CHƯƠNG 1 : TỔNG QUAN. KHÁI QUÁT VỀ CẢM BIẾN KHÍ. Cảm biến khí trở hóa dựa trên vật liệu SMOs. Cấu trúc cảm biếnkhí trở hóa.
Đặc trưng của cảm biến khí. Thời gian đáp ứng và hồi phục. Giới hạn đo khí. Nhiệt độ làm việc.
Các nhân tố ảnh hưởng đến độ nhạy của cảm biến. Thành phần hóa học. Hình thái bề mặt. Độ ẩm và nhiệt độ.
MỘT SỐ PHƯƠNG PHÁP CẢI THIỆN ĐỘ CHỌN LỌC CỦA CẢM BIẾN KHÍ. VẬT LIỆU ZnO VÀ NiO. Cấu trúc và các tính chất của vật liệu ZnO. Cấu trúc vật liệu ZnO.
Cấu trúc vùng năng lượng của vật liệu ZnO .Tính chất điện của vật liệu ZnO. Tính chất quang của vật liệu ZnO. Cấu trúc và tính chất của vật liệu NiO. CƠ CHẾ NHẠY KHÍ VÀ VAI TRÒ CỦA CHẤT XÚC TÁC NiO TRÊN ZnO.
Hấp phụ vật lý và hấp phụ hóa học. Hấp phụ vật lý. Hấp phụ hóa học. Cơ chế nhạy khí.
Cơ chế nhạy khí của dây nano biến tính bề mặt trên cơ sở tiếp xúc dị thể p-n. Vai trò của NiO trên bề mặt ZnO. PHƯƠNG PHÁP ĐO CẢM BIẾN KHÍ. Phương pháp đo tĩnh.
Phương pháp đo động. HỢP CHẤT HỮU CƠ DỄ BAY HƠI. 43 CHƯƠNG 2: THỰC NGHIỆM CHẾ TẠO VÀ PHƯƠNG PHÁP KHẢO SÁT MẪU. THỰC NGHIỆM CHẾ TẠO MẪU.
Hóa chất và thiết bị chế tạo mẫu. Phương pháp chế tạo vật liệu nano ZnO có cấu trúc phân nhánh. Phương pháp biến tính bề mặt ZnO bởi các hạt xúc tácNiO. MỘT SỐ PHƯƠNG PHÁP KHẢO SÁT MẪU.
Phép đo nhiễu xạ tia X. Phép đo phổ tán sắc theo năng lượng. Chụp ảnh hiển vi điện tử quét. Phép đo phổ huỳnh quang.
Phép đo tính chất điện và tính chất nhạy khí. 52 CHƯƠNG 3 : KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN. ĐẶC TRƯNG CỦA VẬT LIỆU NANO ZnO-H VÀ NiO/ZnO-H. Hình thái bề mặt và tính chất vi cấu trúc.
Kết quả đo phổ nhiễu xạ tia X. Kết quả đo phổ tán sắc năng lượng. Hiển vi điện tử quét. Phổ huỳnh quang.
Tính chất điện. TÍNH CHẤT NHẠY HƠI ACETONE CỦA CẢM BIẾN ZnO-H VÀ NiO/ZnO-H. Ảnh hưởng của nhiệt độ làm việc đến tính chất nhạy khí của cảm biến. Ảnh hưởng của nhiệt độ làm việc đến tính chất nhạy khí của cảm biến dựa trên cấu trúc phân nhánh ZnO-H.
Ảnh hưởng của nhiệt độ làm việc đến tính chất nhạy khí của cảm biến dựa trên cấu trúc phân nhánh ZnO biến tính bề mặt bởi các hạt nano NiO (NiO/ZnO-H). So sánh độ hồi đáp hơi acetone của cảm biến dựa trên cấu trúc ZnO-H và cấu trúc NiO(4min)/ZnO-H. Ảnh hưởng của nồng độ NiO lên tính chất nhạy khí của lớp nhạy NiO/ZnO-H. Độ chọn lọc của cảm biến.
76 DANH MỤC CÔNG TRÌNH ĐÃ CÔNG BỐ. 77 DANH MỤC TÀI LIỆU THAM KHẢO. 78 QUYẾT ĐỊNH GIAO ĐỀ TÀI LUẬN VĂN (BẢN SAO) DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT Chữ viết tắt Tên đầy đủ Nghĩa tiếng Việt SMOs Semiconductor metal oxydes Ô xít kim loại bán dẫn XRD X-ray Difraction Nhiễu xạ tia X SEM Scanning Electron Microscope Kính hiển vi điện tử quét PL Photoluminescence Huỳnh quang Hợp chất hữu cơ dễ VOCs Volatile Organic Compounds bay hơi Energy Dispersive EDS Tán sắc theo năng lượng Spectrometer DANH MỤC BẢNG Trang Bảng 1.1: Phân loại cảm biến khí của IUPAC năm 1991.2: Các thông số vật lý của ZnO.3: So sánh hấp phụ vật lý và hấp phụ hóa học.1: Độ đáp ứng của cảm biến khí dựa trên cấu trúc ZnO-H và 69 NiO(4min)/ZnO-H với 1,863% acetone ở các nhiệt độ làm việc khác nhau. DANH MỤC HÌNH VẼ Trang Hình 1.1: Mô hình tổng quát của cảm biến khí.2: Một số cấu trúc của cảm biến khí: (a) khối thiêu kết, (b) lớp 12 nhạy mỏng phủ lên ống nhôm, (c) đế mỏng in lên màng, (d) điện cực là cuộn dây và trục Pt đưa vào hạt đậu nhỏ, (e) hạt đậu nhỏ với điện cực và cuộn dây gia nhiệt, (f) những linh kiện lắp thành thiết bị cảm biến khí, nắp kim loại và tấm lọc.3: (a) Khả năng đáp ứng khí acetone của cảm biến dựa trên 15 NiO/ZnO ở 100 ppm, 300oC, (b) Khả năng đáp ứng khí acetone của cảm biến dựa trên NiO/ZnO ở 100 ppm, 300oC ở ngày thứ 6, 12, 18.4: Thời gian đáp ứng và thời gian hồi phục.5: Phản ứng của các bộ cảm biến đơn ô xít và hợp chất ô xít 19 đối với ethanol 5 ppm ở 100% RH.6: Mô hình sơ đồ ảnh hưởng của kích thước tinh thể đến độ 21 nhạy của cảm biến khí ô xít kim loại.7: Các cách tiếp cận chính để phát hiện chọn lọc khí.8: Độ đáp ứng của cảm biến với 100 ppm ethanol ở các nhiệt 25 độ khảo sát.9: Độ phản ứng của cảm biến 2-PtW với các khí với nồng độ 25 5 ppm ở 140oC.10: Nguyên lý làm việc của bộ lọc vật lý (a) và bộ lọc hóa học 26 (b).11: Cấu trúc tinh thể của ZnO ở ba dạng (a) Rocksalt, (b) Zinc 27 blende và (c) Wurtzite.
Hình cầu màu xám và màu đen biểu thị cho nguyên tử Zn và O tương ứng.12: Cấu trúc vùng năng lượng của ZnO.13: Biểu đồ biểu diễn trường tinh thể và spin quỹ đạo chia 29 vùng hoá trị của ZnO thành 3 vùng con A, B và C ở nhiệt độ 4,2 K.14: Phổ huỳnh quang của ZnO đo được ở nhiệt độ phòng của 31 nano tinh thể ZnO.15: Ô mạng cơ sở của NiO Hình 1.16: Mô hình Lennard-Jones của chất hấp phụ vật lý (a) và chất 33 hấp phụ hóa học (b).17: Mô hình liên kết của các hạt đơn tinh thể và sự tạo thành 37 hàng rào thế giữa các hạt tinh thể của vật liệu bán dẫn loại n khi có sự hấp phụ oxy.18: Cơ chế nhạy của dây nano biến tính trên cơ sở chuyển tiếp 39 p-n.(a) Dây nano loại n biến tính với hạt nano loại p; (b) sự hình thành vùng nghèo của dây nano biến tính với nồng độ hạt tải của vật liệu biến tính lớn hơn nhiều so với dây nano, (c) trường hợp ngược lại; (d,e) mô hình vùng năng lượng của dây nano và vật liệu biến tính trước và sau khi biến tính.19: Cơ chế nhạy khí của ZnO, ZnO biến tính bởi các hạt nano 41 NiO.1: Một số dụng cụ chính dùng trong chế tạo mẫu: máy khuấy 46 từ (a), đế Al2O3 tích hợp điện cực vàng (b), hệ phun tĩnh điện (c), tủ sấy (d), đèn tử ngoại có mật độ công suất 0,127 mW/cm2 (e)và kính hiển vi quang học (f).2: Sơ đồ tạo sợi nano ZnAc/PVP bằng phương pháp phun tĩnh 47 điện.3: Quy trình chế tạo mẫu NiO/ZnO-H.4: Ảnh nhiễu xạ tia X.5: Thiết bị đo phổ huỳnh quang và kích thích huỳnh quang tại 52 viện Tiên tiến Khoa học và Công nghệ (AIST), Trường Đại học Bách khoa Hà Nội.6: Hệ đo nhạy khí (a), ảnh phóng đại buồng đo nhạy khí (b) 53 tại phòng Vật lý chất rắn – Đại học Quy Nhơn.1: Giãn đồ XRD của mẫu ZnO–NFs, ZnO-H, 55 NiO(2min)/ZnO-H, NiO(16min)/ZnO-H và NiO(24min)/ZnO-H.2: Giãn đồ XRD của mẫu ZnO–NFs, ZnO-H, 56 NiO(2min)/ZnO-H, NiO(16min)/ZnO-H và NiO(24min)/ZnO-H phóng đại ở 3 đỉnh nhiễu xạ ứng với các mặt phẳng mạng (100), (002) và (101).4: Ảnh SEM của ZnO-NFs ở độ phóng đại khác nhau: (a) 58 10k và (b) 80k.5: Ảnh SEM của ZnO-H ở độ phóng đại khác nhau: (a) 10k 59 và (b) 100k.6: Ảnh SEM của NiO(16min)/ZnO-H ở độ phóng đại khác 60 nhau: (a) 10k và (b) 100k.7: Phổ huỳnh quang của mẫu ZnO-H, NiO(2min)/ZnO-H, 61 NiO(8min)/ZnO-H, NiO(16 min)/ZnO-H dưới bước sóng kích thích 325 nm ở nhiệt độ 300K.8: Tính chất I-V trong môi trường không khí của cảm biến dựa 63 trên cấu trúc phân nhánh ZnO-H (a) và NiO(4min)/ZnO-H (b). Sự thay đổi điện trở trong môi trường không khí của các cảm biến đã chế tạo theo nhiệt độ làm việc khác nhau (c).9: Tính chất I-V (a) và sự phụ thuộc điện trở (b) của các cảm 65 biến NiO/ZnO-H với thời gian lắng đọng NiO tại nhiệt độ 280C.10: Tính chất hồi đáp kiểu điện trở của cảm biến dựa trên cấu 66 trúc phân nhánh ZnO (ZnO-H) đối với 1,863% hơi acetone nồng độ ở nhiệt độ 200C, 240C, 280C và 320C.11: Tính chất hồi đáp kiểu điện trở của cảm biến dựa trên cấu 68 trúc phân nhánh ZnO biến tính bề mặt bởi hạt nano NiO với thời gian chiếu xạ 4 phút (NiO(4min)/ZnO-H) đối với hơi acetone nồng độ 1,863% ở nhiệt độ 200C, 240C, 280C, 320C.12: Độ hồi đáp của cảm biến khí dựa trên cấu trúc ZnO-H và 69 NiO(4min)/ZnO-H với 1,863% acetone ở các nhiệt độ khác nhau.13: Tính chất hồi đáp hơi acetone với nồng độ 1,863% của 72 cảm biến dựa trên cấu trúc NiO(4min)/ZnO-H (a), NiO(8min)/ZnO-H (b), NiO(16min)/ZnO-H (c), NiO(24min)/ZnO-H (d) ở nhiệt độ làm việc của cảm biến 280C.14: Sự phụ thuộc của độ đáp ứng của các cảm biến theo thời 73 gian lắng đọng NiO khác nhau tại nhiệt độ làm việc của cảm biến 280C.15: Độ hồi đáp (a) và độ chọn lọc (b) của cảm biến dựa trên 75 cấu trúc ZnO-H và NiO(8 min)/ZnO-H đối với ba loại khí VOCs gồm acetone, ethanol và methanol cùng nồng độ 0,4769% các nhiệt độ làm việc khác nhau. Lý do chọn đề tài Hầu như các hoạt động hằng ngày của con người như: lái xe, nấu ăn, đốt lửa, sơn nhà, sử dụng thuốc trừ sâu,.và từ khi cuộc cách mạng công nghiệp bùng nổ, nhiều hoạt động công nghiệp như kĩ thuật tách nước, lọc dầu, chế tạo khí tự nhiên, hóa dầu,… đã thải ra các chất gây ô nhiễm môi trường bao gồm khí độc và các hợp chất hữu cơ dễ cháy (VOCs). Một số nghiên cứu đã chỉ ra rằng nồng độ của VOCs ở trong nhà cao hơn ngoài trời lên đến 10 lần và người ta ước tính có từ 50 đến 300 loại VOCs khác nhau được phát hiện trong không khí trong nhà, cơ quan, trường học, các tòa nhà thương mại tại bất kì thời điểm nào.
Hơn nữa, một loạt các sản phẩm chăm sóc con người trong suốt thời gian sử dụng, có thể giải phóng một lượng VOCs đáng kể vào không khí. Một vài hợp chất hữu cơ dễ bay hơi được xác định có độc tính cao (gây buồn nôn, chóng mặt, đau đầu, ho, …) hoặc chất gây ung thư trong tự nhiên có tác động đến sức khỏe con người cũng như hệ sinh thái tự nhiên. Mức VOCs được sử dụng làm thông số để kiểm soát chất lượng không khí trong nhà [1][2].