Mô Hình Hóa và Thiết Kế Hệ NEMS Theo Hướng Tiếp Cận Phân Tích Đa Trường

• Tác giả: Vũ Đức Tuấn
• Người hướng dẫn: TS. Mai Đức Đãi
• Trường học: Trường Đại Học Sư Phạm Kỹ Thuật Thành Phố Hồ Chí Minh
• Chuyên ngành: Kỹ Thuật Cơ Khí
• Đề tài: Mô Hình Hóa Và Thiết Kế Hệ NEMS Theo Hướng Tiếp Cận Phân Tích Đa Trường
• Loại tài liệu: luận văn thạc sĩ
• Năm xuất bản: 2016
• Địa điểm: Hồ Chí Minh

• LỜI CAM ĐOAN
• LỜI CẢM ƠN
• TÓM TẮT
• 1. CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN
• 1.1. Tổng quan về hệ NEMS
• 1.2. Cấu tạo và nguyên lý hoạt động chung của hệ NEMS
• 1.3. Hệ NEMS với thành phần cơ học là CNT
• 1.4. Các thông số hoạt động và đặc điểm chính của hệ NEMS
• 1.5. Ứng dụng của hệ NEMS
• 1.6. Các nghiên cứu về hệ NEMS với phần tử cơ học là CNT
• 1.7. Hạn chế của các nghiên cứu đã công bố
• 1.8. Mục đích của đề tài
• 1.9. Nhiệm vụ, đối tượng và phạm vi nghiên cứu
• 1.9.1. Nhiệm vụ của đề tài
• 1.9.2. Đối tượng nghiên cứu
• 1.9.3. Phạm vi nghiên cứu
• 1.10. Kết cấu của luận văn

I. Giới Thiệu Tổng Quan Về Hệ NEMS Tiềm Năng Ứng Dụng

Sự phát triển vượt bậc của khoa học, kỹ thuật và công nghệ, đặc biệt trong lĩnh vực vật liệu NEMS và công nghệ nano, đã mở rộng phạm vi nghiên cứu. Các thiết bị hiện đại ngày càng đòi hỏi tính nhỏ gọn, tiết kiệm năng lượng và độ tin cậy cao. Do đó, việc nghiên cứu và phát triển hệ NEMS (Nanoelectromechanical Systems) là một yêu cầu tất yếu, là bước tiến tiếp theo của hệ vi cơ điện tử (MEMS). Hệ NEMS là thiết bị có kích thước ở thang đo nanomet, khối lượng cực nhỏ và tỉ số diện tích bề mặt so với khối lượng lớn hơn nhiều so với MEMS, hứa hẹn tiềm năng phát triển lớn trong tương lai. Đặc biệt, hệ NEMS cộng hưởng với thành phần cơ học là ống nano cacbon (Carbon nanotube – CNT) có nhiều đặc tính ưu việt để tạo ra các cảm biến nano siêu nhạy. Ứng dụng NEMS ngày càng đa dạng trong nhiều lĩnh vực.

1.1. Cấu Tạo và Nguyên Lý Hoạt Động Chung Của Hệ NEMS

Hệ NEMS bao gồm các bộ phận chính: bộ phận nhận tín hiệu đầu vào, bộ phận xuất tín hiệu ở ngõ ra, bộ phận điều khiển và hệ cơ học. Nguyên lý hoạt động là chuyển đổi tín hiệu đầu vào thành dao động của phần tử cơ học. Tần số dao động thay đổi theo sự tác động của tín hiệu điều khiển (điện, khối lượng hấp thụ). Các dao động cơ học sau đó được chuyển thành tín hiệu điện có thể đọc được. Theo một nghiên cứu, để xác định các dao động cơ học và tần số cộng hưởng NEMS, người ta sử dụng mạch điện như Hình 1.2, hệ này sẽ hoạt động như một transistor.

1.2. Hệ NEMS Với Thành Phần Cơ Học Là Ống Nano Cacbon

Hệ NEMS với thành phần cơ học là CNT có cấu tạo gồm ống nano carbon được ngàm chặt bởi hai điện cực ở hai đầu và đặt trên điện cực điều khiển. Giữa điện cực điều khiển và CNT đặt đồng thời hai loại điện áp: một chiều (DC) và xoay chiều (AC). Điện áp DC tạo ra lực điện từ để điều chỉnh độ căng của CNT. Điện áp AC với tần số 𝜔 giúp tạo ra dao động cơ học trên ống nano cacbon. Khi tần số dao động của nguồn AC trùng với tần số cộng hưởng NEMS, hiện tượng cộng hưởng xảy ra, chuyển vị và biên độ dao động là lớn nhất.

II. Các Vấn Đề Thách Thức Trong Mô Hình Hóa NEMS Hiện Nay

Mặc dù hệ NEMS hứa hẹn nhiều tiềm năng, việc mô hình hóa NEMS và thiết kế NEMS vẫn còn nhiều thách thức. Các nghiên cứu trước đây đã được thực hiện trên phương diện lý thuyết, mô phỏng và thí nghiệm. Tuy nhiên, vẫn tồn tại một số hạn chế như sự khác biệt giữa lý thuyết và thí nghiệm, chỉ mô phỏng NEMS được CNT có chiều dài nhỏ, điều kiện kỹ thuật và thiết bị không đảm bảo độ chính xác, cộng với chi phí thực hiện rất tốn kém. Để khắc phục các hạn chế đó, nghiên cứu này sử dụng phương pháp phần tử hữu hạn để mô hình hóa và thiết kế hệ NEMS theo hướng tiếp cận phân tích đa trường.

2.1. Hạn Chế Của Các Nghiên Cứu Mô Phỏng NEMS Đã Công Bố

Các nghiên cứu trước đây về mô phỏng NEMS thường gặp phải một số hạn chế. Sự sai khác giữa kết quả mô phỏng NEMS và kết quả thực nghiệm là một vấn đề lớn. Bên cạnh đó, khả năng mô phỏng NEMS với CNT có kích thước lớn còn hạn chế do yêu cầu tính toán cao. Chi phí cho các thí nghiệm thực tế trên NEMS cũng rất lớn, gây khó khăn cho việc kiểm chứng các mô hình.

2.2. Sự Cần Thiết Của Phân Tích Đa Trường Trong Thiết Kế NEMS

Phân tích đa trường là yếu tố quan trọng trong thiết kế NEMS. Hệ NEMS hoạt động dựa trên sự tương tác của nhiều lĩnh vực vật lý khác nhau, như tương tác điện cơ, tương tác nhiệt cơ và tương tác chất lỏng cơ. Việc bỏ qua bất kỳ tương tác nào có thể dẫn đến kết quả mô phỏng NEMS không chính xác. Do đó, cần có phương pháp tiếp cận phân tích đa trường để đảm bảo độ chính xác NEMS và độ bền NEMS trong thiết kế NEMS.

III. Phương Pháp Phân Tích Đa Trường Trong Mô Hình Hóa Hệ NEMS

Nghiên cứu này tập trung vào việc sử dụng phương pháp phần tử hữu hạn (FEM) để mô hình hóa NEMS theo hướng phân tích đa trường. Trong đó, mô hình đàn hồi liên tục được sử dụng để mô hình hóa CNT, và phần tử Trans126 được dùng để mô tả tương tác điện cơ. Các kết quả nghiên cứu này chứng minh rằng phương pháp được sử dụng có kết quả hoàn toàn tương đồng với các nghiên cứu trước đây. Đồng thời cũng chỉ ra rằng có thể điều chỉnh tần số dao động NEMS thông qua việc thay đổi điện áp một chiều đặt giữa điện cực và CNT. Tần số cộng hưởng NEMS tỉ lệ thuận với điện áp DC.

3.1. Sử Dụng Mô Hình Đàn Hồi Liên Tục Cho Ống Nano Cacbon

Mô hình đàn hồi liên tục là một phương pháp hiệu quả để mô hình hóa CNT trong NEMS. Phương pháp này đơn giản hóa cấu trúc nguyên tử của ống nano cacbon, giúp giảm đáng kể chi phí tính toán so với các phương pháp khác như mô hình nguyên tử. Tuy nhiên, cần lưu ý rằng mô hình đàn hồi liên tục có thể không chính xác đối với các CNT có kích thước quá nhỏ.

3.2. Mô Tả Tương Tác Điện Cơ Với Phần Tử TRANS126 Trong ANSYS

Phần tử TRANS126 trong phần mềm mô phỏng NEMS ANSYS được sử dụng để mô tả tương tác điện cơ giữa CNT và điện cực. Phần tử này cho phép tính toán lực tĩnh điện tác dụng lên CNT do điện áp đặt vào, từ đó xác định ảnh hưởng của điện áp đến tần số dao động NEMS. Theo tài liệu ANSYS, TRANS126 thể hiện quan hệ giữa điện dung và khoảng cách hai bản cực của phần tử.

3.3. Các Bước Giải Bài Toán Mô Hình Hóa NEMS Trên ANSYS

Giải bài toán mô hình hóa NEMS trên ANSYS bao gồm các bước: Xây dựng mô hình hình học của hệ NEMS (CNT, điện cực), Gán vật liệu cho các thành phần, Chia lưới phần tử hữu hạn, Định nghĩa các điều kiện biên và tải trọng (điện áp), Giải bài toán để tìm ra tần số dao động và chuyển vị, Phân tích kết quả.

IV. Ứng Dụng Cảm Biến Khối Lượng Siêu Nhạy Từ Hệ NEMS

Nghiên cứu cũng khảo sát ứng xử của hệ NEMS cho ứng dụng NEMS cảm biến khối lượng ở thang đo nano. Khả năng phát hiện khối lượng cực nhỏ dựa trên sự thay đổi tần số cộng hưởng NEMS khi có khối lượng bám vào CNT. Việc điều chỉnh điện áp đầu vào và theo dõi sự thay đổi tần số cộng hưởng NEMS cho phép tạo ra các cảm biến nano siêu nhạy, có thể phát hiện khối lượng ở cấp độ nguyên tử. Đây là một trong những ứng dụng tiềm năng nhất của hệ NEMS.

4.1. Quan Hệ Giữa Tần Số NEMS Và Độ Dài Ống Nano Cacbon

Tần số cộng hưởng NEMS phụ thuộc vào độ dài CNT. Khi độ dài CNT tăng, tần số NEMS sẽ giảm. Mối quan hệ này có thể được sử dụng để tối ưu hóa thiết kế NEMS cho các ứng dụng cụ thể. Theo các nghiên cứu, sự thay đổi của tần số NEMS tuân theo một quy luật nhất định khi độ dài CNT thay đổi.

4.2. Quan Hệ Giữa Tần Số NEMS Và Khối Lượng Hấp Thụ

Khi có khối lượng hấp thụ trên CNT, tần số cộng hưởng NEMS sẽ giảm. Mức độ giảm tần số phụ thuộc vào lượng khối lượng hấp thụ. Mối quan hệ này được sử dụng để chế tạo cảm biến NEMS có khả năng phát hiện khối lượng cực nhỏ. Điện áp một chiều (DC) có tác dụng điều chỉnh sự nhạy NEMS đối với khối lượng.

V. So Sánh Đánh Giá Kết Quả Nghiên Cứu Và Hướng Phát Triển

Kết quả nghiên cứu cho thấy sự tương đồng với các nghiên cứu trước đây về mô hình hóa NEMS và thiết kế NEMS. Điều này khẳng định tính đúng đắn và tin cậy của phương pháp phân tích đa trường được sử dụng. Hướng phát triển tiếp theo của đề tài là nghiên cứu sâu hơn về ảnh hưởng của các yếu tố khác nhau đến độ nhạy NEMS và độ chính xác NEMS trong các ứng dụng NEMS khác nhau, đồng thời nghiên cứu các phương pháp tối ưu hóa thiết kế NEMS để nâng cao hiệu suất hoạt động.

5.1. So Sánh Kết Quả Với Các Nghiên Cứu Đã Công Bố

Việc so sánh kết quả mô phỏng NEMS với các nghiên cứu đã công bố là rất quan trọng để đánh giá độ tin cậy của mô hình. Nếu kết quả mô phỏng NEMS tương đồng với các nghiên cứu trước đây, điều này chứng tỏ rằng mô hình được xây dựng là chính xác và có thể được sử dụng để dự đoán hành vi của NEMS trong thực tế.

5.2. Hướng Phát Triển Tiềm Năng Của Nghiên Cứu Hệ NEMS

Các hướng phát triển tiềm năng của nghiên cứu hệ NEMS bao gồm: Nghiên cứu các vật liệu mới cho NEMS (ví dụ: graphene), Phát triển các phương pháp mô phỏng NEMS tiên tiến hơn (ví dụ: sử dụng động lực học phân tử), Khám phá các ứng dụng NEMS mới (ví dụ: trong lĩnh vực y sinh). Nghiên cứu sâu hơn về tương tác nhiệt cơ và tương tác chất lỏng cơ trong hệ NEMS cũng là một hướng đi đầy hứa hẹn.

Tổng quan nghiên cứu

Hệ cơ điện nano (NEMS) dựa trên ống nano cacbon (CNT) đang trở thành một lĩnh vực nghiên cứu trọng điểm với nhiều ứng dụng tiềm năng trong điện tử viễn thông, cảm biến lực và cảm biến khối lượng siêu nhạy. Theo báo cáo của ngành, các thiết bị NEMS có tần số cộng hưởng lên đến khoảng 100 GHz, hệ số chất lượng (Q) đạt hàng chục ngàn, và độ nhạy khối lượng có thể đạt đến cấp độ zeptogram. Tuy nhiên, các nghiên cứu trước đây vẫn còn tồn tại nhiều hạn chế như sự khác biệt giữa lý thuyết và thực nghiệm, chỉ mô phỏng được CNT có chiều dài nhỏ, điều kiện kỹ thuật và thiết bị chưa đảm bảo độ chính xác, cùng với chi phí thí nghiệm rất cao.

Mục tiêu của nghiên cứu là mô hình hóa và thiết kế hệ NEMS theo hướng tiếp cận phân tích đa trường, nhằm khắc phục các hạn chế trên. Nghiên cứu tập trung vào việc sử dụng phương pháp phần tử hữu hạn (FEM) với phần mềm ANSYS để mô phỏng tương tác cơ – điện trong hệ NEMS, đồng thời khảo sát ảnh hưởng của điện áp một chiều đến tần số dao động của hệ. Phạm vi nghiên cứu bao gồm hệ NEMS với phần tử cơ học là ống nano cacbon đơn tường (SWCNT), phân tích ứng xử dao động và ứng dụng cảm biến khối lượng ở thang đo nanogam.

Nghiên cứu có ý nghĩa quan trọng trong việc phát triển các thiết bị cảm biến siêu nhạy, tiết kiệm năng lượng và có khả năng tích hợp cao, góp phần thúc đẩy ứng dụng công nghệ nano trong các lĩnh vực khoa học kỹ thuật hiện đại.

Cơ sở lý thuyết và phương pháp nghiên cứu

Khung lý thuyết áp dụng

Nghiên cứu dựa trên hai lý thuyết chính: mô hình đàn hồi liên tục (Continuum Elastic Model) và phân tích đa trường (Multiphysics Analysis). Mô hình đàn hồi liên tục được sử dụng để mô hình hóa ống nano cacbon như một thanh đàn hồi liên tục với các đặc tính cơ học như mô đun đàn hồi, mô men quán tính và độ dày hiệu dụng. Phần tử Trans126 trong phần mềm ANSYS được áp dụng để mô tả tương tác cơ – điện giữa CNT và điện cực, cho phép mô phỏng chính xác lực tĩnh điện và dao động cơ học.

Ba khái niệm chính được sử dụng trong nghiên cứu gồm: tần số cộng hưởng (𝜔ₙ), hệ số chất lượng (Q) và điện áp một chiều (DC voltage). Tần số cộng hưởng phản ánh đặc tính dao động tự nhiên của hệ, hệ số Q biểu thị mức độ tổn thất năng lượng trong dao động, còn điện áp DC được dùng để điều chỉnh tần số dao động thông qua lực tĩnh điện.

Phương pháp nghiên cứu

Nguồn dữ liệu chính là các mô hình mô phỏng số dựa trên phương pháp phần tử hữu hạn, sử dụng phần mềm ANSYS để phân tích đa trường cơ – điện. Cỡ mẫu mô phỏng bao gồm các ống nano cacbon có chiều dài khác nhau trong phạm vi nano mét, với điều kiện biên là ngàm hai đầu. Phương pháp chọn mẫu dựa trên các kích thước CNT phổ biến trong thực tế và các nghiên cứu trước đây để đảm bảo tính đại diện.

Phân tích được thực hiện theo timeline từ tháng 5/2014 đến tháng 10/2016, bao gồm các bước: lựa chọn mô hình đàn hồi liên tục cho CNT, xây dựng mô hình phần tử hữu hạn, thiết lập tương tác cơ – điện bằng phần tử Trans126, mô phỏng dao động và khảo sát ảnh hưởng của điện áp DC đến tần số cộng hưởng. Kết quả mô phỏng được so sánh với các nghiên cứu đã công bố để kiểm chứng độ tin cậy.

Kết quả nghiên cứu và thảo luận

Những phát hiện chính

1. Tần số cộng hưởng tỷ lệ thuận với điện áp DC: Kết quả mô phỏng cho thấy tần số cộng hưởng của hệ NEMS tăng theo điện áp một chiều đặt giữa điện cực và CNT. Ví dụ, khi điện áp DC tăng từ 0 V lên khoảng 10 V, tần số cộng hưởng tăng tương ứng khoảng 15-20%, phù hợp với các kết quả thực nghiệm trước đây.

2. Chuyển vị của CNT dưới tác dụng điện áp: Mô hình cho thấy chuyển vị của CNT tăng khi điện áp DC tăng, với giá trị chuyển vị đạt đến mức tối đa tại điện áp pull-in khoảng 12 V đối với CNT dài 100 nm. Điều này phản ánh sự tương tác mạnh mẽ giữa lực tĩnh điện và lực đàn hồi.

3. Ứng dụng cảm biến khối lượng: Nghiên cứu mô phỏng sự thay đổi tần số cộng hưởng khi hấp thụ khối lượng nano trên CNT. Kết quả cho thấy tần số cộng hưởng giảm khoảng 5-10% khi khối lượng hấp thụ tăng lên 1 zeptogram, chứng minh khả năng phát hiện khối lượng siêu nhỏ của hệ NEMS.

4. So sánh với các nghiên cứu trước: Mô hình hóa đa trường sử dụng phần tử hữu hạn cho kết quả tương đồng với các nghiên cứu lý thuyết và thực nghiệm đã công bố, với sai số dưới 5% về tần số cộng hưởng, khẳng định tính chính xác và khả năng ứng dụng của phương pháp.

Thảo luận kết quả

Nguyên nhân tần số cộng hưởng tăng theo điện áp DC là do lực tĩnh điện tạo ra lực căng trên CNT, làm tăng độ cứng hiệu dụng của hệ. Kết quả này phù hợp với các nghiên cứu của Sapmaz và cộng sự cũng như V. Sazonova và cộng sự, cho thấy sự điều chỉnh tần số dao động bằng điện áp là một phương pháp hiệu quả để kiểm soát hoạt động của hệ NEMS.

Chuyển vị CNT tăng theo điện áp phản ánh sự cân bằng giữa lực tĩnh điện và lực đàn hồi, tuy nhiên khi vượt quá điện áp pull-in, hệ có thể mất ổn định, điều này cần được lưu ý trong thiết kế thực tế. Việc mô phỏng ứng dụng cảm biến khối lượng cho thấy hệ NEMS có thể phát hiện khối lượng ở cấp độ nguyên tử, mở ra tiềm năng ứng dụng trong y sinh và công nghiệp.

Dữ liệu có thể được trình bày qua biểu đồ tần số cộng hưởng theo điện áp DC và bảng so sánh tần số cộng hưởng với các nghiên cứu trước, giúp minh họa rõ ràng mối quan hệ và độ tin cậy của mô hình.

Đề xuất và khuyến nghị

1. Tăng cường phát triển mô hình đa trường: Khuyến nghị các nhà nghiên cứu tiếp tục mở rộng mô hình phân tích đa trường, bao gồm thêm các trường nhiệt và từ trường để nâng cao độ chính xác và khả năng ứng dụng của hệ NEMS trong các môi trường phức tạp.

2. Tối ưu hóa thiết kế CNT: Đề xuất điều chỉnh chiều dài và đường kính CNT để đạt được tần số cộng hưởng và độ nhạy tối ưu cho từng ứng dụng cụ thể, đặc biệt trong cảm biến khối lượng và lực.

3. Ứng dụng điều chỉnh điện áp DC: Khuyến khích sử dụng phương pháp điều chỉnh tần số dao động bằng điện áp một chiều trong thiết kế thiết bị NEMS để dễ dàng kiểm soát và nâng cao hiệu suất hoạt động, với thời gian triển khai trong vòng 1-2 năm.

4. Phát triển công nghệ chế tạo: Đề xuất đầu tư vào công nghệ chế tạo và thiết bị đo lường chính xác nhằm giảm chi phí và nâng cao độ tin cậy của các thí nghiệm thực tế, tạo điều kiện thuận lợi cho việc thương mại hóa thiết bị NEMS.

Đối tượng nên tham khảo luận văn

1. Nhà nghiên cứu và kỹ sư trong lĩnh vực cơ điện tử nano: Luận văn cung cấp phương pháp mô hình hóa đa trường và kết quả phân tích chi tiết, giúp họ phát triển các thiết bị NEMS với hiệu suất cao.

2. Chuyên gia phát triển cảm biến siêu nhạy: Các kết quả về ứng dụng cảm biến khối lượng nano sẽ hỗ trợ trong việc thiết kế và tối ưu hóa cảm biến cho các ứng dụng y sinh, công nghiệp và môi trường.

3. Sinh viên và học viên cao học ngành kỹ thuật cơ khí, vật liệu và điện tử: Tài liệu là nguồn tham khảo quý giá về lý thuyết, mô hình hóa và phương pháp phân tích đa trường trong nghiên cứu thiết bị nano.

4. Doanh nghiệp công nghệ và nhà sản xuất thiết bị vi cơ điện tử: Luận văn cung cấp cơ sở khoa học và kỹ thuật để phát triển sản phẩm NEMS, giúp nâng cao năng lực cạnh tranh và đổi mới công nghệ.

Câu hỏi thường gặp

1. Hệ NEMS là gì và có đặc điểm gì nổi bật?
   Hệ NEMS là thiết bị cơ điện có kích thước nano mét, với khối lượng rất nhỏ và tỉ số diện tích bề mặt trên khối lượng lớn, cho phép hoạt động ở tần số cộng hưởng cao (khoảng 100 GHz) và độ nhạy cực kỳ cao, thích hợp cho các ứng dụng cảm biến siêu nhạy.

2. Tại sao sử dụng ống nano cacbon làm phần tử cơ học trong NEMS?
   Ống nano cacbon có độ cứng cao, độ bền và tính đàn hồi vượt trội, cùng với khả năng dẫn điện và dẫn nhiệt tốt, giúp thiết bị NEMS hoạt động ổn định và nhạy bén hơn so với vật liệu truyền thống.

3. Phương pháp mô hình hóa nào được sử dụng trong nghiên cứu này?
   Nghiên cứu sử dụng mô hình đàn hồi liên tục kết hợp với phương pháp phần tử hữu hạn (FEM) và phần tử Trans126 để mô phỏng tương tác cơ – điện, giúp phân tích đa trường chính xác và hiệu quả.

4. Điện áp một chiều ảnh hưởng như thế nào đến tần số cộng hưởng của hệ NEMS?
   Điện áp DC tạo ra lực tĩnh điện làm tăng độ căng của CNT, từ đó làm tăng tần số cộng hưởng của hệ. Tần số cộng hưởng tỷ lệ thuận với điện áp DC trong phạm vi hoạt động ổn định.

5. Ứng dụng cảm biến khối lượng của hệ NEMS có ưu điểm gì?
   Hệ NEMS có khả năng phát hiện khối lượng ở cấp độ nguyên tử nhờ độ nhạy cao và tần số cộng hưởng hẹp, cho phép đo chính xác các đại lượng vật lý ở thang nano, ứng dụng trong y sinh, môi trường và công nghiệp.

Kết luận

• Nghiên cứu đã xây dựng thành công mô hình hóa và thiết kế hệ NEMS theo hướng tiếp cận phân tích đa trường, sử dụng phương pháp phần tử hữu hạn và mô hình đàn hồi liên tục cho CNT.
• Kết quả cho thấy tần số cộng hưởng của hệ NEMS tỷ lệ thuận với điện áp một chiều, đồng thời mô hình có độ chính xác cao, tương đồng với các nghiên cứu trước.
• Ứng dụng cảm biến khối lượng dựa trên hệ NEMS được chứng minh có khả năng phát hiện khối lượng ở cấp độ zeptogram, mở ra nhiều tiềm năng ứng dụng thực tiễn.
• Đề xuất phát triển thêm các mô hình đa trường phức tạp hơn và cải tiến công nghệ chế tạo để nâng cao hiệu quả và tính ứng dụng của thiết bị.
• Khuyến khích các nhà nghiên cứu, kỹ sư và doanh nghiệp tiếp cận và ứng dụng kết quả nghiên cứu để thúc đẩy phát triển công nghệ NEMS trong tương lai gần.

Hãy bắt đầu áp dụng phương pháp mô hình hóa đa trường trong nghiên cứu và phát triển thiết bị NEMS để khai thác tối đa tiềm năng của công nghệ nano!