Chương 1: Laser bán dẫn công suất cao DFB. Chương 2: Cơ sở phương pháp tính toán các thông số cơ bản của laser bán dẫn DFB. Chương 3: Tính toán các thông số quang học cơ bản của laser bán dẫn công suất cao DFB phát xạ vùng 780 nm. Laser bán dẫn công suất cao DFB 1.
Cấu trúc giếng lƣợng tử [5] Ngày nay, do sự phát triển của các phương pháp epitaxy, miền tích cực của laser bán dẫn được chế tạo dựa trên cấu trúc giếng lượng tử (QW). Giếng lượng tử là một giếng thế giam giữ hạt tải trong không gian hai chiều, những hạt tải này ban đầu có thể tự do di chuyển trong không gian ba chiều. Ảnh hưởng của sự giam giữ lượng tử diễn ra khi độ dày của QW trở nên tương đương với, hoặc nhỏ hơn, bước sóng de Broglie của các hạt tải (thông thường là các điện tử và lỗ trống), ví dụ, trong GaAs bước sóng de Broglie ~ 50 nm [6]. Trong QW, dải năng lượng phân chia thành các mức năng lượng gọi là "các dải năng lượng con", tức là, các hạt tải chỉ có thể có các giá trị năng lượng rời rạc vuông góc với giếng thế và song song với giếng.
Chúng được tự do di chuyển. Độ dày QW thay đổi từ vài nanomet đến vài chục nanomet. Lớp QW này được bao quanh bởi vật liệu có khe năng lượng lớn hơn. Các hạt tải bơm vào có thể bị bắt ở một lớp rất mỏng QW do các hàng rào thế của vật liệu có khe năng lượng lớn hơn.
Trong trường hợp này, mật độ các trạng thái điện tử phụ thuộc năng lượng D (E) tăng theo ở mức năng lượng điện tử của giếng lượng tử như thể hiện trong Hình 1. Do đó, mật độ các trạng thái gần với mức năng lượng thấp nhất trong một giếng lượng tử cao hơn rất nhiều so với mật độ ở rìa dải của vật liệu dạng khối. Mật độ của các hạt tải ở một năng lượng nhất định là sản phẩm của mật độ các trạng thái D (E) và xác suất bị chiếm bởi các điện tử fc (E, T) hoặc các lỗ trống 1 – fv (E, T), được giảm theo cấp số mũ và được gọi là các hàm Fermi [6]. Do đó, mật độ hạt tải đối với một cấu trúc laser giếng lượng tử có giá trị cực đại lớn hơn và độ rộng vùng năng lượng nhỏ hơn so với một cấu trúc dị thể khối (bulk-double heterostructure).
Mật độ trạng thái của bán dẫn cấu trúc giếng lượng tử (đường liền nét) và bán dẫn cấu trúc khối (đường đứt nét).2 là sơ đồ khe năng lượng của một cấu trúc laser bán dẫn thực tế hoạt động ở vùng bước sóng 780 nm. Lớp giếng lượng tử là vật liệu GaAsP. Giếng này đặt trong các rào cản của hợp kim AlGaAs với khe năng lượng rộng hơn nhưng gần như cùng một hằng số mạng với GaAs. Trong giếng lượng tử GaAsP, một số dải con thứ nhất được thể hiện trong Hình 1.2 và cho thấy nơi định xứ của các hạt tải.
Hoạt động của laser dựa trên quá trình dịch chuyển quang học giữa hai dải con gần nhất (E lh1- Ehh2) như thể hiện trong Hình 1. Phân bố khe năng lượng và mức năng lượng tương ứng của GaAsP-QW được nhúng trong các lớp sóng dẫn sóng AlGaAs. Sử dụng cấu trúc giếng lượng tử cho vùng tích cực của laser bán dẫn có nhiều ưu điểm so với các cấu trúc dị thể [7]: Thứ nhất, vì khe năng lượng các lớp bên ngoài cao hơn QW, chỉ có khu vực QW được bơm để tạo ra sự đảo mật độ tích lũy. Thể tích QW là rất nhỏ.
Do đó, dòng ngưỡng giảm khoảng ba bậc so với laser bán dẫn cấu trúc khối điển hình. Thứ hai, các hạt tải bị bắt hiệu dụng bởi hàng rào thế của QW, do đó không cần thiết phải pha tạp tại vùng gần với chuyển tiếp. Hiệu suất tái hợp bức xạ đạt trên 90% trong các linh kiện tiêu chuẩn hiện đại, với các linh kiện chất lượng vật liệu tốt nhất hiệu suất có thể đạt gần 100%. Hơn nữa, pha tạp thấp trong cấu trúc laser bán dẫn, dẫn đến mất mát nội thấp.
Do đó, bằng cách sử dụng cấu trúc QW, độ dài vùng tích cực có thể tăng lên trong khi hiệu suất ngoài cao được duy trì, thông số thể hiện hiệu suất biến đổi quang điện. Việc giảm nhiệt và điện trở nối tiếp liên quan đến sự 3 tăng độ dài buồng cộng hưởng của laser bán dẫn cho phép laser bán dẫn có thể hoạt động ở công suất ra cao hơn. Thứ ba, QW là lớp có độ dày khoảng 10nm. Những lớp mỏng như vậy không đòi hỏi một hằng số mạng hoàn toàn phù hợp với vật liệu dựa trên GaAs.
Vì vậy, các thành phần vật liệu của lớp QW có thể thay đổi mà ít bị ảnh hưởng từ các hiệu ứng biến dạng. Bằng cách thay thế một phần Ga (thường là một vài phần trăm) bằng In, bước sóng hoạt động có thể được thay đổi từ 870 nm đến 1100 nm. Tương tự, sự thay thế nguyên tử As bằng nguyên tử P sẽ thay đổi bước sóng phát xạ laser xuống 730 nm. Sự tạo ra cấu trúc giếng lượng tử mỏng và biến dạng của nó phải dưới một giá trị giới hạn.
Bên trên giá trị này một số lượng lớn của bẫy điện tử sinh ra dẫn đến sự tái hợp không bức xạ. Trong cấu trúc giếng lượng tử biến dạng nén, vùng lỗ trống nặng và nhẹ được tách ra và khối lượng hiệu dụng của các lỗ trống này trong vùng hóa trị giảm xuống. Sự thay đổi trong cấu trúc của dải dẫn đến sự giảm mật độ trạng thái ở biên của vùng hóa trị và giảm khối lượng hiệu dụng của các electron và lỗ trống. Điều này làm giảm mật độ dòng ngưỡng của cấu trúc giếng lượng tử biến dạng nén so cấu trúc không biến dạng [8,9] Do những ưu điểm này, các lớp QW biến dạng ngày nay được sử dụng để hình thành vùng hoạt động của hầu hết các cấu trúc laser bán dẫn [8].
Khuếch đại quang và điều kiện ngƣỡng Khi đi qua một vật liệu hấp thụ theo hướng z, cường độ J của sóng quang phẳng giảm theo biểu thức: J(z) J0 exp( z ) (1.1) với J0 là cường độ ban đầu và α là hệ số hấp thụ. Trong laser bán dẫn sự khuếch đại quang đạt được trong vật liệu lớp tích cực. Trong trường hợp này, sự tăng theo hàm mũ của cường độ sóng quang có thể được diễn tả bởi một giá trị âm của tương ứng với hệ số khuếch đại quang g = -. Chúng ta cần phân biệt giữa hệ số khuếch đại của vật liệu lớp tích cực, được gọi là hệ số khuếch đại vật liệu và hệ số khuếch đại mode quang thấp hơn đáng kể được gọi là hệ số khuếch đại mode gmod al 4 Hình 1.
Phổ khuếch đại quang của vật liệu bán dẫn khối GaAs ở mật độ hạt tải N=2- 6x1018 cm-3 [16] Trong hình 1.3, sự khuếch đại vật liệu của GaAs ở nhiệt độ phòng được vẽ cho các mật độ hạt tải N khác nhau. Hệ số khuếch đại lớn nhất đạt được ở mức năng lượng photon cao hơn một chút so với năng lượng vùng cấm. Mối liên hệ giữa hệ số khuếch đại mode gmod al và hệ số khuếch đại vật liệu g được xác định bởi hệ số giam giữ Γ. Hệ số này phụ thuộc vào sự chồng phủ của mode quang với vùng khuếch đại (vùng tích cực) của laser.
Với J(x) là cường độ quang của mốt quang cơ bản trong laser phát cạnh cấu trúc dị thể có độ dày miền tích cực d, ta có: gmod al g ( 1.3 ) J( x )dx Trong cấu trúc dị thể với độ dày lớp tích cực từ 50-300 nm, hệ số giam giữ Γ có giá trị từ 10 - 70%. Nếu lớp tích cực bao gồm một giếng lượng tử với độ dày trung bình 10nm sẽ thu được thừa số giam giữ cỡ một vài phần trăm. 5 Với mode lan truyền dọc theo dẫn sóng quang, hệ số hấp thụ cường độ quang thường được tách thành hai phần, một phần diễn tả sự hấp thụ mode thuần hay hấp thụ nội i , phần kia diễn tả hệ số khuếch đại mode g mod al g phụ thuộc vào cường độ của hạt tải tiêm vào.4 ) Sự hấp thụ mode nội gây ra bởi sự tán xạ của mode quang ở các vị trí sai hỏng (khuyết tật) hoặc bề mặt gồ ghề và bởi sự hấp thụ hạt tải tự do. Trong đó sự tán xạ là rất thấp cho laser bán dẫn với chất lượng nuôi tinh thể tốt, sự hấp thụ hạt tải tự do là không thể tránh được vì phần mode quang vượt ra ngoài miền vỏ pha tạp loại n và pha tạp loại p.
Khi sự khuếch đại mode g lớn hơn mất mát mode thuần i mode quang truyền được khuếch đại. Trong linh kiện laser, dẫn sóng quang được kết hợp với buồng cộng hưởng Fabry- Perot có hai gương phản xạ R1 và R2. Một phần cường độ quang thoát ra ngoài buồng cộng hưởng ở mặt gương và tạo thành chùm laser ra, cường độ Jrt của mode quang sau một chu trình vòng quanh trong buồng cộng hưởng là [10].5 ) Sự phát laser xảy ra khi sự khuếch đại của mode sóng quang bù trừ được sự hấp thụ nội và mất mát ở gương cho một chu kì vòng quanh BCH. Hệ số khuếch đại nhỏ nhất g ở đó linh kiện bắt đầu hoạt động phát laser gọi là hệ số khuếch đại ngưỡng gth.
Trong trường hợp này cường độ Jrt sau một chu kì vòng quanh BCH lại có giá trị ban đầu J0.6 ) Vì thế, ta có: 1 R1R2 exp 2( gmat i )L ( 1.8 ) và 2L R1 R2 6 Ở ngưỡng laser sự khuếch đại mode gth là tổng của hai số hạng trong (1.8), sự hấp thụ nội i và mất mát ở gương mirror. Sự mất mát ở gương phụ thuộc vào chiều dài buồng cộng hưởng và các hệ số phản xạ gương R1 và R2. Dẫn sóng và buồng cộng hƣởng Laser bán dẫn hoạt động đòi hỏi một điều kiện quan trọng, cụ thể là dẫn sóng của sóng quang học trong miền tích cực. Mô tả đơn giản, theo hướng thẳng đứng, dẫn sóng dựa trên tổng số phản xạ nội của sóng quang tại hai giao diện tuân theo định luật của Snell, xem hình 1.
Sơ đồ của một ống dẫn sóng ba lớp: cấu trúc cơ bản của laser bán dẫn.4 là một ống dẫn sóng điện môi ba lớp gồm một màng được nhúng giữa hai lớp đệm.