BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƢỜNG ĐẠI HỌC QUY NHƠN NGUYỄN ĐỖ THANH HƢNG NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ TÍNH CHẤT NHẠY HƠI VOCs CỦA VẬT LIỆU LAI HÓA CẤU TRÚC NANO ZnO VÀ ỐNG NANO CARBON Chuyên ngành: Vật lý chất rắn Mã số: 8440104 Ngƣời hƣớng dẫn: 1. NGUYỄN MINH VƢƠNG e i LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan tất cả các kết quả trình bày trong luận văn này là công trình nghiên cứu của riêng tôi dƣới sự hƣớng dẫn tận tình của thầy PGS. Nguyễn Minh Vƣơng và thầy TS. Các số liệu, kết quả nêu trong luận văn là hoàn toàn trung thực và chƣa từng xuất hiện trong công bố của các tác giả khác.
Tác giả luận văn Nguyễn Đỗ Thanh Hƣng e ii LỜI CẢM ƠN Để hoàn thành luận văn này, đầu tiên tôi chân thành cảm ơn đến các thầy PGS. Nguyễn Minh Vƣơng và TS. Đỗ Đăng Trung đã tận tình hƣớng dẫn, truyền đạt các kiến thức cũng nhƣ kinh nghiệm làm thực nghiệm để tôi có thể hoàn thành đƣợc luận văn. Trong suốt thời gian học tập và thực hiện luận văn, tôi xin gửi lời cảm ơn chân thành đến các cán bộ, giảng viên của Bộ môn Vật lý - Khoa học vật liệu, Khoa Khoa học Tự nhiên, Trƣờng Đại học Quy Nhơn, những ngƣời đã tạo điều kiện tốt nhất để tôi hoàn thành luận văn này.
Xin đƣợc gửi lời cảm ơn tới các bạn học viên trong nhóm làm luận văn dƣới sự hƣớng dẫn của thầy PGS. Nguyễn Minh Vƣơngvà thầy TS. Đỗ Đăng Trung và các bạn học viên cao học của lớp Vật lý chất rắn làm việc tại Phòng thí nghiệm Vật lý chất rắn bộ môn Vật lý - Khoa học vật liệu - Trƣờng Đại học Quy Nhơn đã tận tình giúp đỡ và tạo điều kiện để tôi hoàn thành luận văn này. Cuối cùng, tôi xin cảm ơn gia đình, ngƣời thân và bạn bè, những ngƣời luôn yêu thƣơng, chia sẻ và giúp đỡ tôi trong quá trình hoàn thành luận văn.
Rất mong đƣợc sự góp ý, chỉ bảo của quý thầy cô, anh chị và bạn bè để luận văn đƣợc hoàn thiện tốt hơn. Xin chúc quý thầy cô, gia đình và bạn bè sức khỏe, hạnh phúc và thành đạt. e iii MỤC LỤC LỜI CAM ĐOAN. ii DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT.
vi DANH MỤC HÌNH VẼ. vii DANH MỤC CÁC BẢNG. 1 CHƢƠNG 1: TỔNG QUAN. Giới thiệu về cảm biến khí.
Khái niệm về cảm biến khí. Các đặc trƣng cơ bản của cảm biến khí. Cấu tạo cơ bản của cảm biến khí dạng trở hóa. Vật liệu ZnO.
Cấu trúc tinh thể của vật liệu ZnO. Các tính chất lý hóa của vật liệu ZnO. Cơ chế nhạy khí của ZnO. Vật liệu CNTs.
Cấu trúc và hình thái của vật liệu CNT. Các tính chất của vật liệu CNTs. Các lại cảm biến dùng CNTs. Vật liệu lai hóa ZnO/CNTs.
Điều chế vật liệu nano ZnO/CNT dựa trên phƣơng pháp dung dịch. Chức năng hóa CNT. Cơ chế nhạy khí của vật liệu ZnO/CNT. Tính chất nhạy khí của vật liệu ZnO/CNT.
27 CHƢƠNG 2: THỰC NGHIỂM CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT MẪU. Thực nghiệm chế tạo mẫu. Chế tạo mẫu. Các phƣơng pháp khảo sát mẫu.
Phép đo nhiễu xạ tia X. Chụp ảnh hiển vi điện tử quét. Phƣơng pháp quang phổ tia X phân tán năng lƣợng. Phƣơng pháp phổ phản xạ khuếch tán tử ngoại – khả kiến.
Phép đo tính chất điện và tính chất nhạy hơi VOCs. 36 CHƢƠNG III: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN. Tính chất hình thái và cấu trúc. Kết quả đo XRD.
Kết quả đo SEM. Kết quả đo EDX. Tính chất quang. Tính chất điện.
Tnh chất nhạy hơi VOCs. Ảnh hƣởng của lớp đệm và quá trình chức năng hóa CNT. Tính chất nhạy hơi toluene của cảm biến ZnO/FCNT/ZnO. Tính chất nhạy đối với một số loại hợp chất dễ bay hơi khác nhau66 e v KẾT LUẬN.
68 TÀI LIỆU THAM KHẢO. 70 QUYẾT ĐỊNH GIAO ĐỀ TÀI LUẬN VĂN THẠC SĨ (Bản sao) e vi DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT Chữ viết tắt Tên đầy đủ Nghĩa tiếng Việt SMOs Semiconductor metal oxides Ô xít kim loại bán dẫn XRD X-ray Difraction Nhiễu xạ tia X SEM Scanning Electron Microscope Kính hiển vi điện tử quét PL Photoluminescence Huỳnh quang UV-Vis Ultraviolet-Visible Tử ngoại – khả kiến VOCs Volatile Organic Compounds Hợp chất hữu cơ dễ bay hơi UV-Vis-DRS UV-Visible Diffuse Phổ phản xạ khuếch tán UV- Reflectance Spectroscopy Vis e vii DANH MỤC HÌNH VẼ Hình 1. Cấu tạo cơ bản của thiết bị cảm biến. Cấu trúc lục giác wurtzite của ZnO [8].
Cấu trúc lập phƣơng giả kẽm kiểu sphalerite [1]. Cấu trúc lập phƣơng đơn giản kiểu NaCl [1]. Sơ đồ mô tả cách một tấm graphene lục giác đƣợc 'cuộn' để tạo thành CNT [4]. Mô hình giản đồ của (a) một ống nano armchair, (b) một ống nano zig-zag, và (c) một ống nano chiral [4].
Quy trình chế tạo các loại cảm biến. Sơ đồ mô phỏng hệ đo tính chất điện và tính chất nhạy khí. Phổ XRD của lớp đệm ZnO trên đế thủy tinh (a), ZnO/FCNT (b) và của các cấu trúc ZnO/FCNT/ZnO-0,25M (c), ZnO/FCNT/ZnO-0,5M (d), ZnO/FCNT/ZnO-1M (e), ZnO/FCNT/ZnO-1,5M (f) oxy hóa nhiệt ở 350 C. Các đỉnh nhiễu xạ của vật liệu ZnO theo thẻ chuẩn JCPDS: 36-1451 cũng đƣợc hiển thị để so sánh.
Phổ XRD của cấu trúc ZnO/FCNT/ZnO-1,5M oxy hóa ở nhiệt độ 350 C trong 1 giờ và 400C trong 30 phút. Ảnh SEM của cấu trúc lớp đệm ZnO trên đế Al2O3 (a và b), CNT thƣơng mại (c và d) và ZnO/FCNT (e và f) ở các độ phóng đại khác nhau. Ảnh chèn trong (a) là ảnh SEM của đế cảm biến Al2O3. Ảnh SEM của các cấu trúc ZnO/FCNT/ZnO-0,25M (a và b), ZnO/FCNT/ZnO-0,5M (c và d), ZnO/FCNT/ZnO-1M (e và f), và e viii ZnO/FCNT/ZnO-1,5M (g và h) oxy hóa ở nhiệt độ 350 C trong 1 giờ ở các độ phóng đại 20k (trái) và 80k (phải).
Ảnh SEM của cấu trúc ZnO/FCNT/ZnO-1,5M oxy hóa ở nhiệt độ 400 C trong 30 phút ở độ phóng đại 20k (a) và 80k (b). Giản đồ EDX của cấu trúc CNT thƣơng mại (a), lớp đệm ZnO trên đế Al2O3 (b) và ZnO/FCNT (c). Giản đồ EDX của các cấu trúc ZnO/FCNT/ZnO-0,25M (a), ZnO/FCNT/ZnO-0,5M (b), ZnO/FCNT/ZnO-1,5M (c) oxy hóa ở 350 C và ZnO/FCNT/ZnO-1,5M (d) oxy hóa ở nhiệt độ 400 C. (a) Phổ phản xạ khuếch tán của các mẫu ZnO (lớp đệm), ZnO/FCNT/ZnO-0,5M (350 C), ZnO/FCNT/ZnO-1M (350 C), ZnO/FCNT/ZnO-0,5M (400 C) và ZnO/FCNT/ZnO-1M (400 C) và (b- f) Đồ thị mô tả sự phụ thuộc của [F(R)*h]2 theo năng lƣợng photon [h] tƣơng ứng của các mẫu.
Sự phụ thuộc điện trở của cảm biến vào nhiệt độ của các mẫu ZnO/CNT (a), FCNT (b) và ZnO/FCNT(c). Sự phụ thuộc điện trở của cảm biến vào nhiệt độ của các mẫu ZnO/FCNT/ZnO-0,25M (a), ZnO/FCNT/ZnO-0,5M (b), ZnO/FCNT/ZnO-1M (c), ZnO/FCNT/ZnO-1,5M (d). Các mẫu đƣợc oxy hóa nhiệt tại 350 C trong 1 giờ. Sự phụ thuộc điện trở của cảm biến vào nhiệt độ của các mẫu ZnO/FCNT/ZnO-0,5M (a), ZnO/FCNT/ZnO-1M (b).
Các mẫu đƣợc oxy hóa nhiệt tại 400C trong 30 phút. Tính chất IV và tính chất hồi đáp đối với 1400 ppm toluene của các cảm biến dựa trên vật liệu ZnO/CNT (a và b), FCNT (c và d) và ZnO/FCNT (e và f) tại nhiệt độ 30C. Tính chất hồi đáp đối với 1400 ppm toluene của các cảm biến ZnO/FCNT (a) ZnO/FCNT/ZnO-0,25M (b), ZnO/FCNT/ZnO-0,5M (c) và ZnO/FCNT/ZnO-1M (d) oxy hóa nhiệt ở nhiệt độ 350 C tại các nhiệt độ làm việc khác nhau 30, 50, 100 và 150 C. Tính toán độ hồi đáp của các cảm biến đo đạc ở Hình 3.
Tính chất IV(chèn) và tính chất hồi đáp 1400 ppm toluene tại nhiệt độ phòng 30 C của các cảm biến ZnO/FCNT/ZnO-0,5M và 1M (a và b) oxy hóa nhiệt ở nhiệt độ 350 C và ZnO/FCNT/ZnO-0,5M và 1M (c và d) oxy hóa nhiệt ở nhiệt độ 400C. Tính toán độ hồi đáp của các cảm biến đo đạc ở Hình 3. (a) Tính chất nhạy hơi toluene (1400ppm) của cảm biến ZnO/FCNT/ZnO-1,5M (oxy hóa nhiệt ở 350 C) và (b) sự phụ thuộc độ hồi đáp toluene của cảm biến ZnO/FCNT/ZnO vào nồng độ tiền chất Zn(NO3)2 khác nhau tại nhiệt độ làm việc của cảm biến 30 C. Tính chất nhạy của cảm biến ZnO/FCNT/ZnO-1,5M đối với các hơi ethanol (a), methanol (b), 2-propanol (c) và acetone (d) với cùng nồng độ 1400 ppm.
Độ hồi đáp của cảm biến ZnO/FCNT/ZnO-1,5M đối với các hơi ethanol (a), methanol (b), 2-propanol (c) và acetone (d) với cùng nồng độ 1400 ppm đƣợc tính toán từ Hình 3. 67 e x DANH MỤC CÁC BẢNG Bảng 1. Bảng phân loại tính chất điện của CNTs. Tên các mẫu vật liệu cảm biến đã chế tạo.
Thành phần phần trăm nguyên tử của các nguyên tố trong mẫu CNT thƣơng mại, lớp đệm ZnO và cấu trúc ZnO/FCNT trên đế Al2O3 ………. Thành phần phần trăm nguyên tử của các nguyên tố trong các mẫu ZnO/FCNT/ZnO-0,25M, ZnO/FCNT/ZnO-0,5M, ZnO/FCNT/ZnO-1,5M oxy hóa ở 350 C và ZnO/FCNT/ZnO-1,5M oxy hóa ở nhiệt độ 400 C trên đế Al2O3. Lý do chọn đề tài Trong đời sống hiện nay, vấn đề ô nhiễm môi trƣờng ngày càng trở nên nóng bỏng, đặc biệt là ô nhiễm không khí. Con ngƣời đang hít thở một bầu không khí có nhiều chất độc hại, trong đó có các hợp chất hữu cơ nguy hiểm.
VOCs là nhóm các chất hữu cơ dễ bay hơi, nhƣ acetone (C3H6OH), methanol(CH3OH), ethanol (C2H5OH), tolulene (C7H8), isopropanol(C3H8O)…Chúng tồn tại phổ biến xung quanh chúng ta, song không phải lúc nào ta cũng nhận biết đƣợc chúng.Các chất hữu cơ trong nhóm này có khả năng ảnh hƣởng đến sức khỏe con ngƣời cũng nhƣ ảnh hƣởng đến môi trƣờng xung quanh.Nếu tiếp xúc thƣờng xuyên với nồng độ cao trong thời gian ngắn có khả năng đau đầu, buồn nôn; trong thời gian dài có khả năng gây ung thƣ. Các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi trong môi trƣờng không gây ra hiện tƣợng ―sƣơng mù quang hóa‖, trái đất càng nóng lên, thủng tầng Ozon[2]. Vì vậy, để bảo vệ sức khỏe con ngƣời và môi trƣờng thì việc phát hiện nhanh nồng độ nhỏ các chất này để điều khiển các nguồn phát xạ chúng là rất quan trọng. Hiện nay, công nghệ cảm biến khí đang đƣợc nghiên cứu và ứng dụng trong thực tế ngày càng rộng rãi, đóng vai trò quan trọng trong việc phát hiện và xử lý kịp thời vấn đề ô nhiễm môi trƣờng.
Có nhiều loại cảm biến khí, trong đó cảm biến khí dạng trở hóa dựa trên các vật liệu bán dẫn bán dẫn oxit kim loại (SMOs) và các bán dẫn không thuộc oxit kim loại nhƣ ống nano carbon (CNTs), graphene,…. Mỗi loại cảm biến trên đều có những ƣu điểm và nhƣợc điểm nhất định.