Tính chất và ứng dụng của SiO2

Luận văn thạc sĩ HUS nghiên cứu chế tạo màng mỏng Si3N4, SiO2 và màng treo Si3N4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma.

Ngày đăng: 18/07/2025

86
0
0