Sai hỏng điểm và tạp chất trong silic

Luận án tiến sĩ hus nghiên cứu khuếch tán đồng thời tạp chất và sai hỏng điểm trong silic

Luận án tiến sĩ nghiên cứu khuếch tán tạp chất và sai hỏng điểm trong silic, góp phần nâng cao hiểu biết về vật liệu bán dẫn.