CHƯƠNG 1 TỔNG QUAN VỀ GIA CÔNG SIÊU ÂM 1.1 Giới thiệu về sóng siêu âm 1.1 Rung động siêu âm Rung động siêu âm là một dạng dao động cơ, có tần số vượt quá ngưỡng nghe của thính giác con người. Để phân biệt các mức độ giới hạn của rung động, thường sử dụng giá trị ngưỡng tần số rung động như minh họa trên hình 1. Ngưỡng âm thanh mà con người nghe được thường có tần số từ 20 Hz đến 20 kHz. Ngưỡng tần số rung động thấp hơn và cao hơn các giá trị giới hạn trên lần lượt được gọi là ngưỡng hạ âm và siêu âm.
Một số loài động vật như chó, mèo, cá voi hay dơi có khả năng nhận biết được tần số siêu âm (> 20 kHz) [4].1 Khoảng tần số [https://rama.vn/song-sieu-am/] Siêu âm đã được các nhà khoa học phát hiện và nghiên cứu từ rất sớm. Năm 1794 nhà khoa học Lazzaro Spallanzani đã phát hiện ra loài dơi di chuyển và sằn mồi dựa vào âm thanh có tần số cao. Năm 1893, Francis Galton đã phát minh ra còi Galton, loại còi có khả năng điều chỉnh tạo ra sóng siêu âm để đo thính giác của các loài động vật. Đến năm 1880, hiện tượng áp điện được phát hiện bởi nhà vật lý Pierre Curie và anh trai của ông là Jacques Curie đã tạo ra một bước đột phá trong lĩnh vực công nghệ siêu âm, dựa vào đó các đầu dò siêu âm (thiết bị chuyển đổi năng lượng điện tần số cao thành năng lượng cơ học dưới dạng dao động tần số cao) đầu tiên được ra đời.
1 LUẬN VĂN THẠC SĨ Phạm Văn Tuân Thiết bị Sonar là ứng dụng thực tế đầu tiên của công nghệ siêu âm và áp điện được phát triển trong thế chiến thứ nhất để phát hiện tàu ngầm. Đầu những năm 1900 là thời điểm khám phá và phát triển thú vị của siêu âm, tiềm năng của ngành vật lý và kỹ thuật này đã được áp dụng cho nhiều ngành công nghiệp khác nhau. Ngày nay siêu âm được ứng dụng rất nhiều trong các lĩnh vực đời sống. Các loại máy siêu âm, máy trị liệu siêu âm, máy diệt khuẩn, máy rửa siêu âm là các ứng dụng phổ biến trong y học.
Trong các lĩnh vực kỹ thuật sóng siêu âm cũng được ứng dụng rộng rãi như các loại cảm biến siêu âm, rada, các phương thức giao tiếp, kết nối không dây dùng sóng siêu âm, … có thể xem siêu âm là một công nghệ quan trọng và có tiềm năng phát triển trong mọi lĩnh vực.2 Nguyên lý rung động siêu âm Có hai cách chủ yếu để tạo rung động với tần số siêu âm là: phương pháp từ giảo và phương pháp khai thác hiệu ứng áp điện. Phương pháp từ giảo là một tính chất của các vật liệu sắt từ như sắt, coban, niken, khiên chúng nở ra hoặc co lại khi phản ứng với từ trường. Nó cho phép chuyển đổi năng lượng biến thiên từ trường thành động năng cơ học. Các vật liệu này chứa các vùng biến dạng tự nhiên và các vùng không liên kết sở hữu cực từ được gọi là miền [5].
Phương pháp áp điện là hướng phổ biến nhất để tạo ra rung động siêu âm. Hiện tượng áp điện lần đầu được phát hiện năm 1817, sau đó được nghiên cứu chi tiết bởi anh em nhà Curie vào những năm 1880. Vật liệu áp điện là một loại vật liệu đặc biệt có chứa các phân tử phân cực. Khi tác dụng một lực lên một tấm vật liệu sẽ sinh ra điện áp tại hai cực của tấm.
Trái lại, nếu đặt một điện áp thay đổi lên hai mặt tấm vật liệu sẽ gây nên biến dạng trên vật liệu này. Biến dạng thay đổi liên tục của tấm áp điện sẽ làm phát sinh rung động. Vật liệu áp điện có đặc tính tuyệt vời là biến dạng rất nhạy với giá trị điện áp đặt lên nó. Thêm nữa, vật liệu này có khả năng chịu nén rất cao.
Mặc dù các thiết bị áp dụng rung động siêu sử dụng phương pháp từ giảo giúp thiết kế toàn bộ hệ thống linh hoạt hơn và dải tần làm việc rộng hơn, nhưng nhược 2 LUẬN VĂN THẠC SĨ Phạm Văn Tuân điểm là hiệu suất tương đối thấp, chỉ ở mức 50-60%. Thiết bị sử dụng phương pháp áp điện như hình 1.2 cần nhiều năng lượng hơn, nhưng hiệu suất cao hơn, ở mức 90- 96% [9]. Do đó, vật liệu áp điện cho phép thiết bị dao động ở tần số rất cao khi cấu trúc của thiết bị cũng linh động hơn so với trước đây. Do đó, các thiết bị siêu âm chủ yếu tạo ra rung động siêu âm bằng hiệu ứng áp điện.
2 Hiệu ứng áp điện [9] 1.3 Nguyên lý truyền rung động siêu âm. Rung động được truyền trong môi trường dưới dạng sóng dọc. Quỹ đạo của sóng được xác định vào khoảng thời gian biến dạng hoặc rung động trong vật liệu mà nó truyền qua. Khi năng lượng siêu âm truyền qua môi trường, nó sẽ dịch chuyển các nguyên tử ra khỏi vị trí cân bằng, dẫn đến sự mất cân bằng của các nguyên tử xung quanh.
Cứ như vậy, năng lượng dao động di chuyển qua môi trường đến bất kỳ không gian nào bên trong vật liệu. Tuy nhiên, trong môi trường chân không không có hạt vật chất, nên năng lượng không thể truyền qua nó. Các đại lượng đặc trưng liên quan đến sóng siêu âm bao gồm: tần số (f), biên độ (A), vận tốc (v) và bước sóng, trong đó tần số dao động là số chu kỳ mà một vật dao động hoàn thành trong một giây, biên độ dao động là độ dịch chuyển hoặc quãng đường lớn nhất. được một điểm trên vật dao động điều hòa khỏi vị trí cân bằng.
Cụ thể hơn, vận tốc truyền phụ thuộc vào mật độ và môđun đàn hồi của vật liệu. Do đó, vận tốc truyền trong một số loại môi trường được liệt kê trong bảng 1. 3 LUẬN VĂN THẠC SĨ Phạm Văn Tuân Bảng 1. Tốc độ truyền sóng trong một số môi trường (tại 20oC và 1 atm) Sự truyền sóng rung động thường được mô tả dưới dạng các mode rung động.
Mỗi mode rung động là một hình ảnh của trạng thái sóng dung có dạng hình sin ở một tần số đặc trưng. Mỗi hệ thống có thể được kích thích bởi nhiều mode rung động, được đặc trưng bởi tần số và hình dạng của mode đó. Với vật liệu đồng nhất và đẳng hướng, các mode dao động có thể lan truyền theo bốn loại chế độ cơ bản dưới đây như ở bảng 1. Phương truyền sóng [6].
Dạng truyền sóng Đặc điểm Sóng dọc: dao động nén dọc theo phương truyền sóng Sóng ngang: dao động vuông góc với phương truyền sóng Sóng mặt- Rayleigh waves: dao động theo quỹ đạo elip 4 LUẬN VĂN THẠC SĨ Phạm Văn Tuân Sóng tấm-Lamb waves: sóng rung động kết hợp, đường truyền sóng luôn song song với bề mặt tấm.4 Hệ thống thiết bị tạo rung động siêu âm Hệ thống rung động siêu âm bao gồm bộ nguồn, bộ chuyển đổi (transducer), Đầu khuếch đại dao động (horn), trong đó dòng điện xoay chiều được cung cấp bởi bộ nguồn tới các miếng áp điện để tạo ra rung động siêu âm cơ học. Sơ đồ cấu trúc của hệ thống rung siêu âm được minh họa trong hình 1. Sơ đồ cấu trúc của một hệ gia công siêu âm [7] 1.1 Nguồn phát công suất siêu âm Bộ nguồn có tác dụng chuyển đổi nguồn điện tần số thấp (thường là 50 Hz) thành năng lượng sóng sin tần số cao. Bộ nguồn này có thể kiểm soát tần số cũng như công suất cấp cho hệ thống.2 Đầu phát siêu âm Đầu phát siêu âm (transducer) có tác dụng biến đổi năng lượng do bộ nguồn cung cấp thành năng lượng cơ học, tạo ra các dao động ở tần số siêu âm.
Việc chuyển đổi này được thực hiện thông qua hai nguyên lí khác nhau là hiện tượng từ giảo 5 LUẬN VĂN THẠC SĨ Phạm Văn Tuân (magnetostrictive) và hiện tượng áp điện (piezoelectric). Đầu phát siêu âm sử dụng hiện tượng từ giảo cho phép thiết kế đầu rung linh hoạt hơn, dãi hoạt động rộng, tuy nhiên nhược điểm là hiệu suất khá thấp (50% -60%). Đầu dò sử dụng vật liệu áp điện tuy đòi hỏi năng lượng cao hơn nhưng hiệu suất cao (90% - 96%), ngoài ra vật liệu áp điện cho phép tạo các dao động ở tần số rất cao, kết cấu cũng gọn nhẹ hơn so với nguyên lý từ giảo như ở hình 1. Đầu phát rung siêu âm 1.3 Đầu khuyếch đại dao động Đầu khuếch đại dao động (booster): các đầu dò siêu âm thường cung cấp biên độ đầu ra khá thấp, do đó để đạt được biên độ dao động cần thiết cho gia công thường phải qua sự khuếch đại của booster.
Tuỳ thuộc vào kết cấu của hệ thống, một số có thể không có đầu khuếch đại dao động. Đầu rung (ultrasonic horn) cũng có tác dụng khuếch đại biên độ dao động đầu ra, ngoài ra đầu rung được thiết kế hình dáng tuỳ theo mục đích sử dụng, đầu ra của đầu rung có thể mang thêm dụng cụ như dao cắt, mũi khoan, đầu hàn. Vì vậy có thể nói đầu rung là bộ phận mấu chốt trong hệ thống siêu âm. Việc thiết kế đầu rung ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất hệ thống.
Các dạng hình dạng của đầu rung siêu âm Biên dạng Hình dạng hình học Ưu điểm Giới hạn tiêu chuẩn 6 LUẬN VĂN THẠC SĨ Phạm Văn Tuân - Biên dạng đơn - Độ khuyết Biên dạng giản nhất đại thấp hình trụ - Chế tạo dễ dàng nhất - Ứng suất thấp - Độ tập trung - Độ khuyếch đại ứng suất cao Biên dạng biên dạng lớn nhất do biên trục bậc nhất dạng thay đổi - Thiết kế đơn giản đột ngột - Ứng suất phân bổ đều do biên dạng thay đổi từ - Độ khuyếch Biên dạng từ đại thấp hàm mũ - Năng lượng mất mát thấp - - Thiết kế đơn giản - Độ khuyếch - Ứng suất thấp do đại biên Biên dạng biên dạng thay dạng thấp hình côn đổi đều nhất. - Mất mát năng lượng thấp Biên dạng Hình dạng hình học Ưu điểm Giới hạn đặc biệt 7 LUẬN VĂN THẠC SĨ Phạm Văn Tuân - Phân bố ứng suất - Thiết kế Biên dạng đều do biên dạng phức tạp trụ - hàm thay đổi chậm - Độ khuyếch mũ đại thấp - Độ khuyếch đại cao Biên dạng - Phân bố ứng suất - Thiết kế trục bậc đều do biên dạng phức tạp hàm mũ thay đổi chậm 1.5 Một số ứng dụng siêu âm trong kỹ thuật Khai thác rung động siêu âm được ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực. Có thể kể đến một số ứng dụng chính của rung động siêu âm trong đời sống sản xuất như dưới đây.