plasma ion hóa yếu

Luận án tiến sĩ kỹ thuật điện tử xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí tries và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

Luận án tiến sĩ kỹ thuật điện tử nghiên cứu thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron phân tử khí tries, ứng dụng trong chế tạo vi mạch.