Luận văn thạc sĩ về cấu trúc nano có kiểm soát thông qua chất xúc tác và khắc bằng ống carbon

Trường đại học

Trường Đại Học Công Nghệ

Người đăng

Ẩn danh

Thể loại

Luận văn thạc sĩ

2014

111
2
0

Phí lưu trữ

35 Point

Mục lục chi tiết

LỜI CAM ĐOAN

LỜI CÁM ƠN

MỤC LỤC

DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT

DANH MỤC CÁC BẢNG BIỂU

DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ, ĐỒ THỊ

LỜI MỞ ĐẦU

1. CHƯƠNG 1: ỐNG THAN NANO (CARBON NANOTUBES)

1.1. Lịch sử than ống nano

1.2. Chế tạo CNTs bằng phương pháp phóng điện hồ quang (Arc Discharge)

1.3. Chế tạo CNTs bằng phương pháp dùng nguồn laze

1.4. Chế tạo CNTs bằng phương pháp ngưng tụ hơi hóa học CVD

2. CHƯƠNG 2: KÍNH HIỂN VI LỰC NGUYÊN TỬ VÀ PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO ĐẦU DÒ CNT AFM PROBES

2.1. Lịch sử kính hiển vi lực nguyên tử

2.2. Nguyên lý hoạt động

2.3. Phương pháp chế tạo đầu dò CNT AFM tại trung tâm nghiên cứu triển khai Khu Công Nghệ Cao Tp

3. CHƯƠNG 3: KỸ THUẬT KHẮC ĐẦU DÒ QUÉT SPL_SCANNING PROBE LITHOGRAPHY

3.1. Chế tạo nano bằng dựa trên lực

3.2. Thao tác bằng đầu dò AFM (Nano-manipulation)

3.3. Kỹ thuật khắc nhúng Dip-pen nanolithography (DPN)

3.4. Kỹ thuật ghi cơ nhiệt và kỹ thuật milipede

3.5. Kỹ thuật khắc hỗ trợ áp điện (Bias-assisted AFM nanolithography)

3.6. Sự oxi hóa vật liệu bán dẫn (Oxidation of semiconductors)

3.7. Quá trình oxi hóa bề mặt kim loại (Oxidation of metals)

3.8. Quá trình oxi hóa bề mặt chức năng/ thụ động (Oxidation of molecularly functionalized/passivated surfaces)

4. CHƯƠNG 4: QUY TRÌNH THỰC NGHIỆM

4.1. Hóa chất và thiết bị

4.2. Thiết bị chế tạo

4.3. Các phương pháp phân tích

4.4. Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FE SEM)

4.5. Kính hiển vi điện tử truyền qua TEM

4.6. Thiết bị quang phổ Micro Raman (Raman Spectroscope)

4.7. Kính hiển vi lực nguyên tử AFM

4.8. Chế tạo dây Cartridges chứa than ống nano các bon và đầu dò CNT-AFM

4.9. Chế tạo dây Cartridges chứa than ống nano các bon

4.10. Chế tạo đầu dò CNT-AFM

4.11. Quá trình chuẩn bị đế foil và phủ màng chất cảm quang PMMA

4.12. Tổng quát về foil thép không dỉ

4.13. Quá trình oxi hóa và khử bề mặt đế kim loại

4.14. Phủ màng PMMA trên đế kim loại đã được xử lý bề mặt

4.15. Viết và sử dụng chương trình Lithography

4.16. Thực hiện quá trình khắc (SPL- Scanning Probe Lithgraphy)

4.17. Trên HOPG (Highly Ordered Pyrolytic Graphite) là vật liệu

4.18. Trên đế kim loại đã bị oxi hóa

4.19. Trên lớp PMMA phủ trên đế kim loại đã bị oxi hóa

4.20. Quá trình chế tạo than ống các bon hình thành tương ứng với vị trí khắc

5. CHƯƠNG 5: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN

5.1. Chế tạo dây Catridges và đầu dò CNT AFM. Kết quả hình ảnh bề mặt mẫu

5.2. Bề mặt mẫu sau khi tiến hành quá trình oxi hóa và khử

5.3. Bề mặt mẫu sau khi tiến hành quá trình phủ chất cảm quang PMMA. Kết quả quá trình khắc SPL

5.4. Sự hình thành than ống nano bằng phương pháp lắng đọng hơi màng hóa học có sự hỗ trợ hơi nước

KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ

TÀI LIỆU THAM KHẢO

Luận văn thạc sĩ vnu uet tạo dựng cấu trúc nanô có kiểm soát thông qua chất xúc tác với cấu trúc còn giữ lại sử dụng quá trình khắc bằng ống các bon nanô luận văn ths vật liệu và linh kiện nanô