Chương 1. Tổng quan về vật liệu bán dẫn Ge và Si: Giới thiệu chung về cấu tạo, tính chất, cấu trúc vùng năng lượng của Ge, Si, SiO2 và các hiệu ứng xảy ra trên vật liệu kích thước nano. Các phương pháp nghiên cứu và chế tạo vật liệu: Trình bày các phương pháp nghiên cứu, quy trình của công nghệ phún xạ catốt, các kỹ thuật thực nghiệm để khảo sát cấu trúc, hình thái và tính chất vật lý của vật liệu. Các đặc trưng vật lý của vật liệu: Trình bày sự hình thành tinh thể Si1- xGex và phân tích cấu trúc của vật liệu trên cơ sở các phép đo XRD, phổ hấp thụ, phổ Raman, TEM, HR-TEM, phổ phát xạ huỳnh quang, phổ hấp thụ cảm ứng.
Nghiên cứu các quá trình vận động của hạt tải điện được sinh ra sau quá trình kích thích quang học và đưa ra cơ chế, mô hình giải thích cho các quá trình vận động của hạt tải này. Ứng dụng lý thuyết phiếm hàm mật độ và phương pháp k.p trong nghiên cứu vật liệu: Sử dụng lý thuyết DFT-GGA và phương pháp k.p nghiên cứu sự hình thành, sự thay đổi độ rộng vùng cấm của hệ vật liệu hợp kim đơn tinh thể Si1-xGex khi x thay đổi 0,2 ÷ 0,8. Tổng quan về vật liệu bán dẫn Ge và Si 1. Cấu trúc vùng năng lượng và quá trình tái hợp phát xạ của các hạt tải điện trong vật liệu bán dẫn 1.
Cấu trúc vùng năng lượng vật liệu bán dẫn Cấu trúc vùng năng lượng quyết định trực tiếp đến tính chất phát quang của vật liệu bán dẫn. Việc tìm hiểu cấu trúc năng lượng của vật liệu là cần thiết. Ở nhiệt độ thấp, bán dẫn là những chất có các dải năng lượng gồm các vùng cho phép điền đầy hoàn toàn và các vùng trống hoàn toàn. Trong đó vùng trống hoàn toàn thấp nhất là vùng dẫn, mức năng lượng cực tiểu của vùng dẫn gọi là đáy vùng dẫn, kí hiệu EC.
Vùng điền đầy cao nhất là vùng hóa trị, mức năng lượng cực đại của vùng hóa trị gọi là đỉnh vùng hóa trị, kí hiệu EV. Khoảng cách giữa 2 mức năng lượng Eg EC EV : gọi là độ rộng vùng cấm. Đối với bán dẫn E g nằm trong khoảng 0,3 ÷ 4,0 eV [1],[7]. Trạng thái điện tử trong các vùng năng lượng cho phép được đặc trưng bởi năng lượng và vectơ sóng k (k x , k y , k z ).
Ở lân cận các điểm cực trị, sự phụ thuộc giữa năng lượng E và vectơ sóng k là E k có thế xem gần đúng có dạng một hàm bậc hai, tương ứng như sau [8]: 2 2 k Đối với điện tử: E (k ) EC (1.1) 2m*e 2 k2 Đối với lỗ trống: E (k ) Ev (1.2) 2m* p h Với : là hằng số Planck rút gọn; k : véc tơ sóng trong không gian k. 2 Trong trường hợp tổng quát khối lượng hiệu dụng của điện tử m*e và lỗ trống m*p là những đại lượng tenxơ phụ thuộc vào hướng trong tinh thể. Dựa vào cấu trúc của vùng cấm, người ta chia bán dẫn ra làm 2 loại khác nhau: Bán dẫn có đỉnh của vùng hóa trị và đáy vùng dẫn có cùng một vectơ sóng k gọi là bán dẫn vùng cấm thẳng. Sự chuyển mức mức năng lượng trong cùng một vectơ sóng gọi là chuyển mức thẳng (hình 1.1 Bán dẫn vùng cấm thẳng Bán dẫn có đỉnh của vùng hóa trị và đáy vùng dẫn không cùng một vectơ sóng k gọi là bán dẫn vùng cấm xiên.
Sự chuyển mức xảy ra giữa hai mức năng lượng này trong bán dẫn này gọi là chuyển mức xiên (hình 1. Trong nghiên cứu này hai vật liệu bán dẫn vùng cấm xiên điển hình sẽ được nghiên cứu. Các đặc trưng cơ chế của loại vật liệu này sẽ được trình bày chi tiết ở phần sau.2 Bán dẫn vùng cấm xiên 1. Quá trình tái hợp bức xạ trong vật liệu bán dẫn Bức xạ (hiện tượng phát ra năng lượng dưới dạng sóng điện từ: photon) là quá trình ngược của quá trình hấp thụ.
Khi tinh thể bị kích thích, nghĩa là nhận được một 10 năng lượng nào đó, điện tử chuyển lên trạng thái có năng lượng cao hơn trạng thái trong điều kiện cân bằng. Điện tử chỉ tồn tại ở trạng thái kích thích trong một thời gian rất ngắn gọi là thời gian sống của hạt tải điện, sau đó nó chuyển về trạng thái trống có năng lượng thấp hơn. Chuyển dời này có thể kèm theo bức xạ hoặc không kèm theo bức xạ. Trong các chuyển dời không kèm theo bức xạ, năng lượng giải phóng ra được truyền cho mạng tinh thể (phonon), các hạt tải điện khác (hiệu ứng Auger) hoặc plasma điện tử - lỗ trống (dao động plasma).
Trong các chuyển dời có kèm theo bức xạ, toàn bộ hoặc phần lớn năng lượng chênh lệch giữa hai trạng thái được giải phóng bằng cách phát ra sóng điện từ (photon). Khi đó trong tinh thể xảy ra quá trình phát quang hay quá trình tái hợp bức xạ [8]. Muốn tinh thể phát quang, phải làm cho tinh thể lệch khỏi trạng thái cân bằng bằng cách kích thích nó. Căn cứ vào phương pháp kích thích người ta chia huỳnh quang thành các loại như sau: Quang huỳnh quang là hiện tượng phát quang khi chiếu vào tinh thể ánh sáng có bước sóng thích hợp h Eg .
Điện huỳnh quang là hiện tượng phát quang khi kích thích mẫu bằng dòng điện hay điện trường. Catốt huỳnh quang là hiện tượng phát quang khi bắn phá mẫu bằng chùm tia điện tử năng lượng cao (1 ÷ 100 keV). Nhiệt huỳnh quang là hiện tượng phát quang khi gia nhiệt cho mẫu. Không phụ thuộc vào dạng kích thích, thì các cơ chế phát huỳnh quang trong tinh thể có thể xảy ra theo các cơ chế trình bày dưới đây.
Tái hợp vùng - vùng Là tái hợp bức xạ giữa các điện tử tự do trong vùng dẫn và lỗ trống trong vùng hóa trị. Trong vật liệu bán dẫn nếu đỉnh vùng hóa trị và đáy vùng dẫn cùng nằm trên một vectơ sóng thì chuyển mức trong bán dẫn là chuyển mức vùng – vùng thẳng gọi là chuyển mức thẳng. Khi điện tử hấp thụ một photon, nếu năng lượng của photon kích thích ≥ Eg thì điện tử sẽ chuyển lên vùng dẫn. Trong khi đó, ở vùng hóa trị đồng thời xuất hiện một lỗ trống tương ứng và lỗ trống này có xu hướng chuyển về đỉnh vùng hóa trị.
Khi ở trong vùng dẫn các điện tử có xu hướng chuyển về đáy vùng dẫn [8].3 Mô hình tái hợp chuyển mức vùng – vùng Thời gian hồi phục của điện tử và lỗ trống về đáy vùng dẫn và đỉnh vùng hóa trị tương ứng là 10-14 đến 10-12 giây. Sau thời gian hồi phục, điện tử và lỗ trống đã ở điểm cực trị của các vùng năng lượng, sau đó xảy ra quá trình tái hợp giữa điện tử và lỗ trống. Quá trình tái hợp vùng - vùng của chuyển mức thẳng xảy ra tuân theo định luật bảo toàn năng lượng và bảo toàn xung lượng. hv Ec Ev (1.4) Ở đây EC là năng lượng cực tiểu của vùng dẫn, EV là năng lượng cực đại của vùng hóa trị kc , kv là véc tơ sóng của điện tử và lỗ trống [1],[8].
Mô hình tái hợp chuyển mức thẳng mô tả như hình 1. Tái hợp cặp donor – acceptor Trường hợp trong chất bán dẫn xuất hiện đồng thời các tạp chất donor và acceptor thì sẽ xảy ra tương tác Coulomb giữa donor và acceptor. Nếu nồng độ của chúng đủ lớn thì có thể xảy ra tái hợp bức xạ giữa điện tử của donor và lỗ trống của acceptor. Nếu hai tạp chất này cách nhau một khoảng r thì năng lượng của photon phát ra có độ lớn là: q2 h Eg E A ED (1.5) r Trong đó Eg là năng lượng vùng cấm, ED là năng lượng của donor, EA là năng 2 lượng của acceptor, q là năng lượng tương tác Coulomb giữa donor và acceptor.
Tái r hợp thông qua các donor và acceptor được mô tả như hình 1.4 Mô hình tái hợp donor và acceptor 1. Tái hợp bức xạ exciton Khi chất bán dẫn có độ tinh khiết cao và bị kích thích bằng ánh sáng với năng lượng cao hơn năng lượng của vùng cấm, trong chất bán dẫn sẽ hình thành các cặp điện tử và lỗ trống. Các cặp điện tử và lỗ trống này có thể chuyển động tự do trong bán dẫn và đóng góp trực tiếp vào độ dẫn điện của chất bán dẫn. Trong một số trường hợp, do tương tác Coulomb điện tử và lỗ trống hút nhau, những trạng thái liên kết đặc biệt giữa điện tử và lỗ trống có thể xuất hiện.
Năng lượng photon cần thiết để tạo ra các trạng thái này nhỏ hơn năng lượng vùng cấm, cặp điện tử - lỗ trống liên kết với nhau như vậy tạo thành các giả hạt gọi là exciton. Quá trình tái hợp các hạt tải sẽ triệt tiêu exciton và phát ra phổ bức xạ dải khá hẹp dưới dạng năng lượng ánh sáng hoặc năng lượng phonon. Tái hợp exciton được mô tả như hình 1. Trường hợp bán dẫn có vùng cấm thẳng, năng lượng tái hợp bức xạ có dạng: Eex* c h Eg Eexc Eg (1.6) n2 Trong đó Eexc : năng lượng liên kết exciton Tuy nhiên, cường độ của các vạch exciton ứng với các trạng thái kích thích (n >2) giảm rất nhanh (cường độ tỷ lệ với n-3), vì thế trong thực nghiệm thường chỉ quan sát thấy các vạch exciton ứng với trạng thái n = 1, 2.
Trường hợp bán dẫn có vùng cấm xiên, định luật bảo toàn xung lượng được thoả mãn khi có sự tham gia của phonon quang với năng lượng EP p. Bức xạ exciton có thể có sự tham gia của một hay nhiều phonon. Đối với bán dẫn có vùng cấm xiên, trong quá trình chuyển dời điện tử, khi đó photon phát ra có năng lượng: h Eg Eexc E p (1.5 Mô hình tái hợp bức xạ exciton; (a) Chuyển dời thẳng với sự tham gia của các phonon; (b) Chuyển dời nghiêng với sự tham gia của phonon Cần chú ý là mặc dù với xác suất thấp, các chuyển dời thẳng với sự tham gia của một hoặc nhiều phonon cũng có thể xảy ra, như hình 1. Trong trường hợp này, năng lượng photon phát ra là: h Eg Eexc mE p (1.8) Với m: là số phonon phát ra trong quá trình chuyển dời.
Rõ ràng m càng lớn, xác xuất chuyển dời càng thấp và vạch huỳnh quang tương đối yếu [1], [8].