Luận Văn Thạc Sĩ: Thiết Kế Cảm Biến Dòng Chảy Dựa Trên Nguyên Lý Tụ Và Áp Trở

2013

54
0
0

Phí lưu trữ

30 Point

Mục lục chi tiết

MỞ ĐẦU

1. CHƯƠNG 1: GIỚI THIỆU CHUNG

1.1. Giới thiệu chung về vi lỏng và ứng dụng

1.2. Tổng quan về cấu trúc đề xuất

1.2.1. Cảm biến áp điện trở

1.2.2. Cảm biến kiểu tụ điện

1.3. Tổ chức của luận văn

2. CHƯƠNG 2: CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG

2.1. Khái niệm về điện dung

2.2. Cấu trúc của cảm biến điện dung

2.3. Nguyên tắc hoạt động của một cảm biến điện dung. Mạch điện đo điện dung

3. CHƯƠNG 3: CẢM BIẾN ÁP ĐIỆN TRỞ

3.1. Giới thiệu chung về áp điện trở

3.2. Ứng dụng của hiệu ứng áp điện trở trong MEMS

3.3. Thiết kế cảm biến áp điện trở giám sát vòi phun

3.3.1. Giới thiệu chung

3.3.2. Thiết kế cảm biến áp điện trở cho vòi phun

4. CHƯƠNG 4: HỆ THỐNG CẢM BIẾN DÒNG CHẢY DỰA TRÊN NGUYÊN LÝ KIỂU TỤ

4.1. Mô hình điện của cảm biến điện dung thiết kế. Hệ thống đo lường lock-in cho cảm biến kiểu tụ

4.2. Cấu trúc ASIC đề xuất cho mạch đầu ra cảm biến

4.3. Thiết kế cảm biến kiểu tụ trong MEMS

4.4. Các thông số chế tạo

4.5. Đánh giá cảm biến kiểu tụ điện thiết kế với đầu vòi phun máy in

4.6. Thiết kế cảm biến điện dung cho các ứng dụng có kích thước lớn hơn

4.7. Thiết kế mạch điện đầu ra cho cảm biến

4.8. Tạo các điện cực cho cảm biến. Thử nghiệm đánh giá cảm biến dòng chảy kiểu tụ thiết kế

KẾT LUẬN VÀ HƯỚNG PHÁT TRIỂN

TÀI LIỆU THAM KHẢO