Màng mỏng Si3N4
Luận văn thạc sĩ hus chế tạo màng mỏng si3n4 sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma
Luận văn thạc sĩ HUS nghiên cứu chế tạo màng mỏng Si3N4, SiO2 và màng treo Si3N4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma.
Luận văn thạc sĩ HUS nghiên cứu chế tạo màng mỏng Si3N4, SiO2 và màng treo Si3N4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma.
Danh mục:
86
0
0