Ứng dụng MEMS trong cảm biến

Luận văn thạc sĩ vnu uet thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở

Luận văn thạc sĩ VNU UET trình bày thiết kế và chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý tụ và áp trở, ứng dụng trong công nghiệp.