Phát triển màng mỏng bán dẫn nano dựa trên ô xit kim loại sử dụng phương pháp lắng đọng đơn lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển
Nghiên cứu phát triển màng mỏng bán dẫn nano ô xít kim loại bằng phương pháp lắng đọng đơn lớp nguyên tử (ALD) ở áp suất khí quyển. Ứng dụng tiềm năng trong điện tử.
Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano SnO2 và oxit kim loại bán dẫn, mở ra hướng đi mới trong cảm biến khí.
Nghiên cứu phát triển màng mỏng bán dẫn nano ô xít kim loại bằng phương pháp lắng đọng đơn lớp nguyên tử (ALD) ở áp suất khí quyển. Ứng dụng tiềm năng trong điện tử.