hon, dé dac trưng âm thanh người ta dùng khái niệm mức âm, va định nghĩa theo cường độ tham chiếu Ip=10'’ W/m’, là giá trị thập nhất tai người có thể nghe B=10log, h LÌ (Li.9) I, LÌ Mức áp suất cũng được diễn tả theo decibel như sau,với po= 2x10” N/m’.
II = 20log,, [2 5, B (Li.10) Pol Tổng quan về sóng siêu âm va dau dò S T 1. Nguyên lý tạo sóng siêu âm 1.1 Hiệu ứng áp điện Hiệu ứng áp điện là hiện tượng sinh ra điện tích trên bề mặt vật liệu dưới sự tác động của ứng suất cơ học, tên của nó được đặt bởi sự tương đồng về tính chất với vật liệu sat điện. Hai anh em Curie đã phát hiện ra hiệu ứng áp điện trong SiO, vào năm 1880, nhưng rat ít ứng dụng thực tiễn được phát trién cho đến năm 1917, khi một giáo sư người pháp, P.Langevin sử dung SiO, dé tạo ra sóng âm trong nước. Nghiên cứu của ông đã dẫn đến việc phát triển của hệ thống định vi dưới nước.
Mô hình đơn giản nhưng rất dễ hiểu của hiệu ứng áp điện được đưa ra vào năm 1927 bởi A. Tinh thé SiO, được mô phỏng như một vòng xoăn (Hình 1.1) với một nguyên tử Silicon (Si) và hai nguyên tử Oxi (Os) luân chuyển quanh vòng xoăn. Tinh thé SiO, được cắt dọc trục x,y và z của nó; do đó Hình 1|.1a là hình nhìn doc theo trục z. Trong một tinh thé đơn, có 3 nguyên tử Si và 6 nguyên tử Oy.
Mỗi Châu Huy Thông Luan Văn Thạc Sỹ nguyên tử Si mang 4 điện tích dương và một cặp O2 mang 4 điện tích âm (2 cho mỗi nguyên tử). Khi không có áp lực bên ngoài tác động thì các nguyên tử ở trạng thái cân băng điện tích, nhưng khi có ngoại lực F, nén tinh thê dọc theo trục x sẽ làm cho các điện tích bị ép dẫn đến sự phân bé điện tích không đều ở 2 đầu và phát triển sự phân cực theo trục y (Hình 1. Vương tự, nếu tinh thể được kéo giãn dọc theo trục x (Hình I.Ic), điện tích của cực đối nghịch sẽ được tạo nên dọc theo trục y. Mô phỏng này minh họa cho khả năng kích hoạt điện tích trên bề mặt của tinh thể như một đáp ứng của ứng suât cơ học.1: Hiệu ứng áp điện trong tinh thé thạch anh[5] Hiệu ứng áp điện là một hiện tượng vật lý nghịch đảo, do đó nếu có điện áp áp vào doc theo tinh thé sẽ tạo nên một sự biến dạng cơ học.
Băng cách đặt vài bản cực trên tinh thể, một cặp bản cực có thê được được dùng để truyền tải điện áp tới tinh thé va cap ban cuc khac dé thu nhận điện tính tạo ra từ sự biến dạng. Hiệu ứng áp điện thuận nghịch phát biểu như sau: - Hiệu ứng thuận: nếu ta tác động một lực cơ học, hay nói cách khác là khi nén hoặc kéo giãn một số tinh thé áp điện theo những phương đặc biệt trong tinh thé thì trên bề mặt các mặt giới hạn của tinh thé đó sẽ xuất hiện những điện tích trái dẫu và gây nên một hiệu điện thế giữa 2 bề mặt. Như đã biết, sóng siêu âm là sóng cơ học, do đó khi Châu Huy Thông Luan Văn Thạc Sỹ sóng siêu âm va đập vào bề mặt tinh thé gom thì sẽ làm xuất hiện trên tinh thé một chuỗi xung có độ lớn tỷ lệ với cường độ của sóng âm. - Hiệu ứng nghịch: Nếu ta đặt lên tinh thể gdm áp điện một hiệu điện thế thì phụ thuộc vào chiều của hiệu điện thé đó tinh thé gồm sẽ giãn ra hay nén lại.
Khi ta đặt lên tinh thé gốm mọt hiệu điện thế xoay chiêu thì tinh thé gốm sẽ nén giãn liên tiếp và dao động theo tần số của hiệu điện thế xoay chiều, tạo ra áp lực nén và giãn liên tục vào môi trường bao quanh và tạo ra sóng âm. Phụ thuộc vào tần số đao động, xung điện kích thích và công nghệ chế tạo tinh thé gốm mà ta sẽ thu được các chùm siêu âm có tân số khác nhau 1.2 Từ giao Là hiện tượng hình dạng, kích thước của các vật từ (thường là sắt từ) bị thay đổi dưới tác dụng của từ trường ngoài (từ giảo thuận) hoặc ngược lại, tính chất từ của vật từ bị thay đối khi có sự thay đối về hình dạng và kích thước (từ giao nghịch). Bản chất của hiện tượng từ giảo là do tương tác spin-quỹ đạo của các điện tử trong vật liệu sat từ. Hiện tượng từ giao chỉ có thé xảy ra khi đám mây điện tử không có dạng đối xứng cầu và có tương tác spin-quỹ đạo mạnh.
Dưới tác dụng của từ trường ngoài, sự phân bố của các điện tử sẽ quay theo chiều quay của mômen từ theo hướng này qua hướng khác và từ giảo được tạo ra do sự thay đổi tương ứng của tương tác tĩnh điện giữa điện tử và điện tích của môi trường. Khi đám mây điện tử có dạng đối xứng cầu (mômen quỹ đạo băng 0), tất cả các vị trí của các ion lân cận đều tương đương đối với sự phân bố điện tử. Khi có sự tác động của từ trường ngoài, mômen spin tuy có quay đi nhưng sự phân bố không gian của điện tử hoàn toàn không thay đổi nên khoảng cách giữa các điện tử vẫn giữ nguyên, và không dẫn đến sự thay đổi về kích thước cũng như hình dạng mẫu. Nếu đám mây điện tử không có dạng đối xứng câu (mômen quỹ đạo khác 0), lúc này các vi trí phân bố xung quanh không còn tính chat đôi xứng, sự quay của mômen spin khi có từ trường ngoài dẫn đến sự thay đổi đám Châu Huy Thông Luan Văn Thạc Sỹ mây điện tử, do đó dẫn đến sự thay đổi về kích thước cũng như hình dạng mẫu.
Do đó, từ giảo phản ánh tính chất đối xứng của mạng tinh thể. Đầu dò siêu âm 2.1 Vật liệu chế tạo đầu dò. Đầu dò siêu âm chủ yếu được phát triển dựa trên vật liệu áp điện, trong phần này ta chỉ chú trọng đến phân tích hoạt động đầu dò dựa trên hiệu ứng và vật liệu áp điện. Để có thể sử dụng được vật liệu áp điện trong thiết kế đầu dò, hay nói cách khác là dé lay điện tích ra khỏi vật liệu, các bản cực dẫn điện phải được lắp vào tinh thể ở hai đầu tương ứng.
Như vậy, từ một cảm biến áp điện ta biến nó trở thành như một tụ điện với vật liệu điện môi là tinh thé áp điện.2: Cảm biến áp điện được tạo bằng các bản cực áp vào một vật liệu tinh thé phân cực [5] Châu Huy Thông Luan Văn Thạc Sỹ Chất điện môi hoạt động như một máy tạo điện tích tạo ra điệp áp V ngang qua tụ điện. Mặc dù điện tích trong chất điện môi tinh thê chỉ tập trung tại nơi có lực tác dụng, tuy nhiên các bản cực kim loại sẽ trung hòa điện tích dọc trên bề mặt khiến cho tụ điện không chỉ nhạy theo vùng.