Màng mỏng Si3N4

Khám phá danh sách tài liệu liên quan đến Màng mỏng Si3N4. Tìm hiểu thông tin chi tiết và ứng dụng của nó ngay hôm nay!

Luận văn thạc sĩ HUS nghiên cứu chế tạo màng mỏng Si3N4, SiO2 và màng treo Si3N4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma.

Ngày đăng: 18/07/2025

86
11
0