Luận Án Tiến Sĩ Về Mô Phỏng và Tối Ưu Hóa Vi Gắp Có Cảm Biến

2016

136
1
0

Phí lưu trữ

35 Point

Mục lục chi tiết

LỜI CẢM ƠN

LỜI CAM ĐOAN

MỤC LỤC

CÁC KÝ HIỆU, VIẾT TẮT

DANH MỤC HÌNH ẢNH

DANH MỤC CÁC BẢNG

1. MỞ ĐẦU

1.1. Vi gắp và cảm biến dùng cho vi gắp

1.2. Định nghĩa vi gắp

1.3. Cảm biến dùng cho vi gắp

1.4. Giới thiệu các loại vi gắp

1.4.1. Phân loại vi gắp

1.4.2. Vi gắp tĩnh điện

1.4.3. Vi gắp nhiệt điện

1.4.4. Vi gắp khí nén

1.4.5. Vi gắp điện từ

1.4.6. Hợp kim định hình

1.4.7. Các loại vi gắp khác

1.5. Giới thiệu các loại cảm biến dùng cho vi gắp

1.5.1. Cảm biến quang học

1.5.2. Cảm biến lực áp trở

1.5.3. Cảm biến lực điện dung

1.6. So sánh các loại vi gắp và cảm biến dùng cho vi gắp

1.6.1. So sánh giữa các loại vi gắp

1.6.2. So sánh giữa các loại cảm biến dùng cho vi gắp

1.7. Lựa chọn đối tượng nghiên cứu của đề tài

1.8. Vi gắp nhiệt điện silic-polyme tích hợp cảm biến

1.9. Mô phỏng và đo đạc

1.10. Tính chất của vi gắp

1.11. Tính chất của cảm biến

1.12. Đáp ứng tần số của vi gắp

1.13. Kết luận chương 1

2. CHƯƠNG 2: MÔ PHỎNG, PHÂN TÍCH VÀ TỐI ƯU CẤU TRÚC VI GẮP NHIỆT ĐIỆN SILIC-POLYME TÍCH HỢP CẢM BIẾN

2.1. Mô hình mô phỏng

2.2. Phân tích về mặt nhiệt học

2.3. Phân tích cơ học

2.3.1. Phân tích chuyển vị

2.3.2. Phân tích lực chấp hành

2.4. So sánh kết quả tính toán, đo lường và mô phỏng

2.5. Tối ưu vi gắp

2.5.1. Tối ưu về mặt cấu trúc

2.5.2. Tối ưu về mặt nhiệt độ

2.5.3. Kết hợp các tối ưu

2.6. Kết luận chương 2

3. THIẾT KẾ MẠCH ĐIỀU KHIỂN TÍCH HỢP

3.1. Thiết lập hàm điều khiển PID cho hệ thống

3.1.1. Cơ chế điều khiển

3.1.2. Hàm truyền của vi gắp

3.1.3. Mạch điều khiển công suất

3.1.4. Điều khiển mở

3.1.5. Điều khiển Tỉ lệ (P)

3.1.6. Điều khiển Tỉ lệ đạo hàm (PD)

3.1.7. Điều khiển Tỉ lệ tích phân (PI)

3.1.8. Điều khiển Tỉ lệ tích phân đạo hàm (PID)

3.2. Lựa chọn công nghệ chế tạo và chương trình mô phỏng mạch điện

3.2.1. Lựa chọn công nghệ

3.2.2. Chương trình mô phỏng

3.3. Mô hình hóa vi gắp theo các thông số điện

3.4. Sơ đồ khối toàn hệ thống

3.5. Thiết kế mạch chi tiết

3.5.1. Mạch tạo điện áp chuẩn tham chiếu

3.5.2. Mạch tạo điện áp và nguồn dòng nội bộ

3.5.3. Mạch chuyển đổi tín hiệu số tương tự (DAC)

3.5.4. Mạch khuếch đại tín hiệu cảm biến

3.5.5. Mạch điều khiển trung tâm

3.6. Thiết kế chi tiết và kết quả mô phỏng toàn hệ thống

3.6.1. Thiết kế chi tiết toàn hệ thống

3.6.2. Kết quả mô phỏng hoạt động của toàn hệ thống

3.7. Kết luận chương 3

DỰ KIẾN TIẾP THEO

DANH MỤC CÔNG TRÌNH KHOA HỌC CỦA TÁC GIẢ LIÊN QUAN ĐẾN LUẬN ÁN

TÀI LIỆU THAM KHẢO

Luận án tiến sĩ mô phỏng và tối ưu hóa vi gắp có cảm biến dùng để thao tác với các vi vật thể luận án tiến sĩ kỹ thuật điện tử 62 52 02 03