Chương 1 TỔNG QUAN VỀ MÔ HÌNH SIÊU MẠNG BÁN DẪN VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU Chương nàu trình bàu tổng quan uề siêu mạng bán dẫn, hàm sóng uà phổ năng lượng của clectron trong siêu mạng bán dẫn thành phần chịu tác dụng của từ trường, Hamiltonian của hệ electron - phonon khi cé mat trường ngoài uà tổng quan 0È phương pháp toán tử chiếu độc lập trạng thái. Tổng quan về siêu mạng bán dẫn 1. Siêu mạng bán dẫn Siêu mạng bán dẫn (semiconductor superlattice) là vật liệu bán dẫn có cầu trúc tuần hoàn nhân tạo gồm các lớp bán dẫn thuộc hai loại khác nhau có độ dày cỡ nanomet đặt kế tiếp nhau. Siêu mạng bán dẫn được chế tạo từ một lớp mỏng bán dẫn có độ dày dạ ký hiệu là A, độ rộng vùng cấm hẹp (ví dụ GaAs) đặt tiếp xúc với lớp bán dẫn mỏng có độ dày dp ký hiệu là B có độ rộng vùng cấm rộng (ví dụ AlAs).
Các lớp mỏng này đặt xen kẽ nhau vô hạn đọc theo trục siêu mạng (hướng vuông góc với các lớp trên), khoảng cách giữa hai lớp bán dẫn liên tiếp d — đạ +dg gọi là chu kỳ siêu mạng. Trong thực tế tồn tại nhiều lớp mỏng kế tiếp nhau dưới dạng B/A/B/A. và độ rộng hàng rào thế đủ hẹp để các lớp mỏng kế tiếp nhau như một hệ tuần hoàn. Khi đó, electron c6 thé xuyên qua hàng rào thế di chuyển từ lớp bán dẫn có vùng cấm hẹp này sang bán dẫn có vùng cấm hẹp khác.
Do đó electron ngoài việc chịu 10 ảnh hưởng của thế tuần hoàn của tỉnh thể nó còn chịu thêm ảnh hưởng. của một thế phụ. Thế phụ này được hình thành do sự chênh lệch nang lượng giữa các cận điểm đáy vùng dẫn của hai bán dẫn tiếp xúc nhau và cũng biến thiên tuần hoàn nhưng với chu kỳ lớn hơn rất nhiều so với hang s6 mang. He electron trong siêu mạng khi đó là khí eleetron chuẩn.
Các tính chất vật lý của siêu mạng được xác định bởi phổ năng lượng và hàm sóng của eleetron thông qua việc giải phương trình Schodinger với thế năng bao gồm thế tuần hoàn trong siêu mạng. Dựa vào cấu trúc của hai lớp bán dẫn A và B, người ta chia siêu mạng bán. dẫn thành hai loại: u mạng bán dẫn pha tạp và siêu mạng bán dẫn thành phần. + Siêu mạng bán dẫn pha tạp: Các giếng thế trong siêu mạng có thể được tạo thành từ hai lớp.
bán dẫn cùng loại nhưng được pha tạp khác nhau, siêu mạng có cấu tạo như vậy gọi là siêu mạng bán dẫn pha tap (Doped Semiconductor Superlattiee - DSSL). Ưu điểm của siêu mạng bán dẫn pha tạp về mặt cấu trúc là có thể dễ dàng điều chỉnh các tham số của siêu mạng nhờ thay đổi nồng độ pha tạp. + Siêu mạng bán dẫn thành phần: Siêu mang bán dẫn thành phần được cấu tạo từ các lớp bán dẫn A. và B khác nhau sao cho hàng rào thế trong các hồ lượng tử đủ hẹp để các electron có thể xuyên qua hàng rào thế năng (từ bán dẫn có vùng cấm.
hẹp này sang bán dẫn có vùng cắm hẹp khác) thì các hồ lượng tử đa lớp. trở thành ban dan siéu mang thanh phan (Compositional Semiconductor Superlattice - CSSL). Ta giả thiết rằng độ rộng vùng cấm C^ của bán dẫn A nhỏ hơn độ rộng vùng cấm €2 của bán dẫn B trong một hồ thế lượng tử độc lập (GP > G). Do su khác nhau này mà biên vùng dẫn cũng như biên vùng 11 hóa trị của các bán dẫn A va B không ngang nhau.
Sự chênh lệch năng, lượng giữa các biên của một loại vùng thuộc hai lớp kế tiếp của siêu. mạng tạo nên một hố lượng tử giam giữ các hạt trong một lớp mỏng. Chính vì vậy việc nghiên cứu biên của các vùng có tính chất quyết định trong việc tạo ra các thiết bị giam giữ lượng tử. Tuy nhiên các nghiên cứu lý thuyết và thực nghiệm đã chỉ ra rằng sự thay đổi thế năng là khá đột biến và tạo ra một hồ thế dạng chữ nhật.
Hồ thế hình chữ nhật này là phù hợp với thế giam giữ trong hầu hết các hồ lượng tử. hồ lượng tử đối với các eleetron được xác định bởi hiệu các cực tiểu các vùng dẫn của bán dẫn A và B [22] Ae = Age = C2 — CFI, còn đối với lỗ trồng thì được xác định bởi hiệu các cực đại của các ving hóa trị của các bán dẫn A và B Ay = AG= |C#— Thé cita siéu mang được xác định bởi hiệu của các khe năng lượng của hai bán dẫn Ác = AQ = GÌ = GÌ = Ac t+ Av = Uo, nghĩa là bằng tổng năng lượng chênh lệch của vùng dẫn và năng lượng. chênh lệch của vùng hóa trị ứng với hai lớp bán dẫn A va B tạo thành siêu mạng. Từ sự tương quan giữa vị trí đầy vùng dẫn và đỉnh vùng hóa trị của các bán dẫn, bán dẫn siêu mạng thành phần được phân thành hai loại chính.
+ Loại Ï: Được tạo thành từ các bán dẫn có độ rộng vùng cấm hoàn toàn bao nhau. Trong loại này, cả electron và lỗ trồng đều bị giam cầm trong cùng một lớp bán dẫn loại A (như siêu mạng GaAs/GaAlAs). 12 + Loại II: Được tạo thành từ các bán dẫn có độ rộng vùng cấm gần. nhau nhưng không bao nhau hoặc chỉ trùng nhau một phần.
Trong loại này lỗ trống giam giữ trong lớp A còn electron bị giam giữ trong lớp B (như siêu mang Ga,In,_,As/GaAs,Sby-y). Cả hai loại trên luôn thỏa mãn điều kiện G < G va A, < A. Ham sóng và phổ năng lượng của electron trong siêu mạng bán dẫn thành phần 1.1 Khi không có từ trường Hàm sóng chuẩn hóa của hố lượng tử chuẩn hai chiều với hàng rào thế vô hạn có dạng như sau: (1) trong đó: (n=1,2,3,.), với k; là thành phần vectơ sóng theo phương trục z; m là số lượng tử hóa trong hé thé doc lap; $ = LrLy; Lx, Lụ, L: là độ rộng theo phương, +,U, Siêu mạng là hồ lượng tử đa lớp có liên kết, do đó hàm sóng và phổ năng lượng trong siêu mạng có thể tính theo cùng một cách như đối với các hồ lượng tử. Vì hàng rào thế trong siêu mạng hữu hạn nên ta thay thé hàm sóng theo phương z trong hồ thế vô hạn bởi ®„(z) là hàm sóng, = của electron trong hồ thế cô lập hữu hạn n(E:z) —> ®„(2), trong đó ®„(z) là nghiệm của bài toán hồ lượng tử hữu hạn.
Xét các hồ lượng tử cầu thành siêu mạng là tương tác yếu với nhau, do đó hàm sóng của electron trong siêu mạng thỏa mãn định lý Bloch và có dạng 13 chồng chập các sóng phẳng [33] trong đó nạ là số lượng tử ở trạng thái a (ng = 1,2,.); By = kad+ hyd: FP, = ai+ yj; d la chu ky siêu mạng; j = 1,2,.;sọ là số chu kỳ siêu mạng. Hàm ®„ (z) là hàm sóng của một hồ thế độc lập ở trạng thái |a) trong bán dẫn siêu mạng thành phần có dạng ‡ 2,2 &,,(2) = (5) exp ( - =) Ha,(€2), (13) với €= "2® và H„ (z) là đa thức Hermite. Xét siêu mạng một chiều có thế tuần hoàn theo trục z. Thế siêu mạng ảnh hưởng rất ít đến chuyển động của eleetron trong mặt phẳng.
(#,g), còn chuyển động của electron theo phương trục z sẽ tương ứng với chuyển động của electron trong một trường tuần hoàn với chu kỳ d. Tương ứng với hàm sóng ở phương trình (1.2), phổ năng lượng của electron trong siêu mạng ở mini vùng thứ n ở trạng thái |a) có dạng [33] Ex(k) = (ks)? 2 + E(k:), (14) trong đó E(k. được xác định trong mini vùng thứ nhất —z/d < k; < z/d; n là chỉ số mini vùng (s là chỉ số mini vùng cao nhất) = 1,2, sụ: E„ là năng lượng trong hồ thế cô lập; A„ là một nửa độ rộng của mini vùng thứ ø. Biểu thức của „ có dạng E,=— > In? = n?Ep, (1.5) Im với dạ là bề rộng của hồ thé 6 lap, Ey = h?x?/(2m*d3).
Do đó phổ năng lượng của electron duge viết lại như sau By (f) = (he)? +n? Ey — An cos(k-d).2 Khi có từ trường Khi có mặt của từ trường B dọc theo trục z (//Oz), chuyển động, của eleetron trong mặt phẳng (z,g) cũng bị lượng tử hóa. Phổ năng lượng của eleetron bị lượng tử hóa theo kiểu Landau (lượng tử hóa thành các mức Landau biểu thị bằng số lượng tử NV). Chon thế vectơ A= (0, Br,0), lac nay E, + (N +41/2)hw. Hamiltonian cia mot electron duge cho bởi công thức P+ eA(rP ho = ————, 2m* ở đây ta sử dụng chuẩn Landau cho thé vector A; gla kí hiệu xung lượng của một electron dẫn với khối lượng hiệu dụng mm”.
Phổ năng lượng và hàm sóng của eleetron tương ứng với Hamiltonian một electron họ có dạng W„ ¿(7)= „nạ, kay) = [Nas kay) |na), (17) trong đó [Nas.10) là hàm sóng được đặc trưng bởi thế giam giữ theo trục z, được cho bởi phương trình (1. 1 Trong các công thức trên, X„ là tâm quï đạo của chuyển động ey- cloron tương ứng với trạng thái |a), Xạ = —hkay/(eB) = —hay/(m°e,); a, la bén kinh qui dao cyclotron, a, = [h/(eB)]}/?; Hy là đa thức Hermite bac N; Ly va L, la cc do dai chuan héa theo phutong y va 2. Vậy phổ năng lượng của eleetron trong siêu mạng thành phần khi có mặt từ trường theo trục z có dạng, E,(k) = Ey + Ey = (N+ s)he + —A, cos(k. Hamiltonian ciia hé electron - phonon khi có mặt điện trường ngoài Giả sử điện trường lan truyền theo phương trục siêu mạng (trục z) và xuyên sâu vào mẫu, vectơ cường độ điện trường biến thiên theo thời gian có dạng 3 E=ồ)8Eje (1.12) jal trong đó ế;, E; và œ lần lượt là vectơ đơn vị, biên độ và tần số của điện.
trường theo phương j. Hamiltonian của hệ trong biểu diễn lượng tử hóa thứ cấp gồm Hamiltonian can bằng của hệ eleetron - phonon và Hamiltonian khong cân bằng do tương tác với trường ngoài 2] H(t) = Heq + Hint(t).13) Bỏ qua tương tác giữa các hạt cùng loại, Hamiltonian cân bằng của hệ Hạ là Hey = Hạ + V, trong đó Hạ là Hamiltonian của hệ eleetron - phonon tự do Hạ = H, + Hạn = 3Ö Eaala, + Ö ˆ hoyby, ˆ 7 16 V là Hamiltonian tương tác của hệ electron - phonon v= 2S 62()a2aa(b + bÊ,), 7 op đ‡(aa) tương ứng là toán tử sinh (hủy) electron trong trạng thái |a), bệ (bạ) tưởng ứng là toán tử sinh (hủy) phonon trong trạng thái |q) = |ỡ.14) Z là vectơ vị trí cita electron, V(q) là thừa số kết cặp, phụ thuộc vào mode phonon.