Luận Văn Thạc Sĩ: Ứng Dụng Công Nghệ Micro-Nano Chế Tạo Tổ Hợp Cảm Biến Từ

2013

54
2
0

Phí lưu trữ

30 Point

Mục lục chi tiết

LỜI CẢM ƠN

LỜI CAM ĐOAN

1. CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN

1.1. Các loại cảm biến đo từ trường phổ biến

1.1.1. Cảm biến flux - gate

1.1.2. Cảm biến dựa trên hiệu ứng Hall

1.1.3. Cảm biến dựa trên hiệu ứng từ - điện

1.2. Nhiễu cảm biến

1.3. Cảm biến đo từ trường bằng hiệu ứng từ điện trở dị hướng (AMR)

1.3.1. Hiệu ứng từ điện trở dị hướng

1.3.2. Mạch cầu điện trở Wheatstone

2. CHƯƠNG 2: PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM

2.1. Phương pháp chế tạo cảm biến

2.1.1. Xử lý bề mặt mẫu

2.1.2. Chế tạo mặt nạ và hốc chứa cảm biến

2.1.3. Phún xạ tạo màng

2.2. Các phương pháp khảo sát tính chất của cảm biến

2.2.1. Khảo sát tính chất từ của cảm biến

2.2.2. Khảo sát tính chất từ điện trở của cảm biến

2.2.3. Hệ khảo sát đáp ứng góc của cảm biến từ trường

3. CHƯƠNG 3: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN

3.1. Cảm biến dạng mạch cầu Wheatstone

3.2. Khảo sát ảnh hưởng kích thước đơn thanh trong mạch cầu Wheatstone lên tính chất của cảm biến

3.2.1. Tính chất từ của cảm biến 1×5 mm và cảm biến 1×3 mm

3.2.2. Khảo sát tính chất từ điện trở của cảm biến 1×5 mm và cảm biến 1×3 mm

3.2.3. Khảo sát ảnh hưởng của chiều dày màng NiFe lên tính chất của cảm biến 1×5 mm

3.2.3.1. Khảo sát tính chất từ của hệ cảm biến 1×5 mm
3.2.3.2. Khảo sát ảnh hưởng chiều dày màng NiFe lên tính chất từ điện của cảm biến 1×5 mm

3.3. Khảo sát tính chất từ của cảm biến 3 thanh điện trở

3.3.1. So sánh tính chất của cảm biến 3 thanh và cảm biến đơn thanh

3.3.2. Khảo sát tính chất từ của cảm biến 3 thanh và cảm biến 1×5 mm

3.3.3. Khảo sát tính chất từ - điện trở của cảm biến 3 thanh và cảm biến 1×5 mm

3.3.4. Khảo sát bề dày màng NiFe tới tính chất của cảm biến 3 thanh

3.4. Khảo sát đáp ứng góc của cảm biến dạng mạch cầu Wheatstone dựa trên hiệu ứng AMR với từ trường trái đất

3.4.1. Khảo sát từ trường làm việc của cảm biến

3.4.2. Sự phụ thuộc tín hiệu cảm biến vào định hướng của từ trường trái đất

DANH MỤC CÔNG TRÌNH KHOA HỌC CỦA TÁC GIẢ LIÊN QUAN ĐẾN LUẬN VĂN

TÀI LIỆU THAM KHẢO