Công nghệ phún xạ catốt

Nghiên ứu hế tạo nano tinh thể sige pha tạp er bằng phương pháp phún xạ atốt

Nghiên cứu hế tạo nano tinh thể SiGe pha tạp Er bằng phương pháp phún xạ atốt, mở ra tiềm năng ứng dụng trong công nghệ vật liệu.