Luận văn thạc sĩ: Thiết kế và thử nghiệm cảm biến góc nghiêng điện tử cấu trúc hai pha lỏng khí

Luận văn thạc sĩ nghiên cứu vnu uet thiết kế chế tạo và thử nghiệm cảm biến góc nghiêng điện tử cấu trúc hai pha lỏng khí, đánh giá hiện trạng, phân tích vấn đề, đề xuất biện pháp

2016

60
2
0

Phí lưu trữ

30 Point

Mục lục chi tiết

LỜI CẢM ƠN

LỜI CAM ĐOAN

1. CHƯƠNG 1: GIỚI THIỆU VỀ CẢM BIẾN ĐO GÓC NGHIÊNG VÀ ỨNG DỤNG

1.1. Một số ứng dụng của cảm biến đo góc nghiêng

1.2. Một số phương pháp đo góc nghiêng

2. CHƯƠNG 2: LÝ THUYẾT VỀ TỤ ĐIỆN VÀ CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG

2.1. Điện dung của tụ điện

2.2. Mạch điện cơ bản đo điện dung

2.3. Cảm biến điện dung

2.4. Hằng số điện môi

3. CHƯƠNG 3: THIẾT KẾ, MÔ PHỎNG CẢM BIẾN GÓC NGHIÊNG ĐIỆN TỬ CẤU TRÚC HAI PHA LỎNG – KHÍ

3.1. Cấu trúc cảm biến góc nghiêng kiểu tụ

3.2. Mô phỏng hoạt động của cảm biến bằng COMSOL

4. CHƯƠNG 4: CHẾ TẠO, ĐO ĐẠC THỬ NGHIỆM CẢM BIẾN ĐO GÓC NGHIÊNG ĐIỆN TỬ

4.1. Mạch điện cảm biến góc nghiêng điện tử

4.2. Thiết lập hệ đo đạc và thử nghiệm

4.3. Kết quả đo đạc và thảo luận

DANH MỤC CÔNG TRÌNH KHOA HỌC CỦA TÁC GIẢ LIÊN QUAN ĐẾN LUẬN VĂN

TÀI LIỆU THAM KHẢO

Trích đoạn nội dung tài liệu

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ TRẦN MINH CƯỜNG THIẾT KẾ, CHẾ TẠO VÀ THỬ NGHIỆM CẢM BIẾN GÓC NGHIÊNG ĐIỆN TỬ CẤU TRÚC HAI PHA LỎNG – KHÍ LUẬN VĂN THẠC SĨ CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ, TRUYỀN THÔNG HÀ NỘI - 2016 LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail.com ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ TRẦN MINH CƯỜNG THIẾT KẾ, CHẾ TẠO VÀ THỬ NGHIỆM CẢM BIẾN GÓC NGHIÊNG ĐIỆN TỬ CẤU TRÚC HAI PHA LỎNG – KHÍ Ngành : Công nghệ Kỹ thuật Điện tử, Truyền thông Chuyên ngành : Kỹ thuật Điện tử Mã ngành : 60520203 LUẬN VĂN THẠC SĨ CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ, TRUYỀN THÔNG NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: TS. Bùi Thanh Tùng HÀ NỘI - 2016 LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail.com i Lời cảm ơn Để hoàn thành đề tài này, tôi xin chân thành cảm ơn các Thầy Cô giáo đã tận tình hướng dẫn, giảng dạy trong suốt quá trình học tập, nghiên cứu và rèn luyện cũng như trong quá trình thực hiện đề tài ở trường Đại học Công Nghệ - ĐHQGHN. Tôi xin cảm ơn các Thầy Cô giáo đã có những ý kiến đóng góp và động viên kịp thời giúp tôi hoàn thành luận văn này. Trong quá trình thực hiện luận văn không thể tránh khỏi những sai sót, tôi rất mong nhận được những ý kiến đóng góp của quý Thầy Cô và tất cả các bạn đọc để tôi có thể tiếp tục phát triển và hoàn thiện đề tài này. Hà Nội, tháng 6, 2016 Trần Minh Cường LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail.com ii Lời cam đoan Tôi xin cam đoan đề tài “THIẾT KẾ, CHẾ TẠO VÀ THỬ NGHIỆM CẢM BIẾN GÓC NGHIÊNG ĐIỆN TỬ CẤU TRÚC HAI PHA LỎNG – KHÍ” do TS. Bùi Thanh Tùng hướng dẫn là công trình nghiên cứu của tôi, không sao chép các tài liệu hay công trình của người nào khác. Tất cả những tài liệu tham khảo phục vụ cho đồ án này đều được nêu nguồn gốc rõ ràng trong danh mục tài liệu tham khảo và không có việc sao chép tài liệu hoặc đề tài khác mà không ghi rõ về tài liệu tham khảo. Hà Nội, tháng 6, 2016 Trần Minh Cường LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail.com iii Mục lục Lời cảm ơn .i Lời cam đoan .ii Mục lục . iii Danh mục hình vẽ .iv Danh mục bảng biểu .vi Tóm tắt luận văn .vii MỞ ĐẦU . 1 Mục tiêu của đề tài . 2 CHƯƠNG 1: GIỚI THIỆU VỀ CẢM BIẾN ĐO GÓC NGHIÊNG VÀ ỨNG DỤNG 3 1. Một số ứng dụng của cảm biến đo góc nghiêng . Một số phương pháp đo góc nghiêng . 4 CHƯƠNG 2: LÝ THUYẾT VỀ TỤ ĐIỆN VÀ CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG. Điện dung của tụ điện . Mạch điện cơ bản đo điện dung . Cảm biến điện dung . Hằng số điện môi . 23 CHƯƠNG 3: THIẾT KẾ, MÔ PHỎNG CẢM BIẾN GÓC NGHIÊNG ĐIỆN TỬ CẤU TRÚC HAI PHA LỎNG – KHÍ . Cấu trúc cảm biến góc nghiêng kiểu tụ . Mô phỏng hoạt động của cảm biến bằng COMSOL . 28 CHƯƠNG 4: CHẾ TẠO, ĐO ĐẠC THỬ NGHIỆM CẢM BIẾN ĐO GÓC NGHIÊNG ĐIỆN TỬ . Mạch điện cảm biến góc nghiêng điện tử . Thiết lập hệ đo đạc và thử nghiệm . Kết quả đo đạc và thảo luận . 47 DANH MỤC CÔNG TRÌNH KHOA HỌC CỦA TÁC GIẢ LIÊN QUAN ĐẾN LUẬN VĂN . 48 TÀI LIỆU THAM KHẢO . 49 LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail.com iv Danh mục hình vẽ Hình 1.1: Một số ứng dụng của cảm biến góc nghiêng (nguồn: Internet) .2: Một số dụng cụ đo góc nghiêng cơ học (nguồn: Internet) .3: Cảm biến vi cơ điện tử cấu trúc dầm treo-khối nặng [6] .4: Tỉ lệ tương quan giữa góc nghiêng và giá trị điện dung của tụ điện trong cảm biến vi cơ điện tử cấu trúc dầm treo-khối nặng [6] .5: Cảm biến vi cơ điện tử kiểu áp điện [7] .6: Cảm biến đo nghiêng dựa trên sự thay đổi độ dẫn [4] .8: Cảm biến nghiêng sử dụng phương pháp quang học ở trạng thái (a) thăng bằng, (b) nghiêng [8] .9: Cảm biến đo nghiêng sử dụng máy tính phân tích hình ảnh [9] .10: Cảm biến nghiêng kiểu điện dung sử dụng bi sắt [10] .11: Cảm biến nghiêng điện dung dùng điện môi thể lỏng [2, 11, 12] .1: Điện dung giữa các vật dẫn điện [13].2: Sơ đồ tương đương của (a) tụ điện hai cực và (b) tụ điện khi có các thành phần ký sinh Cp [14] .3: Tụ điện phẳng với các tấm điện cực song song.4: Các bản cực tích điện nằm song song ngăn cách bởi điện môi [16] .5: Mạch khuếch đại biến đổi trở kháng đo dòng đi qua tụ điện [17] .6: Mạch khuếch đại biến đổi trở kháng đo dòng qua tụ điện có sử dụng tụ điện phản hồi [17].7: Mô hình hai chiều của tụ song song với phân bố điện trường của nó (a) và các tụ điện song song với việc bổ sung các điện cực để loại bỏ hiệu ứng rìa (b) 17 Hình 2.8: Cảm biến đo khảng cách kiểu điện dung với độ phân dải dưới nanomet .9: Một số cảm biến khoảng cách kiểu điện dung .1: Cấu trúc cảm biến góc nghiêng kiểu điện dung ba cực .2: Cảm biến góc nghiêng cấu trúc 2 pha lỏng khí điện tử .3: Hoạt động của cảm biến góc nghiêng kiểu điện dung ba cực, trường hợp a và c khi cảm biến nghiêng bên phải và bên trái, trường hợp b khi cảm biến ở vị trí cân bằng .4: Mô hình mô phỏng cảm biến nghiêng điện dung ba điện cực cấu trúc 2 pha lỏng – khí .5: Mô hình mô phỏng cảm biến nghiêng điện dung ba điện cực cấu trúc 2 pha lỏng – khí, trường hợp kích thích 1 điện cực cảm ứng . 29 LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail.6: Trường tĩnh điện và phân bố điện thế trong trường tĩnh điện của cảm biến nghiêng điện dung ba điện cực cấu trúc 2 pha lỏng – khí .7: Kết quả mô phỏng mối quan hệ giữa góc nghiêng và điện dung vi sai giữa C1 và C2 .8: Trường tĩnh điện của cảm biến nghiêng điện dung ba điện cực với tỉ lệ cấu trúc 2 pha lỏng – khí lần lượt là: 75%, 80%, 90% .9: Kết quả mô phỏng quan hệ giữa điện dung vi sai và góc nghiêng, với độ điền đầy chất lỏng khác nhau .1: Sơ đồ khối mạch điện cảm biến góc nghiêng điện tử .2: Mạch phát nguồn tín hiệu sin .3: Mạch chuyển đổi điện áp.4: Mạch khuếch đại không đảo .5: Mạch khuếch đại vi sai .6: Mạch tách sóng đường bao và lọc thông thấp .7: Sơ đồ nguyên lý của mạch điện xử lý tín hiệu của cảm biến góc nghiêng điện tử kiểu điện dung ba cực cấu trúc vi sai .8: Cảm biến góc nghiêng điện tử hai pha lỏng – khí .9: Cảm biến góc nghiêng gắn trên mạch điện xử lý tín hiệu .10: Hệ thống thí nghiệm đánh giá hoạt động cảm biến góc nghiêng; (a) Sơ đồ khối hệ thống; (b) Hình ảnh thực tế hệ thống.11: Các tín hiệu của mạch cảm biến .12: Tín hiệu đầu ra phụ thuộc vào dải góc nghiêng từ 0° đến 25° .13: Sự thay đổi tín hiệu đầu ra khi góc nghiêng thay đổi từ 0° đến 180° .14: So sánh kết quả mô phỏng và đo đạc thực nghiệm (mức 70%) .15: Sự thay đổi tín hiệu đầu ra khi góc nghiêng thay đổi từ -180° đến 180° .16: Đồ thị biểu diễn ảnh hưởng góc nghiêng trên trục vuông góc với trục cảm biến tới lối ra (crosstalk) . 45 LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail.com vi Danh mục bảng biểu Bảng 1. Hằng số điện môi tương đối của một số loại vật liệu . Các thông số kích thước điện cực cảm biến . Các thông số vật liệu sử dụng trong mô phỏng . 29 LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail.com vii Tóm tắt luận văn Luận văn này trình bày thiết kế, chế tạo và thử nghiệm một cấu trúc cảm biến đo độ nghiêng điện tử kiểu điện dung cấu hình hai pha lỏng – khí. Cảm biến được đề xuất này bao gồm một cấu trúc tụ ba điện cực với lớp điện môi có hai pha: không khí và chất lỏng. Khi vị trí của bọt khí trong chất lỏng thay đổi do tác dụng của gia tốc trọng trường thì giá trị điện dung của cảm biến thay đổi theo từ đó tính được góc nghiêng của cảm biến. Hoạt động của cảm biến được mô phỏng bằng phương pháp phân tích các phần tử hữu hạn sử dụng chương trình Comsol Multiphisics. Kết quả mô phỏng thể hiện sự thay đổi điện dung vi sai của tụ điện theo góc nghiêng tương ứng với sự thay đổi vị trí của chất lỏng điện môi do tác dụng của gia tốc trọng trường. Cảm biến được chế tạo thử nghiệm gồm ba điện cực được gắn lên trên một ống nhựa và bố trí trên bản mạch PCB với mạch điện thu thập tín hiệu gồm một máy phát sin tần số 127kHz, một bộ tiền khuếch đại, một bộ chỉnh lưu và lọc thông thấp. Tụ điện có cấu tạo là 3 bản cực bằng đồng, mỗi điện cực có chiều dài 11.0 mm, khoảng cách giữa các điện cực là 1. Các kết quả đo đạc thực nghiệm cho thấy có sự tương đồng với các tính toán mô phỏng. Các kết quả đo ban đầu cho thấy tín hiệu đầu ra ổn định, đồng biến với góc nghiêng trong dải -90° đến +90°, với độ tuyến tính cao trong dải -25° đến +25°. Cảm biến có độ nhạy 40 mV/độ với độ phân dải 0. Cảm biến hoạt động dựa trên nguyên lý vi sai, do đó cảm biến không bị tác động của can nhiễu đồng pha. Với những tính năng và dải làm việc này, cảm biến có thể ứng dụng đo sự bằng của các khí tài quân sự, theo dõi dao động của tàu thuyền và nhiều ứng dụng tiềm năng khác. LUAN VAN CHAT LUONG download : add luanvanchat@agmail.com 1 MỞ ĐẦU Tổng quan Góc nghiêng được xác định là góc lệch so với phương vuông góc với phương của gia tốc trọng trường. Một số dụng cụ đo nghiêng cơ học được đưa ra như trong Hình 1. Các cấu trúc này dựa vào độ lệch của bọt khí hoặc khối nặng do tác dụng của gia tốc trọng trường để xác định độ nghiêng. Những cấu trúc đo nghiêng này khá cồng kềnh, hơn nữa kết quả phải đọc bằng mắt nên độ chính xác không cao, không thể đưa vào các ứng dụng điều khiển tự động hóa. Do đó các cảm biến góc nghiêng điện tử đã được phát triển để phục vụ các yêu cầu thực tiễn này. Hiện nay trên thế giới, có nhiều loại cảm biến thăng bằng và đo góc nghiêng đã được nghiên cứu, phát triển và đưa ra thương mại hóa.

Nội dung được bảo vệ bản quyền — Tải xuống đầy đủ