CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN Trong chương này, chúng tôi trình bày những vấn đề cơ bản của cảm biến khí; Cảm biến khí dạng trở hóa dựa trên vật liệu SMOs; Các cơ chế nhạy của cảm biến trở hóa; Vật liệu ZnO và vai trò của ZnFe2O4 trên ZnO.1 GIỚI THIỆU VỀ CẢM BIẾN KHÍ 1.1 Cảm biến[18] Cảm biến được định nghĩa là một linh kiện để chuyển đổi (biến) tín hiệu cần đo là các tác nhân kích thích thành tín hiệu có thể đo đạt được (tín hiệu điện, nhiệt, âm thanh, ánh sáng, màu sắc, v. Một định nghĩa hẹp hơn, có thể coi cảm biến là thiết bị phát hiện hoặc đo lường các đại lượng vật lý, hóa học như nhiệt độ, độ dẫn điện, điện dung, áp suất âm thanh và nồng độ, v. Một cách tổng quát, cảm biến là một thiết bị nhận được một kích thích và đáp ứng bằng một tín hiệu điện, tức là một tín hiệu/ đại lượng cần đo ở đầu vào, sau khi qua cảm biến sẽ thành tín hiệu có thể đo được như tín hiệu điện (Hình 1. Sơ đồ mô tả khái niệm của một cảm biến, trong đó tín hiệu cần đo khi qua cảm biến sẽ biến thành tín hiệu điện[18] 6 1.2 Cảm biến khí Cảm biến khí là loại cảm biến dùng để phát hiện đo đạc nồng độ của một số khí nhất định.
Bộ phận cảm nhận của cảm biến khí là một loại vật liệu hoặc hệ thống vật liệu (còn gọi là vật liệu nhạy khí) thế tương tác với các khí phân tích và tính chất của chúng bị thay đổi (công thoát, điện tử, hằng số điện môi, độ dẫn, trọng lượng, v. Còn bộ phận chuyển đổi tín hiệu là linh kiện có thể chuyển các thay đổi tính chất thành tín hiệu điện. Mô hình tổng quan của một cảm biến khí có thể được mô tả như Hình 1. Mô hình tổng quát của cảm biến khí (R là điện trở, E là lực điện tử, I là dòng điện, C là điện dung và V là điện thế)[19] Cho đến nay, cảm biến khí có thể được sử dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực khác nhau (Hình 1.
Các cảm biến phát triển ở những giai đoạn đầu với công nghệ hạn chế phần lớn tập trung vào ứng dụng trong rò rỉ khí. Khi nền công nghiệp phát triển, nguy cơ ô nhiễm môi trường khí ngày càng cao thì ứng dụng điều khiển môi trường là rất quan trọng. Cho đến những năm 2000, các ứng dụng của cảm biến khí đã được phát triển với nhiều tính năng ưu việt như độ nhạy cao, thời gian đáp ứng nhanh, chúng được ứng dụng trong lĩnh vực xe hơi, bao gồm điều khiển quá trình đốt và điều khiển chất 7 lượng khí thải. Theo dự đoán, lĩnh vực ứng dụng của cảm biến khí sẽ mở rộng sang y học vào những năm 2010- 2020.
Để ứng dụng trong lĩnh vực này, các nhà khoa học cần phát triển các thế hệ cảm biến mới có khả năng phát hiện, phân tích hàm lượng nhỏ (cỡ ppb) các khí khác nhau như khí hữu cơ bay hơi (VOCs),. Lịch sử phát triển và ứng dụng của cảm biến khí điện trở[20] 1.2 CẢM BIẾN KHÍ DẠNG TRỞ HÓA DỰA TRÊN VẬT LIỆU SMOs 1.1 Vật liêụ SMOs trong cảm biến khí dạng trở hóa Vật liệu SMOs đã và đang là sự lựa chọn tối ưu trong ứng dụng cho vật liệu nhạy khí của cảm biến. Trong đó, oxit kim loại với cấu hình điện tử ion kim loại lớp dn với 0 ≤ n ≤ 10 được quan tâm nghiên cứu rộng rãi trong lĩnh vực vật liệu nhạy khí; có thể phân làm hai loại[21]: 8 - Oxit kim loại chuyển tiếp có cấu hình điện tử dn với 0 < n < 10, ví dụ như các oxit Fe2O3, CoO, NiO, v. Do các oxit kim loại cấu hình d tồn tại nhiều trạng thái hóa trị có nghĩa là tồn tại nhiều trạng thái oxy hóa khử nên các oxit này có tính nhạy khí đa dạng và phức tạp.
- Oxit kim loại không chuyển tiếp bao gồm: Oxit kim loại tiền chuyển tiếp cấu hình d0, ví dụ như Al2O3, và các oxit sau chuyển tiếp d10, ví dụ như ZnO và SnO2. Các oxit này thường ưu tiên có một trạng thái oxy hóa. Một số oxit kim loại d0 như là MgO hayAl2O3 là khá trơ, rất khó bị khử hoặc oxy hóa , có độ rộng vùng cấm lớn. Vật liệu oxit kim loại d10 có thể bị khử mà khó oxy hóa, có độ rộng vùng cấm trong khoảng từ 3÷4 eV, lớp 2p lấp đầy điện tử.
Các oxit kim loại d10 như ZnO, SnO2, In2O3, v. được nghiên cứu nhiều trong lĩnh vực cảm biến khí do có độ ổn định cao, độ rộng vùng cấm phù hợp cho cảm biến khí độ dẫn. Ngoài ra, oxit bán dẫn kim loại còn được phân loại theo hạt tải điện gồm có: ‘ bán dẫn loại n’ và ‘bán dẫn loại p’. Các nghiên cứu về cảm biến khí trong thực tế đã chỉ ra rằng bán dẫn loại n được ứng dụng nhiều do có độ ổn định nhiệt và có thể hoạt động ngay cả ở môi trường có nồng độoxy thấp.
Ví dụ như là SnO2, TiO2, WO3, ZnO, In2O3. Trong khiđó, vật liệu p thể hiện tính ổn định kém hơn so với bán dẫn loại n là vì ion oxy trong mạng tinh thể của vật liệu p có khả năng tương tác với oxy trong không khí[21]. Và một trong những yếu tố quyết định đến sự lựa chọn vật liệu SMOs cho lớp nhạy khí của cảm biến là độ rộng của vùng cấm của vật liệu oxit bán dẫn. SMOs có Eg nhỏ phù hợp làm lớp nhạy khí cho cảm biến hoạt động ở nhiệt độ phòng, Eg lớn (Eg>2.5 eV) phù hợp làm lớp nhạy cho cảm biến hoạt động nhiệt độ cao.1 Độ rộng vùng cấm của một số vật liệu bán dẫn[22].
Độ rộng vùng cấm của một số loại vật liệu bán dẫn[22] Vật liệu Độ rộng vùng cấm (eV) Oxit kim loại >6.0 MgO,CaO, Al2O3, SiO2, TeO2 5-6 SrO, Y2O3, HfO2, ZrO2 4-5 BaO, La2O3, CeO2, Ga2O3 3-4 TiO2, Nb2O5, Ta2O5, ZnO, In2O3, SnO2 2-3 V2O5, Cr2O3, WO3, NiO, Fe2O3 1-2 Co3O4, PdO, CuO, Sb2O3 Trong các loại vật liệu SMOs, ZnO được nghiên cứu mạnh mẽ và ứng dụng rộng rãi do khả năng nhạy với nhiều loại khí độc như CO, NH3, NOX và các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (VOCs). Do vậy, độ chọn lọc đối với một loại khí nhất định là hạn chế, việc nâng cao đặc tính này đang là vấn đề được quan tâm.Gần đây, nhiều oxit bán dẫn ternary với cấu trúc spinel, như ferrit (MFe2O4, M=Cu, Mg, Zn, Ni, Cd), đang được quan tâm lớn nhờ ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực, như cảm biến khí, vật liệu từ, quang xúc tác, pin Li – ion. Trong các loại oxit bán dẫn ternary, ZnFe2O4 nổi bật cho việc làm lớp nhạy của cảm biến khí do tính chọn lọc tuyệt vời với các khí mục tiêu[14].2 Độ nhạy của ZnO, Fe2O3, ZnFe2O4 với ethanol và acetone. Độ nhạy của ZnO, Fe2O3, ZnFe2O4 với ethanol và acetone[6].
Mẫu Độ nhạy với Độ nhạy với ethanol acetone ZnO 35 80 Fe2O4 8 1500 ZnFe2O4 200 100000 1.2 Cấu trúc của cảm biến khí dạng trở hóa Cảm biến khí kiểu thay đổi trở kháng là linh kiện điện tử có điện trở làmột hàm của môi trường xung quanh, tức là trở kháng của cảm biến sẽ phụ 10 thuộc vào nồng độ khí, loại khí ở môi trường làm việc. Do đó, cảm biến khí trở kháng đặc biệt phù hợp với ứng dụng phát hiện các loại khí xung quanh khác nhau và sự thay đổi nồng độ của chúng.Cấu trúc cơ bản của cảm biến khí oxit kim loại điển hình bao gồm các phần sau:(i) lớp nhạy khí, (ii) điện cực, (iii) lò nhiệt được chế tạo trên (iv) đế cách điện. Cấu trúc của cảm biến khí trở kháng có thể dạng khối hay dạng màng. Với mỗi cấu trúc khác nhau của cảm biến sẽ có các phương pháp chế tạo khác nhau.
Hầu hết các cảm biến khí trở kháng được thương mại hiện nay, sử dụng lớp nhạy khí là oxit kim loại được sản xuất theo phương pháp in lưới hoặc phủ trên đế gốm cách điện nhỏ và mỏng[18].4 mô tả cấu trúc cơ bản của một cảm biến khí. Cấu trúc của cảm biến khí điện trở[23] Lớp nhạy khí là lớp oxit kim loại được chế tạo dưới dạng màng mỏng, màng dày,dạng khối. Vật liệu dạng màng (khối) có độ nhạy cao với khí cần đo và có tính chọn lọc cao (thường là vật liệu ZnO hoăc TiO2 có pha tạp, v. Lớp màng này có vai trò quyết định tới đặc tính và hoạt động của cảm biến.
Điện cực là nơi lấy tín hiệu biến thiên (thường là trở kháng) của lớp vật liệu nhạy khí khi có khí đo hấp thụ trên bề mặt. Thông thường, đối với cảm biến khí thì Pt, Ni thường được sử dụng làm điện cực, do vật liệu này khá bền 11 nhiệt, bền hóa học ở nhiệt độ cao. Lò vi nhiệt có chức năng tạo vùng nhiệt độ hoạt động cho cảm biến, do cảm biến khí trên cơ sở oxit kim loại bán dẫn kiểu thay đổi điện trở có nhiệt độ làm việc trong khoảng từ 100oC đến 400oCnên cảm biến thường tích hợp lò vi nhiệt để cung cấp nhiệt lượng cho cảm biến. Đế là các chất điện môi dùng để cố định điện cực, lớp nhạy khí, lò vi nhiệt[21].
Cấu trúc của thiết bị sử dụng cảm biến khí điện trở trong thực tế[24] 1.3 Các thông số đặc trưng của cảm biến khí[19] Để nghiên cứu, ứng dụng vàhiểu sâu hơn về lĩnh vực cảm biến, ta cần nắm được các thông số đặc trưng cơ bản của một cảm biến khí. Các thông số đặc trưng cơ bản của cảm biến bao gồm: 1.1 Độ đáp ứng khí Độ đáp ứng khí là sự thay đổi tín hiệu đo tương ứng với thay đổi nồng độ của khí đo. Độ đáp ứng khí thường được định nghĩa bằng tỷ số giá trị tín hiệu khi có khí chia cho giá trị tín hiệu khi không có khí (hoặc nghịch đảo của tín hiệu này). Đối với cảm biến khí kiểu thay đổi độ dẫn, độ đáp ứng khí là tỷ số giữa điện trở (độ dẫn) của cảm biến trong môi trường có khí đo chia cho 12 (độ dẫn) của cảm biến đó trong môi trường không khí (khí so sánh).
Các công thức thường được sử dụng để tính độ đáp ứng khí như sau: 𝑹𝒂 𝑹𝒈 𝑺 = hoặc 𝑺 = (1.2) 𝑹𝒂 𝑹𝒈 Ở đây Ra và Rg là điện trở của cảm biến khí đo trong môi trường khí nền (thường là không khí) và môi trường khí thử, như Hình1.