Lắng đọng hơi hóa học plasma
Khám phá danh sách tài liệu liên quan đến lắng đọng hơi hóa học plasma. Tìm hiểu kiến thức và ứng dụng ngay hôm nay!
Luận văn thạc sĩ HUS nghiên cứu chế tạo màng mỏng Si3N4, SiO2 và màng treo Si3N4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma.
Danh mục:
86
11
0