MEMS tĩnh điện
Khám phá danh sách tài liệu chi tiết về MEMS tĩnh điện. Tìm hiểu kiến thức chuyên sâu và ứng dụng công nghệ MEMS trong các lĩnh vực hiện đại. Click để xem ngay!
Luận án tiến sĩ phân tích ảnh hưởng thông số cấu tạo đến hiệu suất bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện, răng lượng và điện nhiệt chữ V.
Danh mục:
144
2
0