Luận án tiến sĩ nghiên cứu chế tạo và đặc trưng tính chất của màng phủ nitrua trên nền hợp kim cứng wc co bằng phương pháp phún xạ magnetron

Luận án tiến sĩ nghiên cứu nghiên cứu chế tạo và đặc trưng tính chất của màng phủ nitrua trên nền hợp kim cứng wc co bằng, phát triển phương pháp mới, đánh giá hiệu quả ứng dụng

Chuyên ngành

Khoa học vật liệu

Người đăng

Ẩn danh

Thể loại

luận án tiến sĩ

2019

133
1
0

Phí lưu trữ

35 Point

Mục lục chi tiết

LỜI CẢM ƠN

LỜI CAM ĐOAN

1. MỞ ĐẦU

1.1. Lịch sử phát triển màng phủ và phân loại

1.2. Khái niệm và lịch sử phát triển

1.3. Phân loại màng phủ

1.4. Tình hình nghiên cứu màng phủ nitrit trên thế giới

1.5. Cấu trúc màng phủ nitrua

1.5.1. Cấu trúc màng TiN và AlN

1.5.2. Cấu trúc màng TiAlN

1.5.3. Cấu trúc màng CrlN

1.6. Các phương pháp chế tạo màng phủ nitrua

1.6.1. Phương pháp lắng đọng pha hơi hóa học (CVD)

1.6.2. Phương pháp lắng đọng vật lý pha hơi (PVD)

1.6.2.1. Phương pháp bốc bay chân không
1.6.2.2. Phương pháp phún xạ

1.7. Sự hình thành màng phủ bằng phương pháp phún xạ

1.7.1. Phún xạ vật liệu

1.7.2. Sự chuyển động của các hạt phún xạ

1.7.3. Lắng đọng trên bề mặt

1.7.3.1. Sự tạo mầm
1.7.3.2. Sự phát triển mầm

1.8. Vai trò của năng lượng trong việc hình thành cấu trúc nano

1.9. Ứng dụng màng phủ nitrua và tình hình nghiên cứu tại Việt Nam

2. CHUẨN BỊ MẪU VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU

2.1. Phương pháp chế tạo màng nitrua

2.1.1. Chế tạo bia phún xạ

2.1.2. Chế tạo màng phủ nitrua

2.1.2.1. Chuẩn bị bề mặt mẫu
2.1.2.2. Chế tạo màng đơn lớp TiAlXN (X: Si, B, V)
2.1.2.3. Chế tạo màng đa lớp TiAlSiN/CrN và TiAlBN/CrN
2.1.2.4. Thiết bị phún xạ magnetron

2.2. Phương pháp và thiết bị đặc trưng tính chất của màng phủ

2.2.1. Thiết bị đo độ cứng nano-indenter

2.2.2. Thiết bị đo độ mấp mô bề mặt và chiều dày màng phủ

2.2.3. Thiết bị đo hệ số ma sát, mài mòn

2.2.4. Thiết bị xác định độ bền bám dính

2.2.5. Các thiết bị khác

3. CHẾ TẠO MÀNG PHỦ CỨNG ĐƠN LỚP TiAlXN (X:Si,B,V)

3.1. Tối ưu hóa các thông số cơ bản của quá trình phún xạ

3.1.1. Ảnh hưởng của công suất phún xạ đến độ cứng của màng TiAlXN

3.1.2. Ảnh hưởng của áp suất phún xạ đến độ cứng của màng TiAlXN

3.1.3. Ảnh hưởng của khoảng cách giữa bia và đế đến độ cứng của màng TiAlXN

3.2. Chế tạo các màng đơn lớp TiAlSiN, TiAlBN và TiAlVN

3.2.1. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến cấu trúc và thành phần hóa học của màng TiAlSiN

3.2.2. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến độ cứng của màng TiAlSiN

3.2.3. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến hệ số ma sát và mài mòn

3.2.4. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến độ bền bám dính của màng

3.2.5. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến cấu trúc và thành phần hóa học của màng TiAlBN

3.2.6. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến độ cứng của màng TiAlBN

3.2.7. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến hệ số ma sát và mài mòn

3.2.8. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến độ bền bám dính của màng

3.2.9. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến cấu trúc và thành phần hóa học của màng TiAlVN

3.2.10. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến độ cứng của màng TiAlVN

3.2.11. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến hệ số ma sát và mài mòn

3.2.12. Ảnh hưởng của lưu lượng khí N2 đến độ bền bám dính của màng

3.2.13. So sánh cơ tính của các màng chế tạo TiAlSiN, TiAlBN và TiAlVN

4. CHẾ TẠO MÀNG PHỦ NITRUA ĐA LỚP TiAlX(Si,B)/CrN

4.1. Màng đa lớp TiAlSiN/CrN

4.1.1. Cấu trúc của màng đa lớp TiAlSiN/CrN

4.1.1.1. Cấu trúc pha
4.1.1.2. Cấu trúc tế vi

4.1.2. Độ cứng và modul đàn hồi của màng đa lớp TiAlSiN/CrN

4.1.2.1. Ảnh hưởng chiều dày cặp lớp màng
4.1.2.2. Ảnh hưởng của số lớp màng
4.1.2.3. Hệ số ma sát của màng đa lớp TiAlSiN/CrN
4.1.2.4. Độ bền bám dính của màng đa lớp TiAlSiN/CrN

4.2. Màng đa lớp TiAlBN/CrN

4.2.1. Cấu trúc của màng đa lớp TiAlSiN/CrN

4.2.1.1. Cấu trúc pha
4.2.1.2. Cấu trúc tế vi của màng đa lớp

4.2.2. Độ cứng và modul đàn hồi của màng đa lớp TiAlBN/CrN

4.2.2.1. Ảnh hưởng chiều dày cặp lớp màng
4.2.2.2. Ảnh hưởng của số lớp màng
4.2.2.3. Hệ số ma sát của màng đa lớp TiAlBN/CrN
4.2.2.4. Độ bền bám dính của màng đa lớp TiAlSiN/CrN

KẾT LUẬN CHUNG

CÁC ĐÓNG GÓP MỚI CỦA LUẬN ÁN

CÁC CÔNG TRÌNH KHOA HỌC ĐÃ CÔNG BỐ

TÀI LIỆU THAM KHẢO

Tóm tắt

I. Tổng quan về nghiên cứu màng phủ nitrua WC Co

Màng phủ nitrua WC-Co đang trở thành một trong những giải pháp hiệu quả trong việc cải thiện tính chất bề mặt của các dụng cụ cắt gọt. Nghiên cứu này không chỉ tập trung vào việc chế tạo màng phủ mà còn tìm hiểu sâu về các đặc tính của chúng. Việc áp dụng màng phủ nitrua giúp tăng cường độ bền, khả năng chống mài mòn và kéo dài tuổi thọ của dụng cụ. Các nghiên cứu trước đây đã chỉ ra rằng màng phủ nitrua có thể cải thiện đáng kể hiệu suất làm việc của các chi tiết máy trong ngành công nghiệp chế tạo.

1.1. Ứng dụng của màng phủ nitrua trong công nghiệp

Màng phủ nitrua được ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực công nghiệp, từ chế tạo dụng cụ cắt gọt đến các chi tiết máy. Chúng giúp giảm thiểu ma sát và mài mòn, từ đó nâng cao hiệu suất làm việc. Nghiên cứu cho thấy màng phủ nitrua có thể giảm thiểu tổn thất năng lượng do ma sát lên đến 30%.

1.2. Lịch sử phát triển màng phủ nitrua

Lịch sử phát triển màng phủ nitrua bắt đầu từ những năm 1980, khi các nhà nghiên cứu nhận ra tiềm năng của chúng trong việc cải thiện tính chất bề mặt. Từ đó, nhiều loại màng phủ khác nhau đã được phát triển, bao gồm màng đơn lớp và màng đa lớp, với các thành phần hóa học khác nhau.

II. Thách thức trong nghiên cứu màng phủ nitrua WC Co

Mặc dù có nhiều lợi ích, việc chế tạo màng phủ nitrua WC-Co vẫn gặp phải nhiều thách thức. Một trong những vấn đề chính là việc kiểm soát chất lượng và tính đồng nhất của màng phủ trong quá trình chế tạo. Ngoài ra, việc tối ưu hóa các thông số phún xạ cũng là một thách thức lớn.

2.1. Vấn đề kiểm soát chất lượng màng phủ

Kiểm soát chất lượng màng phủ là một yếu tố quan trọng trong quá trình chế tạo. Các nghiên cứu đã chỉ ra rằng sự không đồng nhất trong cấu trúc màng có thể dẫn đến giảm hiệu suất và tuổi thọ của dụng cụ. Do đó, việc phát triển các phương pháp kiểm tra chất lượng là cần thiết.

2.2. Tối ưu hóa thông số phún xạ

Tối ưu hóa các thông số phún xạ như công suất, áp suất và khoảng cách giữa bia và đế là rất quan trọng. Những yếu tố này ảnh hưởng trực tiếp đến độ cứng và tính chất của màng phủ. Nghiên cứu cho thấy rằng việc điều chỉnh các thông số này có thể cải thiện đáng kể chất lượng màng phủ.

III. Phương pháp chế tạo màng phủ nitrua WC Co hiệu quả

Phương pháp phún xạ magnetron đã được chứng minh là một trong những phương pháp hiệu quả nhất trong việc chế tạo màng phủ nitrua. Phương pháp này cho phép tạo ra màng phủ với độ dày đồng nhất và tính chất cơ học tốt. Nghiên cứu hiện tại tập trung vào việc tối ưu hóa quy trình phún xạ để đạt được màng phủ có độ cứng cao và hệ số ma sát thấp.

3.1. Quy trình phún xạ magnetron

Quy trình phún xạ magnetron bao gồm việc sử dụng điện trường để tạo ra plasma, từ đó phún xạ các hạt vật liệu lên bề mặt mẫu. Phương pháp này cho phép kiểm soát tốt hơn về độ dày và cấu trúc của màng phủ.

3.2. Tối ưu hóa điều kiện phún xạ

Việc tối ưu hóa điều kiện phún xạ như áp suất khí, công suất phún xạ và loại khí sử dụng là rất quan trọng. Các nghiên cứu đã chỉ ra rằng việc điều chỉnh các thông số này có thể cải thiện đáng kể tính chất của màng phủ nitrua.

IV. Kết quả nghiên cứu và ứng dụng thực tiễn

Kết quả nghiên cứu cho thấy màng phủ nitrua WC-Co có độ cứng cao và khả năng chống mài mòn tốt. Các ứng dụng thực tiễn của màng phủ này đã được thử nghiệm trong nhiều lĩnh vực, từ chế tạo dụng cụ cắt gọt đến các chi tiết máy trong ngành công nghiệp chế tạo. Những kết quả này mở ra hướng đi mới cho việc phát triển các loại màng phủ có tính năng vượt trội.

4.1. Đặc trưng tính chất của màng phủ

Màng phủ nitrua WC-Co được đặc trưng bởi độ cứng cao và hệ số ma sát thấp. Các thử nghiệm cho thấy màng phủ này có thể chịu được nhiệt độ cao và có khả năng chống ăn mòn tốt, làm tăng tuổi thọ của dụng cụ.

4.2. Ứng dụng trong ngành công nghiệp

Màng phủ nitrua đã được ứng dụng thành công trong nhiều lĩnh vực công nghiệp, đặc biệt là trong chế tạo dụng cụ cắt gọt. Việc sử dụng màng phủ này giúp giảm thiểu tổn thất năng lượng và nâng cao hiệu suất làm việc của các chi tiết máy.

V. Kết luận và triển vọng tương lai của nghiên cứu

Nghiên cứu chế tạo màng phủ nitrua WC-Co bằng phương pháp phún xạ magnetron đã mở ra nhiều cơ hội mới trong việc phát triển các loại màng phủ có tính năng vượt trội. Tương lai của nghiên cứu này hứa hẹn sẽ mang lại nhiều ứng dụng thực tiễn trong ngành công nghiệp chế tạo.

5.1. Tương lai của màng phủ nitrua

Với sự phát triển không ngừng của công nghệ, màng phủ nitrua sẽ tiếp tục được nghiên cứu và phát triển. Các nghiên cứu mới sẽ tập trung vào việc cải thiện tính chất và khả năng ứng dụng của màng phủ trong nhiều lĩnh vực khác nhau.

5.2. Hướng nghiên cứu tiếp theo

Hướng nghiên cứu tiếp theo sẽ tập trung vào việc phát triển các loại màng phủ mới với thành phần hóa học đa dạng hơn, nhằm tối ưu hóa tính chất và mở rộng khả năng ứng dụng trong công nghiệp.

27/07/2025