Chế tạo và đặc trưng màng mỏng

Luận văn thạc sĩ kỹ thuật nghiên cứu vnu uet chế tạo các màng mỏng vo2 cấu trúc nanô và khảo sát tính chất biến đổi nhiệt điện quang của, khảo sát thực trạng, phân tích nguyên