Vật liệu vi cơ điện tử
Khám phá danh sách tài liệu liên quan đến Vật liệu vi cơ điện tử. Tìm hiểu ngay để nâng cao kiến thức của bạn!
Luận văn thạc sĩ HUS nghiên cứu chế tạo màng mỏng Si3N4, SiO2 và màng treo Si3N4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma.
Danh mục:
86
11
0