Nghiên Cứu Vật Liệu Màng Nano ZnO Pha Tạp Định Hướng Chế Tạo Linh Kiện Nhiệt Điện

Chuyên khảo kỹ thuật phân tích Nghiên cứu tổng hợp vật liệu màng nano zno pha tạp định hướng chế tạo linh kiện nhiệt điện, đánh giá các khía cạnh quan trọng, đề xuất hướng nghiên

• Tác giả: Vũ Viết Doanh
• Người hướng dẫn: PGS.TS Trịnh Quang Thông
• Trường học: Trường Đại Học Sư Phạm Hà Nội
• Chuyên ngành: Hóa Vô Cơ
• Đề tài: Nghiên Cứu Vật Liệu Màng Nano ZnO và Ứng Dụng Trong Linh Kiện Nhiệt Điện
• Loại tài liệu: luận án tiến sĩ
• Năm xuất bản: 2023
• Địa điểm: Hà Nội

Mục lục chi tiết

• LỜI CAM ĐOAN
• LỜI CẢM ƠN
• 1. CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN
• 1.1. CÁC HIỆU ỨNG NHIỆT ĐIỆN VÀ ĐẶC TRƯNG CƠ BẢN
• 1.2. VẬT LIỆU NHIỆT ĐIỆN CẤU TRÚC NANO
• 1.3. PHƯƠNG PHÁP SOL-GEL
• 2. CHƯƠNG 2: PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM
• 2.1. TỔNG HỢP VẬT LIỆU VÀ CHẾ TẠO MÀNG
• 2.2. CÁC PHÉP ĐO TÍNH CHẤT VẬT LIỆU
• 3. CHƯƠNG 3: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN
• 3.1. TỔNG HỢP DUNG DỊCH VÀ CHẾ TẠO MÀNG ZnO
• 3.2. MÀNG ZnO PHA TẠP LOẠI N
• 3.3. MÀNG ZnO PHA TẠP LOẠI P
• DANH MỤC CÁC CÔNG BỐ KHOA HỌC
• TÀI LIỆU THAM KHẢO

Tóm tắt

I. Tổng Quan Vật Liệu Màng Nano ZnO Cho Nhiệt Điện 55 ký tự

Vật liệu chuyển đổi năng lượng dựa trên hiệu ứng nhiệt điện đang thu hút sự quan tâm lớn nhờ tiềm năng ứng dụng trong các thiết bị phát điện và làm lạnh kích thước nhỏ. Vật liệu nhiệt điện phổ biến nhất hiện nay là hợp kim chalcogenide (Pb, Bi, Sb, Te, Se), tuy nhiên, chúng có nhược điểm về tính ổn định ở nhiệt độ cao, giá thành và độc tính. Oxide kim loại, đặc biệt là ZnO, nổi lên như một ứng viên tiềm năng nhờ tính chất hóa học ổn định, độ dẫn nhiệt thấp, thân thiện với môi trường, phương pháp tổng hợp đơn giản và giá thành thấp. Tuy nhiên, ZnO có nồng độ hạt tải thấp và tính dẫn điện yếu, dẫn đến hiệu suất chuyển đổi nhiệt điện thấp. Do đó, pha tạp và cấu trúc nano được sử dụng để cải thiện tính chất điện của ZnO. Cấu trúc nano, đặc biệt là màng mỏng, mang lại lợi thế về hiệu ứng lượng tử và khả năng tích hợp trong các linh kiện nhỏ gọn. Nghiên cứu về vật liệu nhiệt điện vẫn còn khá mới mẻ ở Việt Nam, do đó, việc nghiên cứu hệ thống về vật liệu ZnO cho ứng dụng nhiệt điện là cần thiết.

1.1. Giới Thiệu Vật Liệu Nhiệt Điện Cấu Trúc Nano

Vật liệu nhiệt điện cấu trúc nano, đặc biệt là màng nano ZnO, hứa hẹn mang lại hiệu suất chuyển đổi năng lượng cao hơn so với vật liệu khối truyền thống. Kích thước nano giúp tăng cường hiệu ứng lượng tử, cải thiện hệ số Seebeck và giảm độ dẫn nhiệt, từ đó nâng cao hệ số phẩm chất ZT. Màng mỏng nhiệt điện có thể được chế tạo bằng nhiều phương pháp khác nhau, bao gồm lắng đọng pha hơi (PVD, CVD) và phương pháp sol-gel. Phương pháp sol-gel có ưu điểm về chi phí thấp, dễ dàng kiểm soát thành phần và cấu trúc, phù hợp cho việc chế tạo màng nano ZnO pha tạp.

1.2. Ưu Điểm Của Màng Nano ZnO So Với Vật Liệu Khối

So với vật liệu khối, màng nano ZnO có diện tích bề mặt lớn hơn, tạo điều kiện cho việc pha tạp và điều chỉnh tính chất điện. Kích thước hạt nano nhỏ giúp tăng cường tán xạ phonon, giảm độ dẫn nhiệt và cải thiện hiệu suất nhiệt điện. Cấu trúc nano cũng cho phép tạo ra các hiệu ứng lượng tử, như giam hãm electron và tăng cường hệ số Seebeck. Ngoài ra, màng nano ZnO dễ dàng tích hợp vào các thiết bị vi điện tử, mở ra tiềm năng ứng dụng trong các linh kiện nhiệt điện nhỏ gọn và hiệu quả.

II. Thách Thức Giải Pháp Với Vật Liệu Màng Nano ZnO 58 ký tự

Mặc dù có nhiều ưu điểm, vật liệu màng nano ZnO vẫn đối mặt với một số thách thức trong ứng dụng nhiệt điện. Độ dẫn điện thấp và hệ số Seebeck chưa đủ cao là những hạn chế chính. Để giải quyết vấn đề này, các nhà nghiên cứu đã tập trung vào việc pha tạp ZnO với các nguyên tố khác nhau để cải thiện tính chất điện. Ngoài ra, việc kiểm soát cấu trúc nano, kích thước hạt và độ dày màng cũng rất quan trọng để tối ưu hóa hiệu suất nhiệt điện. Các phương pháp chế tạo màng, như sol-gel, cần được điều chỉnh để tạo ra màng nano ZnO có chất lượng cao, độ tinh khiết cao và cấu trúc đồng nhất. Theo nghiên cứu của [8], việc pha tạp có thể cải thiện đáng kể tính chất điện của ZnO.

2.1. Vấn Đề Về Độ Dẫn Điện Thấp Của ZnO Nguyên Chất

ZnO nguyên chất có độ dẫn điện thấp do nồng độ hạt tải thấp. Điều này hạn chế khả năng ứng dụng của nó trong các linh kiện nhiệt điện. Để tăng độ dẫn điện, cần phải tăng nồng độ electron hoặc lỗ trống trong cấu trúc ZnO. Pha tạp là một phương pháp hiệu quả để đạt được mục tiêu này. Các nguyên tố như Al, Ga, In có thể được sử dụng để pha tạp loại n, trong khi Sb, Cu, Ag có thể được sử dụng để pha tạp loại p.

2.2. Giải Pháp Pha Tạp Để Tối Ưu Tính Chất Điện Của ZnO

Pha tạp là giải pháp chính để cải thiện tính chất điện của ZnO. Việc lựa chọn nguyên tố pha tạp và nồng độ pha tạp phù hợp là rất quan trọng. Các nguyên tố pha tạp loại n như Al, Ga, Sn giúp tăng nồng độ electron, trong khi các nguyên tố pha tạp loại p như Sb, Cu, Ag giúp tăng nồng độ lỗ trống. Nồng độ pha tạp cần được tối ưu hóa để đạt được độ dẫn điện cao mà không làm giảm hệ số Seebeck. Theo [9],[10],[11], việc kiểm soát quá trình pha tạp là chìa khóa để đạt được hiệu suất nhiệt điện cao.

III. Phương Pháp Sol Gel Tổng Hợp Màng Nano ZnO 59 ký tự

Phương pháp sol-gel là một kỹ thuật hiệu quả để tổng hợp màng nano ZnO với chi phí thấp và khả năng kiểm soát thành phần tốt. Quá trình sol-gel bao gồm các giai đoạn thủy phân, ngưng tụ và tạo gel từ các tiền chất kim loại. Các yếu tố như dung môi, chất xúc tác, nhiệt độ và nồng độ tiền chất ảnh hưởng đến cấu trúc và tính chất của màng. Kỹ thuật nhúng phủ (dip-coating) hoặc quay phủ (spin-coating) thường được sử dụng để tạo màng từ dung dịch sol-gel. Sau khi tạo màng, quá trình nung ủ là cần thiết để loại bỏ các chất hữu cơ và kết tinh ZnO. Theo [14],[15],[16],[17], phương pháp sol-gel cho phép tạo ra màng nano ZnO với độ tinh khiết cao và cấu trúc đồng nhất.

3.1. Các Giai Đoạn Chính Trong Quy Trình Sol Gel

Quy trình sol-gel bao gồm các giai đoạn chính: thủy phân, ngưng tụ, tạo gel và nung ủ. Thủy phân là quá trình phân cắt các liên kết kim loại-alkoxide bằng nước. Ngưng tụ là quá trình tạo liên kết kim loại-oxy-kim loại, dẫn đến hình thành các hạt nano. Tạo gel là quá trình các hạt nano liên kết với nhau tạo thành mạng lưới ba chiều. Nung ủ là quá trình loại bỏ các chất hữu cơ và kết tinh ZnO.

3.2. Ảnh Hưởng Của Các Yếu Tố Đến Chất Lượng Màng ZnO

Nhiều yếu tố ảnh hưởng đến chất lượng màng nano ZnO được tổng hợp bằng phương pháp sol-gel. Dung môi ảnh hưởng đến độ hòa tan của tiền chất và tốc độ phản ứng. Chất xúc tác ảnh hưởng đến tốc độ thủy phân và ngưng tụ. Nhiệt độ ảnh hưởng đến tốc độ phản ứng và kích thước hạt. Nồng độ tiền chất ảnh hưởng đến độ dày màng. Quá trình nung ủ ảnh hưởng đến độ kết tinh và kích thước hạt. Theo [66], cơ chế hình thành hạt tinh thể ZnO trong dung dịch sol-gel rất phức tạp và phụ thuộc vào nhiều yếu tố.

IV. Nghiên Cứu Ảnh Hưởng Pha Tạp Đến Màng Nano ZnO 57 ký tự

Nghiên cứu này tập trung vào việc tổng hợp màng nano ZnO pha tạp với các nguyên tố Al, Ga, Sn (loại n) và Sb, Cu, Ag (loại p) bằng phương pháp sol-gel. Các mẫu màng được chế tạo với các nồng độ pha tạp khác nhau (1%, 2%, 3% mol) và được nung ủ ở nhiệt độ tối ưu. Các tính chất vật liệu cơ bản, bao gồm cấu trúc tinh thể, hình thái học bề mặt, thành phần hóa học và tính chất điện, được khảo sát bằng các phương pháp XRD, SEM, EDX và đo hiệu ứng Hall. Mục tiêu là tìm ra điều kiện pha tạp tối ưu để cải thiện hiệu suất nhiệt điện của màng nano ZnO. Luận án đã thực hiện các nghiên cứu có tính hệ thống về chế tạo màng nano ZnO pha tạp riêng rẽ 6 nguyên tố khác nhau Al, Ga, Sn, Sb, Cu, Ag.

4.1. Tổng Hợp Dung Dịch ZnO Pha Tạp Loại N Al Ga Sn

Dung dịch ZnO pha tạp loại n (Al, Ga, Sn) được tổng hợp bằng phương pháp sol-gel với các tiền chất kim loại tương ứng. Các yếu tố như dung môi, chất xúc tác và nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ để đảm bảo độ đồng nhất của dung dịch. Nồng độ pha tạp được điều chỉnh bằng cách thay đổi lượng tiền chất kim loại. Các mẫu dung dịch được đặc trưng bằng các phương pháp phân tích hóa học để xác định thành phần và nồng độ.

4.2. Tổng Hợp Dung Dịch ZnO Pha Tạp Loại P Sb Cu Ag

Dung dịch ZnO pha tạp loại p (Sb, Cu, Ag) được tổng hợp tương tự như dung dịch pha tạp loại n. Tuy nhiên, việc tạo ra nồng độ lỗ trống đủ lớn đòi hỏi việc kiểm soát chặt chẽ các điều kiện phản ứng và sử dụng các chất xúc tác phù hợp. Các mẫu dung dịch được đặc trưng bằng các phương pháp phân tích hóa học để xác định thành phần và nồng độ.

V. Kết Quả Thảo Luận Về Màng Nano ZnO Pha Tạp 59 ký tự

Kết quả nghiên cứu cho thấy rằng việc pha tạp có ảnh hưởng đáng kể đến cấu trúc và tính chất điện của màng nano ZnO. Pha tạp loại n (Al, Ga, Sn) giúp tăng độ dẫn điện và cải thiện hệ số Seebeck. Pha tạp loại p (Sb, Cu, Ag) giúp chuyển đổi bản chất vật liệu từ bán dẫn loại n sang loại p. Tuy nhiên, việc tối ưu hóa nồng độ pha tạp là rất quan trọng để đạt được hiệu suất nhiệt điện cao nhất. Các mẫu màng pha tạp loại n cho thấy tiềm năng ứng dụng trong các linh kiện nhiệt điện ở nhiệt độ cao. Đối với màng ZnO pha tạp loại n, việc pha tạp Al, Ga, Sn, tƣơng ứng với sự thay thế của các ion Al3+, Ga3+, Sn4+ vào trong cấu trúc giúp làm tăng nồng độ electron dẫn đến làm tăng độ dẫn điện nhƣng giúp giảm độ dẫn nhiệt, cải thiện hệ số Seebeck và hệ số công suất.

5.1. Ảnh Hưởng Của Pha Tạp Loại N Đến Tính Chất Điện

Pha tạp loại n (Al, Ga, Sn) giúp tăng nồng độ electron trong màng nano ZnO, dẫn đến tăng độ dẫn điện. Tuy nhiên, độ dẫn nhiệt cũng có thể tăng lên, làm giảm hiệu suất nhiệt điện. Việc tối ưu hóa nồng độ pha tạp là cần thiết để đạt được sự cân bằng giữa độ dẫn điện và độ dẫn nhiệt. Các mẫu màng pha tạp Al, Ga, Sn cho thấy tiềm năng ứng dụng trong các linh kiện nhiệt điện ở nhiệt độ cao.

5.2. Ảnh Hưởng Của Pha Tạp Loại P Đến Tính Chất Điện

Pha tạp loại p (Sb, Cu, Ag) giúp chuyển đổi bản chất vật liệu từ bán dẫn loại n sang loại p. Tuy nhiên, việc tạo ra nồng độ lỗ trống đủ lớn là một thách thức. Các mẫu màng pha tạp Sb, Cu, Ag cho thấy tính chất điện chấp nhận được cho ứng dụng nhiệt điện ở nhiệt độ cao. Đối với màng ZnO pha tạp loại p, việc pha tạp Sb, Cu, Ag vào trong cấu trúc, kết hợp tác động của xúc tác và dung môi giúp tạo ra nồng độ lỗ trống đủ lớn làm vai trò của hạt tải điện.

VI. Ứng Dụng Triển Vọng Màng Nano ZnO Nhiệt Điện 55 ký tự

Màng nano ZnO pha tạp có tiềm năng ứng dụng rộng rãi trong các linh kiện nhiệt điện, như cảm biến nhiệt, bộ thu hoạch năng lượng và thiết bị làm lạnh. Với chi phí thấp, tính ổn định và thân thiện với môi trường, màng nano ZnO là một vật liệu hứa hẹn cho các ứng dụng năng lượng tái tạo. Các nghiên cứu trong tương lai nên tập trung vào việc tối ưu hóa cấu trúc nano, cải thiện hệ số Seebeck và giảm độ dẫn nhiệt để nâng cao hiệu suất nhiệt điện. Việc phát triển các phương pháp chế tạo màng quy mô lớn cũng rất quan trọng để thương mại hóa vật liệu màng nano ZnO. Các mẫu màng chế tạo có tính chất điện chấp nhận đƣợc cho ứng dụng nhiệt điện ở nhiệt độ cao.

6.1. Ứng Dụng Của Màng Nano ZnO Trong Cảm Biến Nhiệt

Màng nano ZnO có thể được sử dụng để chế tạo các cảm biến nhiệt có độ nhạy cao và kích thước nhỏ. Hệ số Seebeck cao và độ dẫn điện tốt giúp cảm biến phản ứng nhanh chóng với sự thay đổi nhiệt độ. Các cảm biến nhiệt dựa trên màng nano ZnO có thể được ứng dụng trong nhiều lĩnh vực, như y tế, công nghiệp và môi trường.

6.2. Triển Vọng Phát Triển Vật Liệu Nhiệt Điện Hiệu Quả Cao

Nghiên cứu và phát triển vật liệu nhiệt điện hiệu quả cao là một lĩnh vực quan trọng trong bối cảnh năng lượng toàn cầu. Màng nano ZnO pha tạp là một ứng viên tiềm năng cho các ứng dụng năng lượng tái tạo. Các nghiên cứu trong tương lai nên tập trung vào việc tối ưu hóa cấu trúc nano, cải thiện hệ số Seebeck và giảm độ dẫn nhiệt để nâng cao hiệu suất nhiệt điện. Việc phát triển các phương pháp chế tạo màng quy mô lớn cũng rất quan trọng để thương mại hóa vật liệu màng nano ZnO.

Trích đoạn nội dung tài liệu

MỞ ĐẦU. Lí do chọn đề tài. Mục đích và nội dung nghiên cứu. Những đóng góp mới của luận án .3 CHƢƠNG 1: TỔNG QUAN.

CÁC HIỆU NG NHIỆT ĐIỆN VÀ ĐẶC TRƢNG CƠ BẢN. Hiệu ứng Seebeck. Hiệu ứng Peltier. Hiệu ứng Thomson.

Các đặc trƣng nhiệt điện của vật liệu. VẬT LIỆU NHIỆT ĐIỆN CẤU TRÚC NANO. Cấu trúc nano với hiệu suất chuyển đổi nhiệt điện. Màng mỏng nhiệt điện.

Cấu trúc tinh thể. Tính chất nhiệt và điện. ZnO pha tạp loại n. ZnO pha tạp loại p.

PHƢƠNG PHÁP SOL-GEL. Cơ sở khoa học và động học phản ứng sol-gel. Vai trò của hoá chất. Kỹ thuật tạo màng .25 CHƢƠNG 2: PHƢƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM.

TỔNG HỢP VẬT LIỆU VÀ CHẾ TẠO MÀNG. Hoá chất, thiết bị và dụng cụ. Tổng hợp dung dịch ZnO. Tổng hợp dung dịch ZnO pha tạp loại n.

Tổng hợp dung dịch ZnO pha tạp loại p. Chế tạo màng. CÁC PHÉP ĐO TÍNH CHẤT VẬT LIỆU. Phép đo phân tích nhiệt.

Phép đo xác định cấu trúc tinh thể. Ảnh hình thái học bề mặt và độ dày màng. Phép đo xác định thành phần hoá học. Phép đo tính chất điện ở nhiệt độ phòng.

Phép đo tính chất điện phụ thuộc nhiệt độ. Phép đo phổ phản xạ khuếch tán tử ngoại khả kiến .42 CHƢƠNG 3: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN. TỔNG HỢP DUNG DỊCH VÀ CHẾ TẠO MÀNG ZnO. Ảnh hƣởng của dung môi và chất phụ gia.

Ảnh hƣởng của nhiệt độ nung ủ. Ảnh hƣởng của nồng độ tiền chất Zn2+. Ảnh hƣởng của độ dày màng. MÀNG ZnO PHA TẠP LOẠI N.

Cấu trúc tinh thể. Thành phần hoá học. Hình thái học bề mặt và độ dày màng. Tính chất điện ở nhiệt độ phòng.

Độ dẫn điện phụ thuộc nhiệt độ. Hệ số Seebeck phụ thuộc nhiệt độ. Hệ số công suất phụ thuộc nhiệt độ. MÀNG ZnO PHA TẠP LOẠI P.

Cấu trúc tinh thể. Thành phần hoá học. Hình thái học bề mặt và độ dày màng. Tính chất điện ở nhiệt độ phòng.

Độ dẫn điện phụ thuộc nhiệt độ. Hệ số Seebeck phụ thuộc nhiệt độ. Hệ số công suất phụ thuộc nhiệt độ .88 DANH MỤC CÁC CÔNG BỐ KHOA HỌC.90 TÀI LIỆU THAM KHẢO .92 viii DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT Tiếng Anh Tiếng Việt AFM Atomic Force Microscope Kính hiển vi lực nguyên tử Lắng đọng tạo màng từng lớp ALD Atomic Layer Deposition nguyên tử Lắng đọng tạo màng từ pha hơi CVD Chemical Vapor Deposition theo phƣơng thức hoá học EDX Energy Dispersive X-ray Spectroscopy Phổ tán xạ năng lƣợng tia X MBE Molecular-Beam Epitaxy Epitaxy chùm phân tử PF Power Factor Hệ số công suất Lắng đọng tạo màng bằng năng PLD Pulsed Laser Deposition lƣợng xung laser Lắng đọng tạo màng từ pha hơi PVD Physical Vapor Deposition theo phƣơng thức vật lý SEM Scanning Electron Microscopy Hiển vi điện tử quét SThM Scanning Thermal Microscopy Hiển vi nhiệt quét TEM Transition Electron microscopy Hiển vi điện tử truyền qua TGA Themal Gravimetric Analysis Phân tích nhiệt trọng lƣợng TE ThermoElectrical Nhiệt điện TM Thermoelectric Module Mô-đun nhiệt điện XRD X-ray Diffraction Nhiễu xạ tia X ZT Figure of Merit Hệ số phẩm chất hiệu suất ix DANH MỤC KÝ HIỆU MẪU VẬT LIỆU STT Viết tắt là mẫu Ý nghĩa 1 ZnO:Al ZnO pha tạp Al 2 ZnO:Al1% ZnO pha tạp Al, % số mol nAl/(nAl+nZn) = 1% 3 ZnO:Al2% ZnO pha tạp Al, % số mol nAl/(nAl+nZn) = 2% 4 ZnO:Al3% ZnO pha tạp Al, % số mol nAl/(nAl+nZn) = 3% 5 ZnO:Ga ZnO pha tạp Ga 6 ZnO:Ga1% ZnO pha tạp Ga, % số mol nGa/(nGa+nZn) = 1% 7 ZnO:Ga2% ZnO pha tạp Ga, % số mol nGa/(nGa+nZn) = 2% 8 ZnO:Ga3% ZnO pha tạp Ga, % số mol nGa/(nGa+nZn) = 3% 9 ZnO:Sn ZnO pha tạp Sn 10 ZnO:Sn1% ZnO pha tạp Sn, % số mol nSn/(nSn+nZn) = 1% 11 ZnO:Sn2% ZnO pha tạp Sn, % số mol nSn/(nSn+nZn) = 2% 12 ZnO:Sn3% ZnO pha tạp Sn, % số mol nSn/(nSn+nZn) = 3% 13 ZnO:Sb ZnO pha tạp Sb 14 ZnO:Sb1% ZnO pha tạp Sb, % số mol nSb/(nSb+nZn) = 1% 15 ZnO:Sb2% ZnO pha tạp Sb, % số mol nSb/(nSb+nZn) = 2% 16 ZnO:Sb3% ZnO pha tạp Sb, % số mol nSb/(nSb+nZn) = 3% 17 ZnO:Cu ZnO pha tạp Cu 18 ZnO:Cu ZnO pha tạp Cu, % số mol nCu/(nCu+nZn) = 1% 19 ZnO:Cu ZnO pha tạp Cu, % số mol nCu/(nCu+nZn) = 2% 20 ZnO:Cu ZnO pha tạp Cu, % số mol nCu/(nCu+nZn) = 3% 21 ZnO:Ag ZnO pha tạp Ag 22 ZnO:Ag1% ZnO pha tạp Ag, % số mol nAg/(nAg+nZn) = 1% 23 ZnO:Ag2% ZnO pha tạp Ag, % số mol nAg/(nAg+nZn) = 2% 24 ZnO:Ag3% ZnO pha tạp Ag, % số mol nAg/(nAg+nZn) = 3% x DANH MỤC BẢNG Bảng 1. Tính chất điện của vật liệu ZnO loại p pha tạp Sb, Cu hoặc Ag đƣợc phát triển bởi các phƣơng pháp khác nhau.

Hóa chất sử dụng cho quá trình nghiên cứu. Dụng cụ và thiết bị sử dụng cho quá trình nghiên cứu. Lƣợng muối sử dụng cho tổng hợp dung dịch ZnO pha tạp loại n. Lƣợng muối sử dụng cho tổng hợp dung dịch ZnO pha tạp loại p.

Kích thƣớc tinh thể trung bình trong các mẫu màng ZnO pha tạp Al, Ga, Sn tính theo công thức Debye - Scherrer dựa vào đỉnh nhiễu xạ (002). Khoảng cách giữa các họ mặt tinh thể và hằng số mạng các mẫu màng ZnO pha tạp Al, Ga, Sn. Kết quả phép đo phổ EDX mẫu màng ZnO và ZnO pha tạp loại n. Kết quả phép đo hiệu ứng Hall của các mẫu màng ZnO pha tạp loại n.

Giá trị độ dẫn điện thấp nhất và cao nhất của màng ZnO pha tạp loại n trong khoảng nhiệt độ 300 – 673K. Giá trị hệ số Seebeck thấp nhất và cao nhất của màng ZnO pha tạp loại n trong khoảng nhiệt độ 300 – 673K. Kích thƣớc tinh thể trung bình các mẫu màng ZnO pha tạp Sb, Cu, Ag tính theo công thức Debye - Scherrer dựa vào đỉnh nhiễu xạ (002). Khoảng cách mặt tinh thể và hằng số mạng các mẫu màng ZnO pha tạp Sb, Cu, Ag.

Kết quả phép đo phổ EDX mẫu màng ZnO và ZnO pha tạp loại p. Kết quả phép đo hiệu ứng Hall của các mẫu màng ZnO pha tạp loại p. Giá trị độ dẫn điện thấp nhất và cao nhất của màng ZnO pha tạp loại p trong khoảng nhiệt độ 300 – 673K. Giá trị hệ số Seebeck thấp nhất và cao nhất của màng ZnO pha tạp loại p trong khoảng nhiệt độ 300 – 673K.

So sánh hệ số công suất của vật liệu ZnO và ZnO pha tạp đƣợc trình bày trong luận án với một số nghiên cứu khác.86 xi DANH MỤC HÌNH VẼ VÀ ĐỒ THỊ Hình 1. Hiệu ứng Seebeck thông qua cấu trúc hai kim loại tiếp xúc với nhau [26]. Hiệu ứng Seebeck đối với một vật liệu. Chênh lệch nhiệt độ tại các điểm tiếp xúc giữa hai vật liệu khác nhau khi đƣợc nuôi bởi một nguồn điện.

Hiệu ứng Thomson cho vật liệu hấp thụ nhiệt. Xu hƣớng công bố khoa học về vật liệu nhiệt điện và vật liệu nhiệt điện cấu trúc nano [30],[31]. Một số loại sai hỏng trong cấu trúc mạng tinh thể.7: Sơ đồ minh họa các cơ chế tán xạ phonon khác nhau trong vật liệu nhiệt điện, cùng với sự vận chuyển của các electron nóng và lạnh [40]. Ảnh hƣởng của kích thƣớc hạt và nhiệt độ đến độ dẫn nhiệt của vật liệu khối SrTiO3 [35].

Cấu trúc tinh thể ZnO: (a) - rocksalt, (b) - blende và (c) - hexagonal wurtzite [45]. Cấu trúc tinh thể oxide ZnO với các sai hỏng điểm kiểu vị trí trống oxy VO+ (a), vị trí trống oxy VO2+ (b), Zni2+ điền kẽ (c) và ZnO2+ phản vị trí (d) [46]. Ảnh hƣởng của kích thƣớc hạt, nhiệt độ đến độ dẫn nhiệt và giá trị ZT của vật liệu ZnO [48]. Ảnh hƣởng của một số tạp chất khác nhau đến sự thay đổi tính chất điện của ZnO [8].

Mô hình minh hoạ quá trình thủy phân. Mô hình minh hoạ quá trình ngƣng tụ. Cơ chế hình thành hạt tinh thể ZnO trong dung dịch [66]. Hai cơ chế phát triển hạt tinh thể ZnO trong dung dịch.

Các giai đoạn chế tạo màng bằng phƣơng pháp sol-gel sử dụng kỹ thuật quay phủ và nhúng phủ [75]. Mô-đun nhiệt điện hoạt động dựa trên hiệu ứng Seebeck (a), Peltier (b) và mô-đun nhiệt điện cấu tạo từ vật liệu khối (c) và màng mỏng (d) [80]. Thiết bị RTG chuyển đổi nhiệt, sinh ra từ quá trình phân rã hạt nhân 238 Pu, thành điện trên tàu thám hiểm không gian Apolo [1]. Mô-đun nhiệt điện tận dụng nhiệt dƣ tại ống xả tạo ra điện bổ sung, sau đó đƣợc lƣu trữ trong ắc quy của ô tô [82].

Mô-đun nhiệt điện khai thác điện năng sử dụng cho đồng hồ từ sự chênh lệch nhiệt độ giữa cánh tay và môi trƣờng [83]. Thiết bị Fontus để ngƣng tụ hơi nƣớc có trong không khí ẩm, hoạt động trên nguyên lý của hiệu ứng Peltier [84]. Mô hình hệ tổng hợp dung dịch ZnO pha tạp bằng phƣơng pháp sol-gel. Quy trình tổng hợp dung dịch ZnO.

Quy trình tổng hợp dung dịch ZnO pha tạp loại n: (a) - ZnO:Al, (b) - ZnO:Ga, (c) - ZnO:Sn. Ảnh một số mẫu dung dịch ZnO pha tạp loại n tổng hợp bằng phƣơng pháp sol-gel. Quy trình tổng hợp dung dịch ZnO pha tạp loại p: (a) - ZnO:Sb, (b) - ZnO:Cu, (c) - ZnO:Ag. Ảnh một số mẫu dung dịch ZnO pha tạp loại p tổng hợp bằng phƣơng pháp sol-gel.

Quy trình và hình ảnh thiết bị chế tạo tạo màng. Ảnh một số mẫu màng sau khi nung ủ ở 550oC trong 4 giờ. Thiết bị đo hiệu ứng Hall Lakeshore 760. Đo điện trở vuông của mẫu màng bằng phƣơng pháp 4 mũi dò.

Đo điện trở của mẫu màng bằng phƣơng pháp 2 mũi dò. Hệ đo tính chất điện phụ thuộc nhiệt độ (a) và mẫu màng đo có hai chip tích hợp bộ gia nhiệt và cảm biến RTD Pt-100 (b). Giản đồ phân tích nhiệt TGA mẫu gel sấy khô từ dung dịch ZnO và ZnO pha tạp 2% Al, Ga, Sn, Sb, Cu, Ag. Phổ XRD của mẫu màng ZnO 6 lớp nhúng phủ đƣợc nung ủ tại các nhiệt độ khác nhau.

Ảnh SEM bề mặt mẫu màng ZnO 6 lớp nhúng phủ đƣợc nung tại các nhiệt độ khác nhau. Phổ XRD của mẫu màng ZnO sử dụng nồng độ Zn2+ khác nhau. Hình thái học mẫu màng ZnO với nồng độ Zn2+ sử dụng khác nhau. Ảnh SEM mặt cắt ngang mẫu màng ZnO sử dụng nồng độ Zn2+ khác nhau.

Ảnh SEM mặt cắt ngang mẫu màng ZnO với số lớp nhúng phủ khác. Ảnh SEM bề mặt mẫu màng ZnO với số lớp nhúng phủ khác nhau. Phổ XRD của mẫu màng ZnO với số lớp nhúng phủ khác nhau.