Chương I Hink 11 Một sổ ứng đụng tiêu biểu của màng môỗng.2 —— Hình chụp cắt ngang màng mông đa lớp.3 Động sơ stirling ma ving. Phương phap ché tao mang theo nguyén the topotaxy. - 13 Hinhl3 —_Yée dinh dé bém dinh bằng phương pháp hẻo. 15 Himhl6 Xáe định 4õ bám đinh bằng phương pháp phưới cát.7 Yác định đã bám định bằng phương pháp cà tì.
7 Hinh 18 Yáe định độ bám đính bằng phương pháp rạch.2 Các cơ chỗ mòn của dụng c 20 Finh 110 sơ đỗ cơ chỗ mòn dụng cụ xuất hiện ở các nhiệt độ cũt khác nhan, 22 Các dạng mòn dẫn dễn phá hàng dụng cụ và lạ Tinh 141 sy a8 qué trinh: môn của lấp ph 3 Hình 112 26 Chương? tỉnh 2.1 Nguyên lý thiết bị rạch và biểu đỗ thể hiện thông số (hu được khi rạch của 29 thiết bị được đăng kí phát minh.2 Thiếthi rạch của hãng CSAZ 30 THmh 2 3ˆ Thuất bị rạch và giao diện phân mẫm của hãng 1ribo technic 30 Hink24 Thông số tuất bị rạch của hãng CSM. 31 Binh 23 tát rạnh lập phá mẫm dược quan sải trên đuết bị SEM.6 Xúc định độ bám dinh lớp pin môm đụa trên lực me sắt trong quả trình rạch. 34 Hink27 sự phá hủy Áo ứng mất của lực nén 7 Hinh2.8 Dạng vắt rạch trén lop phủ cứng 38 Hink29 xác dinkL và của các phối dang thm a Fink2 10 ti rạch bị phá về do hiện tượng chêm khi rach. 2 Fink 211 —- gấp quá thư được trên thí nghiệm rạch AÄ1956.
48 Hink 212 tất quả tỉnh theo phần tí bữu bạn cho mẫu M1956. ag Min 213 Uặng suất phá luỷ được tinh doá.14 Gia tri ox tỉnh toán 3 Hinh 2.15 tình ảnh vất rạch quan sắt được win may SEM 37 Tình 2.16 Dé thy Ine ngang va hé sd ma sat the duge wong thí nghiệm rạch. 57 ĐANH SÁCH CÁC THNH VẼ Trang Chương I Hink 11 Một sổ ứng đụng tiêu biểu của màng môỗng.2 —— Hình chụp cắt ngang màng mông đa lớp.3 Động sơ stirling ma ving. Phương phap ché tao mang theo nguyén the topotaxy.
- 13 Hinhl3 —_Yée dinh dé bém dinh bằng phương pháp hẻo. 15 Himhl6 Xáe định 4õ bám đinh bằng phương pháp phưới cát.7 Yác định đã bám định bằng phương pháp cà tì. 7 Hinh 18 Yáe định độ bám đính bằng phương pháp rạch.2 Các cơ chỗ mòn của dụng c 20 Finh 110 sơ đỗ cơ chỗ mòn dụng cụ xuất hiện ở các nhiệt độ cũt khác nhan, 22 Các dạng mòn dẫn dễn phá hàng dụng cụ và lạ Tinh 141 sy a8 qué trinh: môn của lấp ph 3 Hình 112 26 Chương? tỉnh 2.1 Nguyên lý thiết bị rạch và biểu đỗ thể hiện thông số (hu được khi rạch của 29 thiết bị được đăng kí phát minh.2 Thiếthi rạch của hãng CSAZ 30 THmh 2 3ˆ Thuất bị rạch và giao diện phân mẫm của hãng 1ribo technic 30 Hink24 Thông số tuất bị rạch của hãng CSM. 31 Binh 23 tát rạnh lập phá mẫm dược quan sải trên đuết bị SEM.6 Xúc định độ bám dinh lớp pin môm đụa trên lực me sắt trong quả trình rạch.
34 Hink27 sự phá hủy Áo ứng mất của lực nén 7 Hinh2.8 Dạng vắt rạch trén lop phủ cứng 38 Hink29 xác dinkL và của các phối dang thm a Fink2 10 ti rạch bị phá về do hiện tượng chêm khi rach. 2 Fink 211 —- gấp quá thư được trên thí nghiệm rạch AÄ1956. 48 Hink 212 tất quả tỉnh theo phần tí bữu bạn cho mẫu M1956. ag Min 213 Uặng suất phá luỷ được tinh doá.14 Gia tri ox tỉnh toán 3 Hinh 2.15 tình ảnh vất rạch quan sắt được win may SEM 37 Tình 2.16 Dé thy Ine ngang va hé sd ma sat the duge wong thí nghiệm rạch.
57 Chương3 Hình 3.1 Nguyên lý tt bị dã duee ding ki phat minh.2 Nguyên #thiếtbịchế Hình 3.4 A4ã hình cơ khí để chỗ tạo - Hình 3.5 Sơ đề khối mạch đo và điều khiẩn duất bị cáo xước lắp phủ.6 Sơ đề khôi câm biểu đo lực sử dụng chuyển đổi điện câm.7 Sơ đã khối mạch AD cho cảm biển điền atte. 8ơ đồ khải mạch điều khiến đỒnG 60. vu cu nen nhờn 82 Chuong4 82 83 83 Hink 4.1 Mach dién chỗ tạo đừng trong thuết bị rạch. 81 Hình 42 6p mach điện chỗ tạo đừng trong thất bị rạch.3 Thiết bị rạch đã chế TẠO.
cà ào sàn tì HH Hee 8ã Nình 4.4 “Hình ảnh tổng quan thiếtbị rạch.5 Khung đần hỗi về các căm biển trên thiếtbị rạch. 86 Nình 46 Bê phận gia lực novén tỉnh dã thiết kế và chả lạo.7 Dau mitt rach sie dung trong ede th nghiệm. 88 đình 28 Giao điện điều khẩn do của tiết hi 89 nh 49 Thử nghiệm độ nhạy cản: biển áp lực 90 Hình 4.10 Két qué do miu 1 9I Hình 411 Két qué do mau 2. Hình 4 12 Kết quả ấp mẫu 3 %6 Hình 4 13 F7 he 7n.
Hinhd 14 r guả đo mẫu 2 Hinh 4.15 ẩt guả đo mẫu 4 Think 416 ee tà HH Hình an hài Mo DAU Thế kỷ 21, nhu cầu của con người trong nghiên cứu khoa học, công nghiệp, phục vụ đời sống và chăm sóc sửc khỏc con người. ngáy cảng da dạng và phúc tạp. Bên cạnh đó nguồn nguyên vật liệu, năng lượng càng ngảy cảng trở nên khan hiểm, các nhà khoa học phải lập trung Lm tòi nhằm tận dụng tối da những nguyên vật liệu sẵn có để nâng cao chất lượng giả trị sản phẩm. Một trong các định hướng nghiên cửu nhằm giải quyết vấn để trên là công nghệ màng mông, Công nghệ màng móng hinh thành đi vàn phục vụ kĩ thuật và đời sống con người đã mở ra một kỉ nguyên mới trong khoa hoc hĩ thuật, sản phẩm của ngành công nghiệp này có mặt hầu hết trong các trang thiết bị, các lớp phủ có thể lá dễ trang trí, ăng độ bền, vi hỏa các sản phẩm cổng kểnh.
Trong khoa học kĩ thuật lớp phủ có vai trò rất quan trọng như việc thu nhỏ tăng hiệu suất của các chíp máy tính (một ngành công nghiệp thay đổi toàn bộ thể giới quan của con người), các sản phẩm phúc vụ công nghiệp vũ trụ, năng lượng mặt trời, các chỉ tiết chịu điều kiện làm việc khắc nghiệt như dụng cụ cặt, đầu phun, đầu đốt. TÌm quan trọng của mảng mông không thể phủ nhận việc đánh giá kiểm soát chất lượng của chúng cảng là một vẫn dé cin quan tâm nhằm đảm bảo hiệu quả sẵn suất cũng như sử dung. Công nghệ màng mỏng được du nhập vảo nước ta từ thế kỉ trước và được chú ý như một ngành công nghiệp từ những năm 80 cua thé ki XX, cdc sản phẩm mạ hóa, mạ theo phương pháp vật lý. Tuy nhiên, do đó là một ngành công nghệ phức tạp, nên việc phát triển xây dựng thành một ngành công nghiệp mũi nhọn dã không được dễ cập dến, hầu hết chỉ được dầu tư ở mức độ trang thiết bị kĩ thuật nhằm sẵn xuất ra sản phẩm chứ chưa quan tâm.
đến vẫn đề kiểm tra kiểm soát chất lượng. Thiếu trang thiết bị kiểm tra dẫn đến việc sắn xuất ra các sản phẩm kém chất lượng đã làm cho một số đơn vị sẵn xuất màng mỏng có nguy cơ bị giải thể - 43 2.1 Lớn phủ cứng trên lớp nền mềm. Lớp phủ cứng trên lớp nền cứng. Kết luận 54 CIIVONG 3 : TINH TOAN THIET KE THIET BJ RACH BO DO BAM DINH CUA MÀNG MÔNG.
Sơ đỗ nguyên lý thiết bị rạch - 56 3. Tỉnh toán thiết kế hệ thống cơ khí - 56 3. Tinh todn & chon hệ dich chuyên cha trục X wee 37 3. Tính toán khung đàn hồi - 66 3.
Thiết kế phần điện - 68 3.1 So dé khéi hân điện đ điều khiến cho thiết bị 68 3. Thiét ké chi tiét. 69 CHUONG 4: KET QUA BAT DUOC VA BAN LUAN 4.1, Một số hình ảnh về thiết bị đã chế tạo - - 76 4. Do thử mẫu và nhận xét đánh g 81 4.1 Một số mẫu do với ap lực đo tăng din 81 4.2 Một số mẫu đo với áp luc đo cỗ định 84 KẾT LUẬN.
TÀI LIỆU THAM KHẢO PHU LUC Mo DAU Thế kỷ 21, nhu cầu của con người trong nghiên cứu khoa học, công nghiệp, phục vụ đời sống và chăm sóc sửc khỏc con người. ngáy cảng da dạng và phúc tạp. Bên cạnh đó nguồn nguyên vật liệu, năng lượng càng ngảy cảng trở nên khan hiểm, các nhà khoa học phải lập trung Lm tòi nhằm tận dụng tối da những nguyên vật liệu sẵn có để nâng cao chất lượng giả trị sản phẩm. Một trong các định hướng nghiên cửu nhằm giải quyết vấn để trên là công nghệ màng mông, Công nghệ màng móng hinh thành đi vàn phục vụ kĩ thuật và đời sống con người đã mở ra một kỉ nguyên mới trong khoa hoc hĩ thuật, sản phẩm của ngành công nghiệp này có mặt hầu hết trong các trang thiết bị, các lớp phủ có thể lá dễ trang trí, ăng độ bền, vi hỏa các sản phẩm cổng kểnh.
Trong khoa học kĩ thuật lớp phủ có vai trò rất quan trọng như việc thu nhỏ tăng hiệu suất của các chíp máy tính (một ngành công nghiệp thay đổi toàn bộ thể giới quan của con người), các sản phẩm phúc vụ công nghiệp vũ trụ, năng lượng mặt trời, các chỉ tiết chịu điều kiện làm việc khắc nghiệt như dụng cụ cặt, đầu phun, đầu đốt. TÌm quan trọng của mảng mông không thể phủ nhận việc đánh giá kiểm soát chất lượng của chúng cảng là một vẫn dé cin quan tâm nhằm đảm bảo hiệu quả sẵn suất cũng như sử dung. Công nghệ màng mỏng được du nhập vảo nước ta từ thế kỉ trước và được chú ý như một ngành công nghiệp từ những năm 80 cua thé ki XX, cdc sản phẩm mạ hóa, mạ theo phương pháp vật lý. Tuy nhiên, do đó là một ngành công nghệ phức tạp, nên việc phát triển xây dựng thành một ngành công nghiệp mũi nhọn dã không được dễ cập dến, hầu hết chỉ được dầu tư ở mức độ trang thiết bị kĩ thuật nhằm sẵn xuất ra sản phẩm chứ chưa quan tâm.
đến vẫn đề kiểm tra kiểm soát chất lượng. Thiếu trang thiết bị kiểm tra dẫn đến việc sắn xuất ra các sản phẩm kém chất lượng đã làm cho một số đơn vị sẵn xuất màng mỏng có nguy cơ bị giải thể CHUONG 1 TONG QUAN VE MANG MONG CAC PHUONG PHAP XAC DINH pO BAM DiNH CUA MANG MONG 1. Khái niệm và vai trò của màng mỏng trong công nghiệp hiện đại Màng mỏng (Thin film) là một hay nhiều lớp vật liệu được chế tạo sao cho chiều dày nhỏ hơn rất nhiều so với các chiều còn lại (chiều rông và chiều dai).