Luận văn thạc sĩ: Thiết kế chế tạo kênh vi lưu tích hợp cảm biến dựa trên công nghệ in 3D

Luận văn thạc sĩ VNU UET trình bày thiết kế kênh vi lưu tích hợp cảm biến sử dụng công nghệ tạo mẫu nhanh, mang lại giải pháp hiệu quả.

Trường đại học

Trường Đại Học Công Nghệ

Người đăng

Ẩn danh

Thể loại

Luận văn thạc sĩ

2019

56
3
0

Phí lưu trữ

30 Point

Mục lục chi tiết

LỜI CẢM ƠN

LỜI CAM ĐOAN

Danh mục hình vẽ

Danh mục bảng biểu

Danh mục các ký hiệu và chữ viết tắt

Mục tiêu của đề tài

1. CHƯƠNG 1: GIỚI THIỆU VỀ CÔNG NGHỆ VI LƯU

1.1. Giới thiệu về công nghệ vi lưu

1.2. Vật liệu và phương pháp chế tạo thiết bị vi lưu

1.3. Phương pháp chế tạo in 3D trong lĩnh vực vi lỏng

2. CHƯƠNG 2: CÔNG NGHỆ VI LƯU DỰA TRÊN PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO IN 3D

2.1. Giới thiệu công nghệ in 3D

2.2. Các phương pháp in 3D

2.3. Phương pháp in 3D bằng phương pháp Inkjet printing

2.4. Chế tạo thiết bị vi lưu dựa theo phương pháp 3D Inkjet

3. CHƯƠNG 3: THIẾT KẾ MÔ PHỎNG VÀ THỰC NGHIỆM CHẾ TẠO

3.1. Thiết kế và mô phỏng mô hình đề xuất

3.2. Thực nghiệm chế tạo

3.3. Lưu đồ thực nghiệm chế tạo kênh dẫn

3.4. Chế tạo khuôn mẫu của kênh dẫn

3.5. Chế tạo kênh dẫn vi lưu

3.6. Cảm biến điện dung tích hợp trên bảng mạch in (PCB)

3.7. Chế tạo chip vi lưu hoàn chỉnh

3.8. Thiết lập hệ thống đo

4. CHƯƠNG 4: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN

4.1. Kết quả chế tạo kênh dẫn vi lưu

4.2. Kết quả chế tạo khuôn bằng công nghệ in 3D

4.3. Kết quả chế tạo kênh dẫn PDMS

4.4. Kết quả chế tạo chip vi lưu hoàn thiện

4.5. Kết quả đo thực nghiệm và thảo luận

KẾT LUẬN VÀ HƯỚNG PHÁT TRIỂN CỦA ĐỀ TÀI

TÀI LIỆU THAM KHẢO

Tóm tắt

I. Tổng quan về thiết kế kênh vi lưu tích hợp cảm biến

Thiết kế kênh vi lưu tích hợp cảm biến là một lĩnh vực nghiên cứu đang phát triển mạnh mẽ trong công nghệ vi lưu. Công nghệ này cho phép kiểm soát và phân tích chất lỏng ở quy mô rất nhỏ, mang lại nhiều lợi ích cho các ứng dụng trong y học, hóa học và sinh học. Việc tích hợp cảm biến vào kênh vi lưu giúp nâng cao khả năng đo lường và phân tích, từ đó mở ra nhiều cơ hội mới cho nghiên cứu và ứng dụng thực tiễn.

1.1. Khái niệm về kênh vi lưu và cảm biến

Kênh vi lưu là hệ thống cho phép điều khiển dòng chảy chất lỏng ở kích thước micromet. Cảm biến tích hợp trong kênh vi lưu giúp đo lường các thông số như áp suất, nhiệt độ và lưu lượng chất lỏng. Sự kết hợp này tạo ra một hệ thống mạnh mẽ cho các ứng dụng phân tích và kiểm soát chất lỏng.

1.2. Lợi ích của công nghệ in 3D trong thiết kế kênh vi lưu

Công nghệ in 3D mang lại nhiều lợi ích cho việc chế tạo kênh vi lưu, bao gồm khả năng tạo ra các hình dạng phức tạp, giảm chi phí sản xuất và thời gian chế tạo. Việc sử dụng in 3D giúp tối ưu hóa quy trình thiết kế và sản xuất, từ đó nâng cao hiệu quả của các thiết bị vi lưu.

II. Thách thức trong thiết kế kênh vi lưu tích hợp cảm biến

Mặc dù có nhiều lợi ích, việc thiết kế kênh vi lưu tích hợp cảm biến cũng gặp phải nhiều thách thức. Các vấn đề như độ chính xác trong chế tạo, khả năng tương thích của vật liệu và chi phí sản xuất là những yếu tố cần được xem xét kỹ lưỡng.

2.1. Độ chính xác trong chế tạo kênh vi lưu

Độ chính xác trong chế tạo kênh vi lưu là yếu tố quan trọng ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị. Việc đảm bảo kích thước và hình dạng của kênh vi lưu chính xác là rất cần thiết để đạt được kết quả đo lường chính xác.

2.2. Tương thích vật liệu trong thiết kế

Việc lựa chọn vật liệu phù hợp cho kênh vi lưu và cảm biến là rất quan trọng. Các vật liệu cần phải có tính tương thích sinh học cao, đồng thời đảm bảo khả năng chịu được các điều kiện môi trường trong quá trình sử dụng.

III. Phương pháp chế tạo kênh vi lưu tích hợp cảm biến bằng công nghệ in 3D

Phương pháp chế tạo kênh vi lưu tích hợp cảm biến bằng công nghệ in 3D đang trở thành xu hướng mới trong lĩnh vực này. Các kỹ thuật in 3D như FDM, SLA và SLS được áp dụng để tạo ra các cấu trúc phức tạp với độ chính xác cao.

3.1. Kỹ thuật in 3D FDM trong chế tạo kênh vi lưu

Kỹ thuật in 3D FDM (Fused Deposition Modeling) cho phép chế tạo các kênh vi lưu với độ chính xác cao và chi phí thấp. Phương pháp này sử dụng nhựa nhiệt dẻo để tạo ra các lớp kênh vi lưu, giúp tiết kiệm thời gian và nguyên liệu.

3.2. Kỹ thuật in 3D SLA và SLS trong thiết kế

Kỹ thuật in 3D SLA (Stereolithography) và SLS (Selective Laser Sintering) cũng được sử dụng để chế tạo kênh vi lưu. Những phương pháp này cho phép tạo ra các chi tiết phức tạp và có độ bền cao, phù hợp cho các ứng dụng trong y học và sinh học.

IV. Ứng dụng thực tiễn của kênh vi lưu tích hợp cảm biến

Kênh vi lưu tích hợp cảm biến có nhiều ứng dụng thực tiễn trong các lĩnh vực như y học, sinh học và hóa học. Các thiết bị này giúp nâng cao khả năng phân tích và kiểm soát chất lỏng, từ đó cải thiện hiệu quả trong nghiên cứu và sản xuất.

4.1. Ứng dụng trong y học

Trong y học, kênh vi lưu tích hợp cảm biến được sử dụng để phân tích mẫu máu, đo lường nồng độ thuốc và theo dõi các chỉ số sinh học. Điều này giúp nâng cao khả năng chẩn đoán và điều trị bệnh.

4.2. Ứng dụng trong nghiên cứu sinh học

Kênh vi lưu cũng được ứng dụng trong nghiên cứu sinh học để phân tích DNA, enzyme và các phản ứng sinh hóa. Việc sử dụng kênh vi lưu giúp tiết kiệm thời gian và nguyên liệu trong quá trình nghiên cứu.

V. Kết luận và tương lai của thiết kế kênh vi lưu tích hợp cảm biến

Thiết kế kênh vi lưu tích hợp cảm biến là một lĩnh vực đầy tiềm năng với nhiều ứng dụng thực tiễn. Tương lai của công nghệ này hứa hẹn sẽ mang lại nhiều đột phá trong nghiên cứu và sản xuất, đặc biệt là trong các lĩnh vực y học và sinh học.

5.1. Xu hướng phát triển công nghệ vi lưu

Công nghệ vi lưu đang phát triển mạnh mẽ với nhiều nghiên cứu mới và ứng dụng đa dạng. Xu hướng này sẽ tiếp tục mở ra nhiều cơ hội cho các nhà nghiên cứu và doanh nghiệp trong tương lai.

5.2. Tương lai của cảm biến trong kênh vi lưu

Cảm biến tích hợp trong kênh vi lưu sẽ ngày càng trở nên quan trọng, giúp nâng cao khả năng đo lường và phân tích. Sự phát triển của công nghệ cảm biến sẽ góp phần cải thiện hiệu suất của các thiết bị vi lưu trong tương lai.

22/07/2025
Luận văn thạc sĩ vnu uet thiết kế chế tạo kênh vi lưu tích hợp cảm biến dựa trên công nghệ tạo mẫu nhanh

Trích đoạn nội dung tài liệu

CHƯƠNG 1: GIỚI THIỆU VỀ CÔNG NGHỆ VI LƯU 1. Giới thiệu về công nghệ vi lưu Thuật ngữ microfluidic (vi lưu) được định nghĩa là việc xử lý và phân tích chất lỏng ở thang đo micromet. Microfluidic liên quan đến tất cả các công nghệ có khả năng điều khiển các dòng chất lưu có thể tích micro hoặc nano lit thông qua các kênh có kích thước micromet trên hệ thống vi cơ điện tử (MEMS) [1] .1 : Hình ảnh một số hệ vi kênh có cấu trúc khác nhau. Hệ thống kênh vi lưu bao gồm ba thành phần chính là lối vào (Inlets), lối ra (Outlets) và buồng phản ứng.

Hệ thống này có thể được sử dụng cho một loạt ứng dụng như dẫn thuốc, in ấn và đặc biệt là ứng dụng trong lĩnh vực sinh học phân tử như phân tích enzyme, phân tích DNA và proteomic. Chất lỏng thường được sử dụng trong các thiết bị vi lưu bao gồm toàn bộ mẫu máu, tế bào vi khuẩn, protein, DNA, hóa chất dùng cho các phản ứng sinh hóa. Các hệ thống vi lưu gồm rất nhiều loại khác nhau tương ứng với nhiều ứng dụng khác nhau như: những ứng dụng trong ngành công nghiệp in phun, trong pin nhiên liệu lỏng, nghiên cứu hóa sinh, tổng hợp hóa chất, tách chiết DNA ra khỏi tế bào, phân tích di truyền, phân tích PCR (Polymerase Chain Reaction – Phản ứng chuỗi trùng hợp), bào chế thuốc v. 12 LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail.com Việc điều khiển dòng chảy của chất lỏng ở những kích thước siêu nhỏ phụ thuộc nhiều yếu tố khác nhau như: Sức căng bề mặt của chất lỏng, sự mất mát năng lượng, sức cản chất lỏng, lưu lượng dòng chảy, v.

Cùng với sự phát triển mạnh mẽ của thiết bị vi lưu, nhiều loại vật liệu khác nhau đã được nghiên cứu và sử dụng cho mục đích chế tạo hệ vi lưu, trong đó có các vật liệu được sử dụng phổ biến như silicon, thủy tinh, và các vật liệu Polymers. Vật liệu và phương pháp chế tạo thiết bị vi lưu. Về vật liệu và chức năng, mỗi loại vật liệu đều có những ưu điểm và nhược điểm riêng, trong khi thủy tinh và silicon cũng có những ứng dụng quan trọng thì vật liệu polyme lại là vật liệu được lựa chọn phổ biến ở trong lĩnh vực này. Bên cạnh đó vật liệu tổng hợp mới có các tính năng thú vị vẫn được tạo ra để phù hợp hơn với sản xuất hàng loạt với khả năng thích ứng cao hơn và giá cả thấp hơn [3].2 Các loại vật liệu chế tạo chip vi lưu ( Microfluidic) [3].

Silicon là vật liệu đầu tiên được sử dụng cho thiết bị vi lỏng. Silic được lựa chọn do khả năng chống lại các dung môi hữu cơ, dễ lắng đọng kim loại, độ dẫn nhiệt cao và khả năng di động diện di ổn định. Tuy nhiên, vật liệu này có độ cứng cao cho nên không dễ dàng chế tạo các thành phần như van và bơm. Hóa chất nguy hiểm được sử dụng trong quá trình chế tạo cũng yêu cầu cơ sở bảo vệ.

Silicon là một vật liệu mờ đục do đó không thể nhìn xuyên qua được, vì vậy việc phát hiện huỳnh quang hoặc 13 LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail.com hình ảnh chất lỏng sẽ khá khó thực hiện. Tất cả những nhược điểm này làm cho silicon trở thành một vật liệu không hấp để sử dụng xây dựng chip vi lỏng [3]. Glass – Thủy tinh là vật liệu được chọn sau silicon để chế tạo thiết bị vi lỏng. Thủy tinh tương thích với các mẫu sinh học, nó cũng là vật liệu không thấm nước, độ hấp phụ thấp, tính dẫn nhiệt cao, tính di động điện di ổn định trên bề mặt, vi mạch làm bằng thủy tinh cung cấp hiệu suất tốt hơn so với các vật liệu khác.

Tuy nhiên bởi vì không khí có thể đi qua các tấm thủy tinh thông qua kênh và buồng phản ứng cho nên không thể nuôi cấy tế bào dài hạn. Thêm vào đó do độ cứng và chi phí chế tạo cao, nhiều hạn chế đối với ứng dụng thủy tinh trong vi lỏng ( cơ sở bảo vệ, môi trường siêu sạch để liên kết, nhiệt độ và áp suất cao cần thiết trong quá trình chế tạo, v.v) cho nên thủy tinh hay silicon cũng dần bị thay thế bởi các vật liệu giá rẻ, dễ dàng chế tạo và tương thích cho các ứng dụng sinh học rộng lớn hơn như polymers [3]. Polymers – Thiết bị vi lưu dựa trên polymer đã được giới thiệu vài năm sau thiết bị silicon/glass. Sự đa dạng của các loại polymer mang lại sự linh hoạt cao trong việc lựa chọn vật liệu phù hợp với các đặc tính cụ thể.

Polymer dễ tiếp cận và không tốn kém so với vật liệu vô cơ. Theo tính chất vật lý, polymer có thể được phân loại thành chất đàn hồi (elastomers), nhựa nhiệt dẻo (thermoplastic), nhựa nhiệt rắn (thermosets). Một số vật liệu polymer đang được sử dụng phổ biến như PDMS, Poly-methyl- methacrylate (PMMA), Poly-ethylene glycol diacrylate (PEGDA) [5]. Paper – giấy là một vật liệu linh hoạt gần đây đã trở thành một chất nền vi lỏng đầy hứa hẹn bởi vì nhiều lý do, vật liệu này chi phí thấp, có thể biến đổi hóa học dễ dàng bằng cách thay đổi thành phần, là nguồn nguyên liệu sẵn có, có thể dễ dàng xử lý bằng cách đốt hoặc tự thoái hóa.

Mặc dù là một vật liệu đầy hứa hẹn nhưng giấy chỉ có thể được sử dụng trong một vài ứng dụng hạn chế do tính chất cơ học yếu, công nghệ hạn chế. Ứng dụng chủ yếu của thiết bị vi lưu vật liệu giấy là phân tích sinh hóa, chẩn đoán y khoa, pháp y. Tuy nhiên, hầu hết các thiết bị phân tích vi lỏng giấy dựa vào phát hiện so màu bởi vì giấy thông thường là nền trắng, nó cung cấp độ tương phản cho các phương pháp phát hiện dựa trên màu sắc [3]. 14 LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail.com Ưu điểm Nhược điểm Silicon + Chống lại dung môi hữu cơ + Độ cứng cao nên không dễ dàng chế tạo + Dễ lắng đọng kim loại + Silicon là vật liệu mờ đục nên + Độ dẫn nhiệt cao khó nhìn xuyên qua dẫn đến khó khăn khi phát hiện huỳnh quang hay hình ảnh Glass + Tương thích với các mẫu sinh + Độ cứng cao, chi phí chế tạo cao học + Cần sơ sở bảo vệ và môi trường + Không thấm nước siêu sạch để liên kết + Độ hấp phụ thấp + Tính dẫn nhiệt cao + Cung cấp hiệu suất tốt hơn các vật liệu khác Polymers + Tính đa dạng cao mang lại sự + Độ hấp phụ cao với protein trên linh hoạt thành kênh + Dễ tiếp cận, ít tốn kém hơn so + Bọt khí sản sinh trong quá trình với vật liệu vô cơ sản xuất + Dễ dàng chế tạo + Độ dẫn nhiệt kém + Liên kết mạnh mẽ với thủy tinh + Thích hợp với các cấu trúc nhiều lớp 15 LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail.com + Tính tương tính sinh học cao Paper + Chi phí thấp + Tính chất cơ học yếu, công nghệ hạn chế + Biến đổi hóa học dễ dàng bằng cách thay đổi thành phần + Nguồn nguyên liệu sẵn có + Dễ xử lý bằng cách đốt hoặc tự thoái hóa Bảng 1 : Bảng tổng hợp ưu, nhược điểm các loại vật liệu chế tạo kênh dẫn vi lưu Từ bảng tổng hợp trên cho ta cái nhìn tổng quan và ngắn gọn về các loại vật liệu chế tạo kênh dẫn vi lưu.

Mỗi vật liệu đều có ưu điểm và nhược điểm riêng, tuy nhiên, do tính đa dạng, dễ tiếp cận, dễ được chế tạo của Polymer nên trong đề tài này chúng tôi chọn vật liệu Polymer làm vật liệu chế tạo kênh dẫn. Vật liệu Polymer phổ biến nhất trong các ứng dụng y sinh là PDMS do tính tương thích sinh học cao. Trong thập kỷ qua, PDMS gần như trở thành vật liệu mặc định để thiết kế các thiết bị vi lỏng bởi vì sự dễ dàng được đúc trên khuôn vi mô và sự liên kết mạnh với thủy tinh. Bản chất đàn hồi của vật liệu được khai thác để tích hợp van và bơm trên chip mặt khác đơn giản hóa việc sản xuất các thiết bị nhiều lớp vì các lớp mềm dễ dàng kết hợp với nhau.

Bản chất kỵ nước của PDMS có thể xem là một yếu tố quan trọng đối với một số ứng dụng sinh học. Chính vì những lý do này mà PDMS đã trở thành đối tượng vật liệu được tiến hành để chế tạo chip vi lưu ở trong nghiên cứu này [3]. Việc lựa chọn chính xác vật liệu sử dụng trong quy trình chế tạo rất quan trọng. Tùy từng vật liệu mà chúng ta có thể đưa ra phương pháp chế tạo phù hợp, tiêu tốn ít chi phí.

Ví dụ : - Vật liệu Silicon/ Glass : Phương pháp khắc ướt ( Wet etching) hoặc phương pháp khắc khô (Dry etching), phương pháp quang khắc. 16 LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail.com - Vật liệu Polymers (Polymethyl methacrylate (PMMA), polycarbonate, polystyrene (PS), Polydimethylsiloxane (PDMS)…) : Phương pháp khuôn đúc (Molding),. Hiện nay cũng có nhiều kỹ thuật khác nhau để chế tạo các thiết bị vi lỏng như gia công vi mô (micromachining), dập nổi (embossing) , đúc phun xây dựng tại chỗ (In situ construction injection moulding), cắt laser được sử dụng để nhân rộng và sản xuất quy mô lớn. Tuy nhiên một số kỹ thuật đòi hỏi nhiều không gian để chứa thiết bị, sử dụng nhiều lao động ( quy trình gồm nhiều bước để tạo ra sản phẩm cuối cùng), mất nhiều thời gian để tạo điều kiện thay đổi trong thiết kế và hạn chế các loại vật liệu sinh học [1].

Phương pháp chế tạo thiết bị vi lỏng PDMS là khuôn đúc, chủ yếu dựa trên việc đúc PDMS bằng khuôn. Khuôn được sử dụng để đúc PDMS thường được chế tạo bằng phương pháp quang khắc tiêu chuẩn (photolithography), điều này đòi hỏi các thiết bị trong phòng sạch và tốn nhiều công sức trong trường hợp các thiết bị vi lỏng 3D tinh vi. Đáng chú ý là khi một khuôn được thiết kế với nhiều độ cao kênh microfluidic thì việc chế tạo trở lên khó khăn hơn, đòi hỏi nhiều bước như chuẩn bị photo-masks, spin-coating quang học, bake, tiếp xúc với tia UV,v. Các bước dài này lặp lại tùy thuộc vào số lượng độ cao kênh.

Quá trình này tốn thời gian, tốn nhiều công sức và chi phí. Hơn nữa, mỗi bước đòi hỏi thiết bị chuyên dụng và phải được thực hiện hoàn thành trong phòng sạch [6]. Để khắc phục các vấn đề cố hữu trong chế tạo khuôn của phương pháp quang khắc mềm, phương pháp sản xuất khuôn vi lỏng sử dụng công nghệ in 3D ra đời. Phương pháp chế tạo in 3D trong lĩnh vực vi lỏng.

Nội dung được bảo vệ bản quyền — Tải xuống đầy đủ