ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI LUẬN VĂN THẠC SĨ Nghiên cứu xác định điểm hội tụ trong gia công Laser TRẦN XUÂN ĐẠT Dat.vn Ngành Kỹ thuật Cơ điện tử Giảng viên hƣớng dẫn: TS. Cao Xuân Bình Chữ ký của GVHD Trƣờng/Viện/Khoa: Trường Cơ khí / Khoa Cơ điện tử HÀ NỘI, 10/2023 CỘNG HÒA XÃ HỘI CHỦ NGHĨA VIỆT NAM Độc lập – Tự do – Hạnh phúc BẢN XÁC NHẬN CHỈNH SỬA LUẬN VĂN THẠC SĨ Họ và tên tác giả luận văn: Trần Xuân Đạt Đề tài luận văn: Nghiên cứu xác định điểm hội tụ trong gia công Laser Ngành: Kỹ thuật Cơ điện tử Mã số HV: 20211283M Tác giả, Người hướng dẫn khoa học và Hội đồng chấm luận văn xác nhận tác giả đã sửa chữa, bổ sung luận văn theo biên bản họp Hội đồng ngày 13/10/2023 với các nội dung sau: 1. Bố cục lại các nội dung trong luận văn 2. Bổ sung các nội dung về Laser và tổng quan phương pháp gia công bằng tia laser 3.
Xây dựng phương pháp hiệu chuẩn hệ thống 4. Trình bày các thành phần của hệ thống, các bước mô phỏng hệ, xác định độ nhạy của hệ thống thiết lập và phạm vi ứng dụng của hệ thống 5. Lược bỏ một số tài liệu tham khảo không cần thiết trong luận văn 6. Việt hóa các hình vẽ và sửa lỗi chính tả trong luận văn Ngày 13 tháng 11 năm 2023 Giáo viên hƣớng dẫn Tác giả luận văn TS.
Cao Xuân Bình Trần Xuân Đạt CHỦ TỊCH HỘI ĐỒNG PGS.TS Vũ Toàn Thắng ĐỀ TÀI LUẬN VĂN “Nghiên cứu xác định điểm hội tụ trong gia công laser” Yêu cầu đề tài: - Nghiên cứu về Laser và phương pháp gia công bằng tia laser - Nghiên cứu, phân tích và đánh giá các phương pháp xác định điểm hội tụ của chùm tia laser - Xây dựng mô hình hệ thống xác định điểm hội tụ của chùm tia laser - Mô phỏng và đánh giá hệ thống đề xuất Giáo viên hướng dẫn Ký và ghi rõ họ tên Lời cảm ơn Để hoàn thành được luận văn này, em xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc đến các thầy cô trong Đại học Bách Khoa Hà Nội nói chung, Trường Cơ khí và Khoa Cơ điện tử nói riêng. Các thầy cô đã nhiệt tình chỉ dạy, hỗ trợ và cung cấp cho em nhiều kiến thức và tài liệu quý giá trong suốt quá trình học tập và nghiên cứu vừa qua. Em xin chân thành cảm ơn giảng viên hướng dẫn TS. Cao Xuân Bình thuộc Khoa Cơ điện tử, người đã định hướng, trực tiếp chỉ bảo, hướng dẫn, đề ra phương hướng nghiên cứu và hỗ trợ tận tình trong quá trình học tập và thực hiện đề tài nghiên cứu này.
Tiếp theo, em xin gửi lời cảm ơn chân thành nhất tới các thành viên trong Square Lab và các anh chị đồng nghiệp trong Phòng Đo lường Độ dài – Viện Đo lường Việt Nam đã tạo điều kiện giúp đỡ, hỗ trợ em trong quá trình học tập, nghiên cứu và làm việc. Cuối cùng, em cũng xin gửi lời cảm ơn đến gia đình, bạn bè đã giúp đỡ, động viên, khuyến khích và chia sẻ cùng em trong những năm tháng học tập và qua quá trình nghiên cứu để hoàn thành luận văn này. Em xin chân thành cảm ơn! Tóm tắt nội dung luận văn Luận văn tập trung nghiên cứu xác định điểm hội tụ của chùm tia laser trong gia công bằng tia laser. Luận văn có 78 trang trình bày nội dung 3 chương gồm: 1) Laser và gia công bằng tia laser; 2) Các phương pháp xác định điểm hội tụ; 3) Hệ thống quang học sử dụng cách tử nhiễu xạ và Kết luận.
Luận văn đã nghiên cứu tổng quan về tia laser và phương pháp gia công bằng tia laser để cho thấy sự cần thiết của việc xác định điểm hội tụ của chùm tia laser. Tiếp tục phân tích, đánh giá các phương pháp xác định điểm hội tụ đã có để từ đó nghiên cứu xây dựng hệ thống xác định điểm hội tụ của chùm tia laser có sự cải tiến hơn. Luận văn đã đề xuất một hệ thống quang học sử dụng cách tử nhiễu xạ kết hợp với cảm biến vị trí có độ nhạy cao (Position-sensitive detector – PSD). Hệ thống này đã được mô hình hóa và mô phỏng trên phần mềm 3DOptix để tìm ra mối liên hệ giữa sự thay đổi vị trí mẫu hay chi tiết gia công với vị trí của vệt sáng trên cảm biến vị trí giúp cho quá trình điều khiển vị trí mẫu về đúng điểm hội tụ để đảm bảo hiệu suất và chất lượng bề mặt gia công.
Từ kết quả mô phỏng xác định được mối quan hệ giữa sự thay đổi vị trí mẫu và vị trí vệt sáng trên cảm biến so sánh với cơ sở lý thuyết về quang hình học là tương đối phù hợp cho thấy tính khả thi của hệ thống. Hệ thống được đánh giá có tốc độ phản hồi nhanh, phạm vi làm việc rộng và độ nhạy tương đối cao có thể tích hợp được với các hệ gia công bằng tia laser có công suất nhỏ. Tuy nhiên, hệ thống có những nhược điểm cần phải cải tiến thêm để đáp ứng được các bề mặt làm việc có độ nhám. Điều này cũng mở ra hướng nghiên cứu tiếp theo cải tiến hệ thống để đáp ứng với các bề mặt làm việc có độ nhám.
Kết quả nghiên cứu của luận văn có ý nghĩa khoa học quan trọng, mang đến tính mới cho phương pháp nghiên cứu dựa trên khoảng cách giữa các điểm sáng của chùm tia. Kích thích sự cải tiến, đổi mới phương pháp cho các nhà nghiên cứu để có thể mang tới nhiều hệ thống laser có tính ứng dụng cao trong nhiều lĩnh vực khác nhau trong đời sống xã hội hiện nay. Học viên Ký và ghi rõ họ tên Trần Xuân Đạt MỤC LỤC CHƢƠNG 1. LASER VÀ GIA CÔNG BẰNG TIA LASER .1 Nguyên lý bức xạ sóng điện từ ánh sáng .2 Phát xạ kích thích sóng ánh sáng Laser .3 Các thành phần cấu tạo cơ bản của nguồn phát tia Laser .4 Đặc điểm cơ bản của tia Laser .5 Ứng dụng của Laser .2 Tổng quan về gia công bằng tia Laser .1 Nguyên lý gia công bằng tia Laser .2 Dụng cụ và thiết bị ứng dụng trong công nghệ gia công bằng Laser.3 Ứng dụng của gia công laser trong công nghiệp.4 Yếu tố ảnh hưởng đến chất lượng gia công sử dụng công nghệ laser.
CÁC PHƢƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH ĐIỂM HỘI TỤ.1 Phương pháp quang học .1 Phương pháp loạn thị .2 Phương pháp đồng tiêu .2 Phương pháp hình ảnh.1 Phương pháp dựa trên hình ảnh chùm tia phản xạ .2 Phương pháp dựa trên khoảng cách giữa các điểm sáng của chùm tia…………. HỆ THỐNG QUANG HỌC SỬ DỤNG CÁCH TỬ NHIỄU XẠ .1 Mô hình hệ thống đề xuất.1 Nguyên lý hoạt động của hệ thống .2 Phương pháp hiệu chuẩn hệ thống .2 Các thành phần trong hệ thống .2 Cách tử nhiễu xạ .4 Thấu kính hội tụ .5 Cảm biến vị trí.3 Mô phỏng hệ thống trên phần mềm 3DOptix .1 Giới thiệu về phần mềm 3DOptix .2 Thiết lập và mô phỏng hệ thống .4 Đánh giá hệ thống. 75 TÀI LIỆU THAM KHẢO. 76 DANH MỤC HÌNH VẼ Hình 1.1 Sơ đồ mô tả quá trình hấp thụ và bức xạ năng lượng .2 Tương tác giữa trường bức xạ và các hạt .3 Cấu tạo nguồn phát tia laser .4 Sơ đồ các loại mức năng lượng của môi chất laser .5 Nguồn xung ánh sáng với mạch kín LC.6 Truyền năng lượng cộng hưởng của He cho Ne .7 Phổ phát xạ .8 Các loại buồng cộng hưởng thẳng.9 Các loại buồng cộng hưởng vòng .10 Cắt vật liệu bằng tia laser .11 Gia công vật liệu bằng tia laser .12 Thấu kính cơ bản .13 a) Gương bán thấu dạng khối; b) Gương bán thấu dạng tấm.14 Hệ thống kết hợp bởi nhiều bộ vi chỉnh .15 Công nghệ cắt Laser .16 Công nghệ hàn Laser .17 Gia công khắc Laser .19 Nhiệt luyện Laser .20 Hệ thống hội tụ tia laser .21 So sánh rãnh được khắc bằng laser ở vị trí lệch điểm hội tụ (bên trái) và đúng điểm hội tụ (bên phải) [13] .1 Hệ thống lấy nét dựa trên phương pháp loạn thị [14] .2 Sự tương quan giữa FES và hình dạng của điểm sáng trên FQD [14].3 Cấu tạo kính hiển vi đồng tiêu quang học [27] .4 Cấu tạo hệ thống theo dõi độ sâu khoan bằng laser [32] .5 Kết quả lý thuyết và thực nghiệm [32].6 Hệ thống xác định điểm hội tụ bằng nửa chùm tia laser [34] .7 Sơ đồ mô tả nguyên lý làm việc của hệ thống [36].8 Đường truyền tia phản xạ [36] .9 Mối liên hệ giữa đường kính điểm sáng và vị trí mẫu [36] .10 Hệ thống tìm điểm hội tụ trên bề mặt cong [37] .11 Điểm sáng hình dạng dấu phẩy thu được trên máy ảnh CCD khi bề mặt mẫu bị nghiêng [37] .12 a) Cấu trúc thử nghiệm; b) Kết quả thu được trên CCD ở các vị trí mẫu khác nhau [38] .13 Cấu trúc hệ thống sử dụng mặt nạ hai lỗ [40] .14 Cấu trúc hệ thống sử dụng bộ lấy mẫu chùm tia nhiễu xạ [42] .15 Đồ thị biểu diễn kết quả thực nghiệm và lý thuyết về mối quan hệ giữa khoảng cách hai điểm sáng trên cảm biến hình ảnh và vị trí mẫu [42].1 Mô hình hệ thống đề xuất.2 Sơ đồ quang học của hệ thống .3 Đường truyền tia phản xạ .4 Cấu hình chùm tia Gauss .5 Cách tử nhiễu xạ (dạng truyền qua) .6 Cách tử nhiễu xạ (dạng phản xạ).7 Gương bán thấu tấm loại mỏng [49] .8 Hình ảnh một nửa của hệ thấu kính kết hợp [50] .9 Sơ đồ thiết kế của cảm biến vị trí 1D .10 Sơ đồ thiết kế cảm biến hai bên 2D .11 Sơ đồ thiết kế của cảm biến bốn bên 2D [51] .12 Giao diện của phần mềm 3DOptix [52] .14 Cách tử truyền qua [54].15 Thấu kính hội tụ [55].16 Cảm biến hình ảnh (Detector image) trong 3DOptix [52] .18 Hình ảnh thu được trên bề mặt cảm biến khi mẫu đúng vị trí hội tụ .19 Mô hình hệ thống được thiết lập .20 Hình ảnh thu được trên bề mặt cảm biến khi mẫu ở phía trước vị trí hội tụ .21 Hình ảnh thu được trên bề mặt cảm biến khi mẫu ở phía sau vị trí hội tụ .22 Đồ thị mối quan hệ giữa sự thay đổi vị trí vệt sáng trên cảm biến và vị trí mẫu .23 Đồ thị kết quả mô phỏng và lý thuyết .24 Mô tả chùm tia đi tới gương cầu và bị phân tán quanh tiêu điểm F [57].
73 DANH MỤC BẢNG BIỂU Bảng 1 Các thông số của phổ bức xạ của một số laser thông dụng. 10 Bảng 2 Danh sách các loại laser khí, bước sóng và ứng dụng .