Luận văn thạc sĩ: Nghiên cứu chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý cảm biến tụ điện đồng ...

2014

53
0
0

Phí lưu trữ

30 Point

Mục lục chi tiết

LỜI CAM ĐOAN

LỜI CẢM ƠN

1. CHƯƠNG 1: GIỚI THIỆU CHUNG

1.1. Giới thiệu công nghệ chế tạo Opto MicroFluidic Sensor

1.2. Một số cấu trúc đã phát triển

1.3. Cấu trúc đề xuất

1.4. Tổ chức luận văn

2. CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG

2.1. Các hiện tượng vật lý của cảm biến điện dung

2.2. Nguyên lý của cảm biến chất lỏng điện dung kiểu ɛ

2.3. Cảm biến tụ kép vi sai

3. THIẾT KẾ CHẾ TẠO CẢM BIẾN DÒNG CHẢY DỰA TRÊN NGUYÊN LÝ TỤ ĐIỆN ĐỒNG PHẲNG KIỂU RĂNG LƯỢC

3.1. Giới thiệu chung

3.2. Thiết kế tụ điện đồng phẳng kiểu răng lược

3.3. Phác họa thiết kế

3.4. Chọn linh kiện, tiến hành chế tạo

3.5. Thiết kế kênh dẫn

3.6. Thiết kế mạch điện tử

4. THỬ NGHIỆM VÀ ĐÁNH GIÁ HOẠT ĐỘNG CẢM BIẾN

4.1. Thiết lập mạch đo

4.2. Kết quả, đánh giá và thảo luận

4.3. Tính toán vận tốc dòng chảy

4.4. Định hướng, ứng dụng của cảm biến vào công nghệ lọc dầu

KẾT LUẬN VÀ HƯỚNG PHÁT TRIỂN CỦA LUẬN VĂN

TÀI LIỆU THAM KHẢO

Luận văn thạc sĩ vnu uet nghiên cứu chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý cảm biến tụ điện đồng phẳng