Chương 1 Lí Thuyet 1.1 Tong quan ve vªt li»u TiN và vªt li»u ZrN 1.1 Mët so tính chat cua vªt li»u TiN và vªt li»u ZrN Cả hai loại vªt li»u Titan nitrua (công thức hóa hoc là TiN) và Zirconi nitrua (công thức hóa hoc là ZrN) đeu là hop chat giữa mët kim loại chuyen tiep (thuëc nhóm IVB trong bảng tuan hoàn) và Nitơ. Chúng đưoc xep vào nhóm nitrua kim loại cau trúc kẽ (Interstitial nitrides) bỏi những đ°c tính ve cau trúc bao gom [6]: • Nguyên tử Nitơ de dàng làm to trong các kẽ của mạng tinh the kim loại do sụ khác bi»t ve đë âm đi»n cũng như kích thưóc nguyên tử giữa nguyên tử Nitơ và nguyên tử kim loại lón. • Liên ket giữa các nguyên tử chủ yeu là liên ket kim loại vói mët so thành phan liên ket cëng hóa trị và liên ket ion. Do đó, cả TiN và ZrN cùng có mët so tính chat vªt lí, hóa hoc và cau trúc tinh the đ°c trưng khá tương đong và đưoc trình bày cụ the trong phan tiep theo của khóa luªn.
Cau trúc tinh the Như chúng ta đã biet, các nguyên tử kim loại của mët cau trúc tinh the xep ch°t, đưoc hình dung như những quả cau ran. Vì vªy, chúng không the lap đay tat cả 5 không gian có sȁn và phan the tích trong giữa chúng đưoc goi là các vị trí kẽ. Khi các ion 6 ho°c nguyên tử của mët nguyên to phi kim loại, ỏ đây là nitơ đoi vói nitrua, chiem các vị trí kẽ cụ the trong mạng tinh the kim loại, thì cau trúc như vªy đưoc goi là cau trúc kẽ. Ve m°t hình hoc, tý l» giữa bán kính nguyên tử kẽ vói bán kính nguyên tử kim loại chủ phải nhỏ hơn 0,59 đe tạo thành cau trúc kẽ.
Có hai loại vị trí kẽ trong cau trúc xep ch°t của các kim loại chuyen tiep là vị trí tứ di»n và vị trí bát di»n nhưng vói trưòng hop của nitrua, các nguyên tử nitơ chỉ chiem giữ các vị trí bát di»n vì các vị trí tứ di»n quá nhỏ đe chứa chúng. Đoi vói hai vªt li»u TiN và ZrN, pha pho bien và quan Hình 1.1: Vị trí bát di»n giữa các lóp của cau trúc xep ch°t trong nhat là mononitride, vói cau trúc lªp phương tâm khoi xep ch°t đien hình như muoi trong đó các lóp ke tiep nhau theo trình tụ ABCABC và so phoi trí của nguyên tử kim loại là 12. Vị trí bát di»n của nhóm nitrua kim loại cau trúc kẽ cũng như cau trúc lªp phương tâm m°t của TiN đưoc the hi»n trong hình 1. Tính chat vªt lí Vói cau trúc tinh the như trình bày phan trưóc, vªt li»u TiN và ZrN có mët so tính chat vªt lí đáng chú ý bao gom: • Có nhi»t đë nóng chảy cao, dȁn nhi»t khá tot.
Đë dȁn nhi»t của chúng tăng nhe khi nhi»t đë tăng. • Có đi»n trỏ suat nhỏ (dȁn đi»n tot) và tăng gan như tuyen tính vói nhi»t đë. Cả 7 hai vªt li»u đeu có khả năng trỏ thành vªt li»u siêu dȁn tot, tuy nhiên, nhi»t đë 8 Hình 1.2: Cau trúc mạng tinh the TiN chuyen tiep của chúng bị ảnh hưỏng đáng ke do sụ hi»n di»n của các lő trong và tạp chat. • Đë ben , đë chịu nhi»t và khả năng chong ăn mòn lón.
Tuy nhiên, vì liên ket kim loại - nitơ mạnh dȁn đen sụ vang m°t của bien dạng uon nên TiN và ZrN có tính giòn cao. Có nhi»t đë chuyen tiep từ dẻo sang giòn vào khoảng 800◦C. Dưói nhi»t đë đó, vªt li»u bị hỏng theo cách giòn trong khi ỏ trên nó, chúng the hi»n tính chat dẻo và trải qua bien dạng dẻo. • Đë cứng rat tot, đưoc so sánh vói corundum (vªt li»u đưoc sử dụng trong giay nhám và các vªt li»u mài mòn khác), do đó TiN và ZrN có the đưoc sử dụng như mët vªt li»u thay the cho cacbua vonfram.
Mët so thông so cụ the của hai loại vªt li»u đưoc li»t kê ỏ bảng 1. Lưu ý rang các tính chat cũng như thông so này phụ thuëc rat nhieu vào các đieu ki»n của vªt li»u, có the ke đen như kích thưóc, hình thái, hưóng của hạt vªt li»u, sụ hi»n di»n của các pha khác nhau và mët so yeu to khác. 9 Tính chat TiN ZrN Khoi lưong mol phân tử 61, 88g/mol 105, 23g/mol Khoi lưong riêng 5, 40g/cm2 7, 32g/cm2 Nhi»t đë nóng chảy 2950◦C 2980◦C Đë dȁn nhi»t 19, 2W/m.◦C Đi»n trỏ suat 20 − 30µΩcm 7 − 21µΩcm Đë cứng 18 − 21GPa 15.1: Mët so thông so ve tính chat vªt lí của TiN và ZrN Bên cạnh các điem chung đã nêu, TiN và ZrN cũng có mët so khác bi»t. Rõ ràng nhat có the nhªn thay đó là màu sac của chúng (hình 1.
TiN có màu nâu vàng ỏ dạng khoi, có màu đen khi ỏ cau trúc nano; trong khi ZrN dạng khoi có màu vàng nhạt, còn ỏ dạng nano thì có màu xanh nhạt.3: Màu sac vªt li»u TiN ỏ dạng khoi (a) và dạng nano (b) Tính chat hóa hoc Cả TiN và ZrN đeu có đë ben hóa hoc cao, tương đoi trơ và on định ve m°t hóa hoc ỏ đieu ki»n phòng bình thưòng (khoảng 20°C). Chúng chỉ bị oxi hóa khi đạt nhi»t đë khoảng 600◦C − 800◦C trong không khí. Đoi vói các dung dịch axit đªm đ°c, khả năng phản ứng hóa hoc của TiN và ZrN tăng dan theo nhi»t đë. Ngoài ra, cả hai đeu 1 Hình 1.4: Màu sac vªt li»u ZrN ỏ dạng khoi (a) và dạng nano (b) bị phân hủy trong dung dịch kiem nóng chảy và tạo ra khí amoniac [6].2 Mët so ùng dụng cua vªt li»u TiN và vªt li»u ZrN Hình 1.5: Dụng cụ công nghi»p phủ TiN (a) và phủ ZrN (b) Vói những tính chat vªt lí và cơ hoc tương đong nhau như đã trình bày ỏ phan trên, cả TiN và ZrN đeu có tính ứng dụng cao trong nhieu lĩnh vục khác nhau của đòi song, mà đ°c bi»t là trong công nghi»p.
Các vªt li»u này thưòng đưoc phủ lên các thiet bị cat ti»n, khuôn đúc, bánh răng, o bi và mët so thiet bị khác nham tăng đë ben cơ hoc, khả năng chịu mài mòn và chịu nhi»t của thiet bị (hình 1. TiN cũng đưoc ứng dụng trong công ngh» siêu cat nham thay the dan lóp phủ bang kim 1 cương 1 (có giá thành cao và hiem). Kohlscheen và các cëng sụ [7] đã sử dụng phương pháp phún xạ magnetron vói hàm lưong nitơ thay đoi từ 0 − 30% đe tạo mët lóp màng TiN dày 20µm phủ lên lưõi dao cat. Ket quả nghiên cứu cho thay lóp phủ TiN vói hàm lưong 3% N2 có đë cứng và chịu mài mòn tot, đáp ứng yêu cau của công ngh» siêu cat và có the dan thay the màng kim cương.
TiN và ZrN cũng đưoc ứng dụng trong rëng rãi trong lĩnh vục công ngh» y sinh. Vói đ°c tính trơ ve m°t hóa hoc, các màng vªt li»u TiN và ZrN thưòng đưoc sử dụng làm lóp phủ cho các dụng cụ chỉnh hình và phȁu thuªt y te [8, 9]. Trong công trình [10], các màng TiN và ZrN còn đưoc dùng đe phủ lên các chi tiet, thiet bị, oc vít che tạo bang thép không gỉ trong quá trình cay ghép chỉnh hình đau goi, xương hông và nep vít xương cũng như làm răng nhò vào đë ben ăn mòn cao trong môi trưòng sinh lý (hình 1. Bên cạnh đó, vói màu vàng đep mat, TiN cũng đưoc sử dụng đe làm lóp phủ ngoài dụng cụ ăn uong ho°c các vªt dụng trang trí.6: Thiet bị cay ghép phủ TiN đe (a) thay the toàn bë đau goi, (b) thay the mët phan đau goi, (c) tái tạo be m°t hông, (d) thay the vai và (e) khóp háng di đëng kép Ngoài những ứng dụng ke trên, TiN và ZrN còn là những vªt li»u plasmonic mói tiem năng, đưoc nghiên cứu rat nhieu trong thòi gian gan đây nham thay the cho những vªt li»u plasmonic truyen thong như vàng, bạc.
Khả năng ứng dụng của chúng trong các lĩnh vục mói của vªt lí là rat lón, có the ke đen như y hoc nano, cảm bien phân tử, quang xúc tác, công ngh» CMOS,. và đ°c bi»t là các hi»u ứng quang 1 nhi»t 1 [1, 2, 4, 11–16]. Tat cả những nëi dung này sẽ đưoc trình bày cụ the ỏ phan tiep theo của luªn văn.2 аc tính quang nhi»t plasmonic cua vªt li»u TiN, vªt li»u ZrN 1.1 Lí thuyet cëng hưƠng Plasmon và hi»u ùng quang nhi»t Plasmonics là mët lĩnh vục nghiên cứu mói trong ngành khoa hoc công ngh», xuat hi»n ke từ sụ phát hi»n của Plasmon, ket quả của sụ lưong tử hóa dao đëng trong mạng tinh the (plasma oscillation). Plasmon là mët giả hạt có kích vô cùng nhỏ, giúp con ngưòi vưot qua những giói hạn ve kích thưóc trong quá trình che tạo linh ki»n đi»n tử nano.
Khi có sụ tương tác vói mët bưóc sóng thích hop giữa ánh sáng vói các đi»n tử tụ do tại be m°t kim loại - đi»n môi, hi»n tưong cëng hưỏng plasmon be m°t (SPR) xảy ra. Ket quả là sụ xuat hi»n của các sóng đi»n từ doc trong chat khí hai chieu chứa các hạt mang đi»n như các đi»n tử tụ do trong kim loại. Đong thòi, năng lưong do các photon mang theo đưoc chuyen tói các kích thích tªp the của các đi»n tử tụ do, đưoc goi là plasmon be m°t (SP). Các SP đưoc kích thích đưoc định trên be m°t kim loại - đi»n môi và có the đưoc xem như mët trưòng sóng đi»n từ co đien (có cưòng đë tỉ l» nghịch vói bình phương khoảng cách) lan truyen doc trên be m°t này.
Hi»n tưong SPR là nguyên nhân chính gây ra sụ giảm phản xạ ỏ bưóc sóng cụ the dȁn đen sụ sụt giảm do hap thụ quang năng trong kim loại. Vì sóng SP đưoc liên ket ch°t chẽ vói be m°t kim loại - đi»n môi, vói khoảng cách cõ 10nm đoi vói kim loại và thưòng hơn 100nm đoi vói đi»n môi (tùy thuëc vào bưóc sóng), nên các sóng đi»n từ đưoc tªp trung trong mët vùng có kích thưóc nhỏ hơn đáng ke so vói bưóc sóng của chúng. Đây chính là đ°c điem goi ý khả năng sử dụng SP đe che tạo mạch quang đi»n tử kích thưóc nano hoạt đëng ỏ tan so quang hoc, xóa bỏ đi giói hạn ve kích thưóc như đã đe cªp ỏ trên [1, 11, 12, 17]. Ngưòi ta phân SPR thành 2 loại chính dụa vào các đ°c tính lan truyen của các SP doc theo be m°t kim loại – đi»n môi: SPR truyen (SPP) neu các SP lan truyen doc theo m°t phân cách và SPR định xứ (LSPR) neu các SP tªp trung cục bë gan các be m°t cong của các hạt nano (NP) kim loại.