ALD màng mỏng ôxít kim loại
Phát triển màng mỏng bán dẫn nano dựa trên ô xit kim loại sử dụng phương pháp lắng đọng đơn lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển
Nghiên cứu phát triển màng mỏng bán dẫn nano ô xít kim loại bằng phương pháp lắng đọng đơn lớp nguyên tử (ALD) ở áp suất khí quyển. Ứng dụng tiềm năng trong điện tử.
Nghiên cứu phát triển màng mỏng bán dẫn nano ô xít kim loại bằng phương pháp lắng đọng đơn lớp nguyên tử (ALD) ở áp suất khí quyển. Ứng dụng tiềm năng trong điện tử.
Ngày đăng: 15/05/2025
Danh mục:
77
0
0