Giới thiệu dự án

Sự phát triển mạnh mẽ của ngành công nghiệp bán dẫn và sản xuất linh kiện điện tử tại Việt Nam — đặc biệt tại trung tâm công nghiệp Bắc Ninh với sự hiện diện của các tập đoàn công nghệ lớn — đặt ra yêu cầu nghiêm ngặt về kiểm soát môi trường sản xuất vi mô. Các hạt bụi siêu mịn ($0.1 - 0.5,\mu\text{m}$), hiện tượng phóng tĩnh điện (ESD - Electrostatic Discharge), cùng sự dao động nhiệt ẩm bất thường là những nguyên nhân chính gây đoản mạch, biến dạng vi cấu trúc bán dẫn và gia tăng tỷ lệ sản phẩm lỗi (Defect Rate) lên tới $12 - 18%$ trong các dây chuyền lắp ráp bản mạch in (PCB) và công nghệ dán bề mặt (SMT).

Dự án "Thiết kế hệ thống phòng sạch nhà máy công ty K-WON VINA Bắc Ninh" giải quyết trực tiếp bài toán kiểm soát vi khí hậu và độ sạch cho nhà máy sản xuất linh kiện điện tử tại Khu công nghiệp Quế Võ, tỉnh Bắc Ninh.

flowchart LR
    A["Không khí ngoài trời (Fresh Air)"] --> B["Hệ thống lọc sơ bộ G4/F8"]
    B --> C["Dàn lạnh điều hòa trung tâm (Cooling Coil)"]
    C --> D["Hòa trộn tuần hoàn cấp 2 (Recirculation)"]
    D --> E["Quạt & Màng lọc HEPA FFU (ISO Class 6)"]
    E --> F["Phòng sạch sản xuất (21°C, 45% RH)"]
    F --> G["Hồi gió / Rò lọt áp suất dương (+12-14 Pa)"]

Mục tiêu dự án

  1. Thiết lập cấp sạch tiêu chuẩn: Thiết kế không gian phòng sạch đạt cấp ISO Class 6 theo tiêu chuẩn quốc tế ISO 14644-1 (tương đương chuẩn Class 1,000 theo Federal Standard 209E).
  2. Khống chế vi khí hậu chính xác: Duy trì ổn định nhiệt độ phòng ở mức $21 \pm 1^\circ\text{C}$ và độ ẩm tương đối $\text{RH} = 45 \pm 5%$, triệt tiêu hoàn toàn nguy cơ đọng sương trên vách và kết cấu bao che.
  3. Kiểm soát phân cấp áp suất: Thiết lập hệ thống chênh áp dương từ $+12,\text{Pa}$ đến $+14,\text{Pa}$ so với khu vực đệm bên ngoài để ngăn ngừa nhiễm chéo.
  4. Tối ưu hóa năng lượng và chi phí: Ứng dụng sơ đồ tuần hoàn không khí hai cấp kết hợp hệ thống quạt lọc độc lập FFU (Fan Filter Unit) nhằm giảm thiểu tổn thất áp suất và tiết kiệm tối thiểu $15%$ điện năng tiêu thụ so với các giải pháp thông hơi truyền thống.

Phạm vi và giới hạn dự án

  • Phạm vi triển khai: Tổng diện tích mặt bằng xử lý sạch là $1,457,\text{m}^2$ tại KCN Quế Võ, bao gồm khu vực xưởng sản xuất chính ($1,121,\text{m}^2$, thể tích $3,587.2,\text{m}^3$) và phòng kiểm tra chất lượng QC ($225.7,\text{m}^2$).
  • Giới hạn kỹ thuật: Thiết kế tập trung vào hệ thống nhiệt lạnh, xử lý không khí HVAC (Heating, Ventilation, and Air Conditioning) và hệ thống lọc bụi; không bao gồm hệ thống khí nén công nghiệp chuyên dụng và hệ thống cấp nước siêu tinh khiết (DI Water).

Phân tích và thiết kế giải pháp

Phân tích hiện trạng

Tại các nhà máy sản xuất điện tử hiện nay, việc lựa chọn mô hình phân phối dòng khí và phương án làm lạnh đóng vai trò quyết định đến hiệu suất vận hành:

Tiêu chí so sánh Phòng sạch dòng chảy tầng (Laminar Flow) Phòng sạch thông hơi hỗn loạn (Turbulent Flow) Giải pháp thiết kế Đồ án (Turbulent + FFU + 2-Stage Recirculation)
Cấp độ sạch đạt được ISO Class 1 - ISO Class 5 ISO Class 7 - ISO Class 8 ISO Class 6 (Đạt chuẩn SMT & PCB)
Chi phí đầu tư ban đầu Rất cao ($1,200 - 2,000,\text{USD/m}^2$) Thấp ($300 - 500,\text{USD/m}^2$) Tối ưu ($450 - 650,\text{USD/m}^2$)
Bội số trao đổi khí (ACH) $150 - 300\text{ lần/h}$ $20 - 40\text{ lần/h}$ $80\text{ lần/h}$ (Tiêu chuẩn TCVN 8664-4)
Chi phí vận hành điện năng Rất lớn do trở lực màng lọc cao Trung bình nhưng khó kiểm soát ẩm Giảm 18.5% nhờ hồi gió 2 cấp
Tính linh hoạt bố trí máy móc Thấp (Dễ bị cản dòng chảy thẳng) Trung bình Rất cao (Điều chỉnh FFU theo vị trí phát sinh nhiệt)

Ưu tiên yêu cầu kỹ thuật theo mô hình MoSCoW

  • Must have (Bắt buộc): Đạt độ sạch ISO Class 6; kiểm soát $t_T = 21^\circ\text{C}$, $\varphi_T = 45%$; áp suất dương $\Delta P \ge 12,\text{Pa}$; màng lọc HEPA H13 hiệu suất $\ge 99.99%$ đối với hạt $\ge 0.3,\mu\text{m}$.
  • Should have (Nên có): Sơ đồ hòa trộn tuần hoàn 2 cấp nhằm giới hạn độ chênh nhiệt độ thổi vào $\Delta t_{\text{thổi}} \le 10,\text{K}$; buồng tắm khí Air Shower tự động khóa liên động (Interlock).
  • Could have (Có thể mở rộng): Hệ thống giám sát nồng độ hạt bụi và vi khí hậu trực tuyến qua giao thức Modbus RTU/BACnet.
  • Won't have (Chưa thực hiện đợt này): Hệ thống lọc phân tử than hoạt tính khử mùi hóa chất bay hơi cấp độ nano.

Thiết kế hệ thống

Danh mục công nghệ và tiêu chuẩn kỹ thuật áp dụng

  • Tiêu chuẩn thiết kế sạch: ISO 14644-1:2015, TCVN 8664-4:2011, US FED STD 209E.
  • Tiêu chuẩn tính tải nhiệt & thông gió: TCVN 5687:2010, QCVN 09:2013/BXD, Phương pháp tính tải nhiệt Carrier.
  • Trang thiết bị làm lạnh: Hệ thống điều hòa âm trần nối ống gió Daikin Inverter công nghiệp (Dàn lạnh FXMQ125PVE, Dàn nóng RXMQ5BVM, môi chất R410A).
  • Vật liệu vỏ bao che: Vách và trần Panel EPS chống cháy độ dày $50,\text{mm}$ ($\rho = 11 - 40,\text{kg/m}^3$, $\lambda = 0.035,\text{W/m}\cdot\text{K}$); kính hộp 2 lớp cách nhiệt ($k = 3.28,\text{W/m}^2\cdot\text{K}$).
graph TD
    subgraph Outdoor ["Điều kiện biên ngoài trời (Bắc Ninh)"]
        OD["tN = 37°C, φN = 67%"]
    end

    subgraph Cleanroom ["Khu vực phòng sạch sản xuất"]
        CR["tT = 21°C, φT = 45%, P = +14 Pa"]
    end

    subgraph Primary_AHU ["Xử lý cấp 1"]
        MIX1["Hòa trộn Khí tươi (LN=525 l/s) + Hồi cấp 1 (LT1=5251 l/s)"]
        COIL["Dàn lạnh hạ nhiệt và khử ẩm sâu (To = 9.43°C)"]
    end

    subgraph Secondary_Stage ["Xử lý cấp 2"]
        MIX2["Hòa trộn dòng O với Hồi cấp 2 (L2=804 l/s)"]
        SUPPLY["Dòng thổi V (tv = 11°C, Δt = 10K)"]
    end

    OD -->|Cấp gió tươi| MIX1
    CR -->|Gió hồi cấp 1| MIX1
    MIX1 --> COIL
    COIL --> MIX2
    CR -->|Gió hồi cấp 2| MIX2
    MIX2 --> SUPPLY
    SUPPLY -->|Cấp qua FFU| CR

Methodology (Phương pháp triển khai)

Dự án áp dụng phương pháp thiết kế kỹ thuật nhiệt chuẩn mực kết hợp kiểm chứng mô phỏng theo 4 giai đoạn:

gantt
    title Lộ trình triển khai thiết kế hệ thống phòng sạch K-WON VINA
    dateFormat  YYYY-MM-DD
    section Khảo sát & Tính toán
    Khảo sát mặt bằng & khí tượng Quế Võ     :2022-08-01, 15d
    Tính toán cân bằng nhiệt ẩm (Carrier)    :2022-08-16, 20d
    section Thiết kế hệ thống
    Xây dựng ẩm đồ t-d & Sơ đồ 2 cấp        :2022-09-05, 15d
    Tính chọn thiết bị lạnh, FFU, Air Shower:2022-09-20, 20d
    section Thiết kế khí động
    Tính toán thủy lực mạng ống gió         :2022-10-10, 15d
    section Tổng hợp & Tối ưu
    Kiểm tra đọng sương & Lập hồ sơ kỹ thuật :2022-10-25, 15d

Implementation và kết quả

Development process

Quá trình tính toán tải nhiệt thừa ($Q_T$) và ẩm thừa ($W_T$) được xây dựng chi tiết theo phương pháp Carrier, phân tách cụ thể giữa nhiệt hiện ($Q_{ht}$) và nhiệt ẩn ($Q_{at}$):

$$Q_0 = Q_T = \sum Q_{ht} + \sum Q_{at}$$

Thành phần nhiệt hiện truyền qua kết cấu bao che trần/vách được xác định qua biểu thức:

$$Q_{21} = F_m \cdot k \cdot \Delta t$$

Trong đó:

  • $k_{\text{mái}} = 0.022,\text{W/m}^2\cdot\text{K}$, $k_{\text{tường}} = 0.62,\text{W/m}^2\cdot\text{K}$.
  • $\Delta t = 0.5 \cdot (t_N - t_T) = 0.5 \cdot (37 - 21) = 8^\circ\text{C}$.

Dưới đây là thuật toán script tự động hóa tính toán điểm hòa trộn, hệ số nhiệt hiện phòng ($\varepsilon_{hf}$) và cân bằng lưu lượng gió:

import math

class CleanroomHVACCalculator:
    def __init__(self, t_in, rh_in, t_out, rh_out, q_hf, q_af, v_room, ach):
        self.t_in = t_in          # Nhiệt độ trong phòng (°C)
        self.rh_in = rh_in        # Độ ẩm trong phòng (%)
        self.t_out = t_out        # Nhiệt độ ngoài trời (°C)
        self.rh_out = rh_out      # Độ ẩm ngoài trời (%)
        self.q_hf = q_hf          # Nhiệt hiện phòng (W)
        self.q_af = q_af          # Nhiệt ẩn phòng (W)
        self.v_room = v_room      # Thể tích phòng (m3)
        self.ach = ach            # Số lần trao đổi khí (1/h)

    def calculate_sensible_heat_ratio(self):
        """Tính hệ số nhiệt hiện phòng epsilon_hf"""
        epsilon_hf = self.q_hf / (self.q_hf + self.q_af)
        return round(epsilon_hf, 3)

    def calculate_airflows(self, delta_t_supply=10.0, fresh_air_per_person=8.3, workers=100):
        """Tính toán lưu lượng gió qua dàn và phân bổ 2 cấp"""
        # Lưu lượng gió tươi tối thiểu theo số người (l/s)
        l_fresh = fresh_air_per_person * workers
        
        # Lưu lượng gió cấp qua dàn lạnh để xử lý nhiệt hiện
        # L = Q_hf / (1.2 * delta_t_max)
        l_total = self.q_hf / (1.2 * 14.1) # 14.1K chênh lệch qua coil
        
        # Thiết lập sơ đồ 2 cấp: Giới hạn Delta_T thổi vào = 10K
        # t_supply = t_in - delta_t_supply = 11°C
        t_supply = self.t_in - delta_t_supply
        t_coil_out = 9.43 # Nhiệt độ ra khỏi coil O (°C)
        
        # Giải hệ phương trình cân bằng hòa trộn cấp 2:
        # L = L1 + L2
        # L2 / L1 = (t_supply - t_coil_out) / (t_in - t_supply)
        ratio = (t_supply - t_coil_out) / (self.t_in - t_supply)
        l1 = l_total / (1 + ratio)
        l2 = l_total - l1
        
        return {
            "Total Airflow (l/s)": round(l_total, 2),
            "Primary Recirculation L1 (l/s)": round(l1, 2),
            "Secondary Recirculation L2 (l/s)": round(l2, 2),
            "Fresh Air L_N (l/s)": round(l_fresh, 2),
            "Supply Temp (°C)": t_supply
        }

# Khởi tạo thông số cho Xưởng sản xuất K-WON VINA
calc = CleanroomHVACCalculator(
    t_in=21.0, rh_in=45.0, t_out=37.0, rh_out=67.0,
    q_hf=111694.35, q_af=12416.19, v_room=3587.2, ach=80
)

eps = calc.calculate_sensible_heat_ratio()
flows = calc.calculate_airflows(delta_t_supply=10.0, fresh_air_per_person=8.3, workers=80)
print(f"Hệ số nhiệt hiện phòng: {eps}")
print(f"Kết quả phân bổ dòng khí: {flows}")

Testing và validation

Kiểm tra điều kiện đọng sương trên bề mặt vách bao che

Để đảm bảo vách không bị đọng sương gây ẩm mốc và phát sinh vi khuẩn, hệ số truyền nhiệt thực tế của vách ($k_t$) phải nhỏ hơn hệ số truyền nhiệt cực đại ($k_{\max}$):

  • Mùa hè: $k_{\max} = \alpha_N \cdot \frac{t_N - t_{sN}}{t_N - t_T} = 20 \cdot \frac{37 - 30}{37 - 21} = 8.75,\text{W/m}^2\cdot\text{K}$.
  • Mùa đông: $k_{\max} = \alpha_T \cdot \frac{t_T - t_{sT}}{t_T - t_N} = 10 \cdot \frac{21 - 9}{21 - 8} = 12.0,\text{W/m}^2\cdot\text{K}$.
  • Kết cấu vách thực tế: $k_t = 0.62,\text{W/m}^2\cdot\text{K} \ll k_{\max}$.
  • Kết luận: Bề mặt vách bao che hoàn toàn không xảy ra hiện tượng ngưng tụ đọng sương trong suốt chu kỳ 365 ngày vận hành.

Kết quả đạt được

Hệ thống thiết bị được tính toán, lựa chọn và kiểm chứng hoàn chỉnh theo bảng thông số:

Thông số thiết kế Mục tiêu tiêu chuẩn Kết quả tính toán & Chọn thiết bị Đánh giá độ tin cậy
Nhiệt độ phòng sản xuất ($t_T$) $21 \pm 1^\circ\text{C}$ $21.0^\circ\text{C}$ (Nhiệt độ thổi $t_V = 11.0^\circ\text{C}$) Đạt $100%$ dung sai cho phép
Độ ẩm tương đối ($\text{RH}$) $45 \pm 5%$ $45.0%$ (Dàn lạnh xử lý tại $t_O = 9.43^\circ\text{C}$) Khử ẩm chính xác
Tổng tải lạnh xưởng sản xuất ($Q_0$) $\ge 138.4,\text{kW}$ $168,\text{kW}$ (Chọn 12 máy Daikin $14,\text{kW}$) Dự phòng an toàn $17.6%$
Tổng tải lạnh phòng QC ($Q_0$) $\ge 39.1,\text{kW}$ $42,\text{kW}$ (Chọn 3 máy Daikin $14,\text{kW}$) Dự phòng an toàn $6.9%$
Áp suất dương phòng sạch ($\Delta P$) $12 - 14,\text{Pa}$ Duy trì $+13.5,\text{Pa}$ qua lưu lượng gió tươi dư Ngăn chặn hoàn toàn bụi xâm nhập
Cấp sạch đạt được (ISO 14644-1) ISO Class 6 $\le 1,000\text{ hạt}/0.1\text{ ft}^3$ kích thước $\ge 0.5,\mu\text{m}$ Đáp ứng dây chuyền SMT

Đổi mới và đóng góp

  1. Sơ đồ hòa trộn tuần hoàn hai cấp chống sốc nhiệt: Giải quyết triệt để nhược điểm của các hệ thống một cấp truyền thống (thường thổi gió ở nhiệt độ quá thấp $\approx 8 - 9^\circ\text{C}$ gây chênh nhiệt $\Delta t > 11.5,\text{K}$ dẫn đến sốc nhiệt cho linh kiện và công nhân). Sơ đồ 2 cấp khống chế chính xác $\Delta t_{\text{thổi}} = 10,\text{K}$ với $t_V = 11^\circ\text{C}$.
  2. Cấu trúc phân tán linh hoạt kết hợp FFU: Thay vì phụ thuộc vào một tổ máy AHU khổng lồ tiềm ẩn rủi ro dừng toàn bộ nhà máy khi gặp sự cố, đồ án sử dụng 15 tổ hợp máy âm trần nối ống gió Daikin kết hợp màng lọc FFU phân tán. Giải pháp này giúp điều chỉnh công suất từng vùng theo mật độ máy móc phát nhiệt, giảm $21.3%$ chi phí bảo trì định kỳ.
  3. Tính toán thủy lực đường ống gió chính xác: Thiết kế mạng lưới ống gió cấp và hồi với tổn thất áp suất ma sát cực tiểu ($R \le 1.0,\text{Pa/m}$), hạn chế độ ồn buồng sản xuất ở mức $58,\text{dB(A)}$, thấp hơn nhiều so với ngưỡng quy chuẩn $65,\text{dB(A)}$.

Ứng dụng thực tế và triển khai

Kịch bản vận hành thực tế

Hệ thống được thiết kế chuyên biệt cho dây chuyền sản xuất bo mạch điện tử vi mô công ty K-WON VINA Bắc Ninh:

  • Quy trình di chuyển nhân sự: 100 công nhân đi qua phòng thay đồ vô trùng $\rightarrow$ bước vào buồng tắm khí Air Shower (thổi khí sạch phản lực vận tốc $22,\text{m/s}$ trong $15,\text{s}$ để loại bỏ hạt bụi bám dính) $\rightarrow$ đi qua Airlock áp suất dương $+8,\text{Pa}$ $\rightarrow$ vào xưởng sản xuất chính ($+14,\text{Pa}$).
  • Quy trình cấp gió: Dàn lạnh giấu trần kết hợp ống gió tôn tráng kẽm bọc xốp PE cách nhiệt $25,\text{mm}$ đưa gió tới hộp tĩnh trần, phân phối đều qua cụm màng lọc FFU HEPA H13 đặt âm trần cách sàn thao tác $3.2,\text{m}$.

Phân tích hiệu quả kinh tế (ROI)

  • Tổng chi phí thiết bị & lắp đặt: Ước tính khoảng $1.85\text{ tỷ VNĐ}$ (bao gồm 15 cụm máy lạnh Daikin Inverter, 85 bộ FFU, 02 buồng Air Shower đôi, mạng ống gió tôn mạ kẽm và hệ vách Panel EPS).
  • Tiết kiệm vận hành: Nhờ công nghệ biến tần kết hợp hồi gió 2 cấp, lượng điện năng tiết kiệm đạt khoảng $58,400,\text{kWh/năm}$, tương đương rút ngắn thời gian hoàn vốn đầu tư (Payback Period) xuống còn 2.8 năm.

Hạn chế và hướng phát triển

  • Hạn chế kỹ thuật: Do sử dụng mô hình thông hơi hỗn loạn để tối ưu chi phí, cấp sạch đạt trần ở mức ISO Class 6; không thể đáp ứng các công đoạn quang khắc bán dẫn siêu chính xác (yêu cầu ISO Class 3 - ISO Class 4 với dòng chảy tầng hoàn toàn).
  • Hướng phát triển: Tích hợp bộ điều khiển trung tâm BMS (Building Management System) giám sát biến tần quạt FFU tự động dựa trên cảm biến nồng độ bụi laser theo thời gian thực; nghiên cứu bổ sung hệ thống thu hồi nhiệt bánh xe nhiệt (Enthalpy Recovery Wheel) để tận dụng năng lượng từ dòng khí thải.

Đối tượng hưởng lợi

mindmap
  root((Hệ thống Phòng sạch K-WON VINA))
    Sinh viên & Giảng viên ngành Nhiệt - Lạnh
      Tài liệu mẫu thiết kế HVAC phòng sạch
      Thuật toán tính tải nhiệt Carrier chi tiết
      Phương pháp tính toán sơ đồ tuần hoàn 2 cấp
    Kỹ sư MEP & HVAC
      Bộ thông số thiết kế thực chiến tại Bắc Ninh
      Kinh nghiệm xử lý đọng sương và cân bằng áp suất
      Thư viện lựa chọn thiết bị Daikin Inverter & FFU
    Chủ đầu tư & Doanh nghiệp Điện tử
      Mô hình phòng sạch chi phí tối ưu
      Giảm 15-20% chi phí vận hành điện năng
      Đáp ứng tiêu chuẩn kiểm toán quốc tế ISO 14644

Câu hỏi thường gặp

1. Yêu cầu nguồn điện và điều kiện kỹ thuật để lắp đặt hệ thống là gì?

Hệ thống yêu cầu nguồn điện 3 pha $380,\text{V} / 50,\text{Hz}$ với dây nguồn chính CV $3 \times 6,\text{mm}^2 + 2.5,\text{E}$ đảm bảo chịu tải cho 15 tổ máy. Chiều cao tĩnh từ sàn đến đáy dầm tối thiểu $4.5,\text{m}$ để bố trí khoảng không gian kỹ thuật trần $1.3,\text{m}$ cho hệ thống đường ống gió và FFU.

2. Vì sao đồ án không chọn hệ thống Chiller giải nhiệt nước trung tâm?

Mặc dù Water Chiller có tuổi thọ cao, nhưng với quy mô mặt bằng $1,457,\text{m}^2$ tại K-WON VINA, chi phí đầu tư Chiller quá lớn, yêu cầu phòng máy riêng biệt, tháp giải nhiệt và đội ngũ vận hành tay nghề cao. Lựa chọn hệ thống máy cục bộ nối ống gió Daikin Inverter mang lại tính kinh tế cao hơn, thi công nhanh và dễ bảo trì cục bộ mà không cần dừng toàn bộ xưởng.

3. Làm thế nào để duy trì chênh lệch áp suất dương ổn định?

Chênh áp được duy trì nhờ lượng gió tươi cấp bổ sung ($L_N = 525,\text{l/s}$ cho sản xuất) lớn hơn lượng gió rò rỉ và gió thải qua van xả áp. Khi cửa phòng mở, luồng khí sạch luôn có xu hướng thổi tràn ra ngoài với vận tốc $\ge 0.2,\text{m/s}$, ngăn chặn tuyệt đối bụi từ hành lang xâm nhập.

4. Chu kỳ bảo dưỡng và thay thế màng lọc HEPA trong FFU là bao lâu?

Màng lọc sơ bộ (Pre-filter G4) cần được vệ sinh/thay thế định kỳ $3 - 6\text{ tháng/lần}$. Màng lọc tinh HEPA H13 trong FFU có tuổi thọ từ $2 - 3\text{ năm}$ tùy thuộc vào độ chênh áp qua màng (cần thay thế khi trở lực màng tăng gấp đôi so với ban đầu, tức vượt quá $350 - 400,\text{Pa}$).

5. Chi phí vận hành ước tính hàng tháng của hệ thống là bao nhiêu?

Tổng công suất tiêu thụ điện danh định của hệ thống lạnh và quạt FFU đạt khoảng $98.5,\text{kW}$. Với hệ số làm việc đồng thời $k_{\text{đt}} = 0.75$ và chế độ làm việc 2 ca ($16,\text{h/ngày}$), chi phí điện năng ước tính dao động từ $70 - 85\text{ triệu VNĐ/tháng}$ theo biểu giá điện công nghiệp.

Kết luận

Đồ án tốt nghiệp "Thiết kế hệ thống phòng sạch nhà máy công ty K-WON VINA Bắc Ninh" đã giải quyết toàn diện và chuẩn xác bài toán kỹ thuật nhiệt lạnh và kiểm soát vi khí hậu trong công nghiệp điện tử hiện đại. Bằng việc ứng dụng phương pháp cân bằng nhiệt ẩm Carrier, sơ đồ tuần hoàn không khí hai cấp và công nghệ phân tán FFU, đề tài đã xây dựng thành công giải pháp phòng sạch đạt cấp ISO Class 6, đảm bảo vận hành ổn định $21 \pm 1^\circ\text{C}$ và $45 \pm 5%,\text{RH}$ trong điều kiện thời tiết khắc nghiệt tại Bắc Ninh. Đây là tài liệu kỹ thuật có giá trị thực tiễn cao, đóng vai trò cẩm nang tham khảo hữu ích cho sinh viên chuyên ngành Kỹ thuật Nhiệt - Điện lạnh cũng như các kỹ sư thiết kế MEP trong các dự án công nghiệp vi điện tử.