ứng dụng công nghệ ALD

Phát triển cảm biến khí dựa trên hệ sợi nano ô xít kim loại chế tạo bằng phương pháp đun tĩnh điện có bề mặt được biến tính bằng công nghệ lắng đọng đơn lớp nguyên tử

Nghiên cứu phát triển cảm biến khí từ sợi nano ô xít kim loại, ứng dụng công nghệ lắng đọng đơn lớp nguyên tử, nâng cao hiệu suất cảm biến.