Chương 1: TỔNG QUAN Chương này trình bày tổng quan về vật liệu TCO, vật liệu ZnO nói chung và vật liệu GZO nói riêng với một số tính chất quang - điện và ứng dụng của chúng trong thực tiễn cuộc sống. - Chương 2: THỰC NGHIỆM Chương này trình bày về quy trình tổng hợp vật liệu GZO bằng phương pháp phân hủy nhiệt. Các dụng cụ - thiết bị thí nghiệm, phương pháp nghiên cứu cấu trúc và tính chất của vật liệu. - Chương 3: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN Từ các kết quả và đánh giá đạt được dựa trên các phép đo phân tích về các yếu tố ảnh hưởng tới quá trình tổng hợp vật liệu, chúng tôi đưa ra được quy trình tổng hợp GZO tối ưu nhất với các yếu tố ảnh hưởng tới tính chất của vật liệu GZO và màng AgNWs/GZO NPs.
Luận văn Thạc sỹ Khoa học Huỳnh Thị Bích Hảo 4 Viện Tiên tiến Khoa học và Công nghệ Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội Chƣơng 1. Giới thiệu về oxit dẫn điện trong suốt (TCO) Vật liệu oxit dẫn điện trong suốt, thường ở dạng màng mỏng và có tính chất đặc biệt là khả năng dẫn điện gần như kim loại nhưng lại trong suốt trong vùng ánh sáng nhìn thấy. Các oxit dẫn điện trong suốt phổ biến nhất được dựa trên oxit thiếc, oxit indi, oxit kẽm và oxit cadmi như ITO, FTO, GZO, AZO, ATO. Màng mỏng của các vật liệu này thường trong suốt trong vùng ánh sáng khả kiến của thang đo điện từ vì năng lượng photon E ph (1,8 - 3,0 eV) nhỏ hơn độ rộng vùng cấm của vật liệu (thường là 3,2 - 3,8 eV) và do đó photon không bị hấp thụ [35].
Mặt khác, TCO dẫn điện là nhờ các hạt tải tự do như lỗ trống hoặc điện tử, các hạt tải điện xuất hiện khi pha tạp các nguyên tử tạp chất thay thế thích hợp vào mạng tinh thể của vật liệu nền. Các TCO loại n thường được sử dụng, có nghĩa là các hạt mang điện chính là các electron. Nồng độ chất pha tạp cao dẫn đến một thuộc tính thứ ba của TCO - sự phản xạ trong vùng hồng ngoại [35]. Lịch sử phát triển của vật liệu TCO Năm 1907, màng TCO được báo cáo lần đầu tiên bởi nghiên cứu của Badeker về vật liệu CdO.
Từ đó, rất nhiều vật liệu TCO được nghiên cứu chế tạo như ZnO pha tạp, SnO 2 pha tạp, In2 O3 pha tạp. Những năm 60 của thế kỷ XX, TCO được sử dụng rộng rãi cho các ứng dụng trong thiết bị quang điện tử là In2O3 pha tạp Sn (ITO). Hiện nay, nhiều loại vật liệu TCO đã nghiên cứu và phát triển cho nhiều ứng dụng được liệt kê và phân loại trong bảng 1. Một số vật liệu TCO [39] STT Vật liệu Vật liệu pha tạp 1 SnO2 Sb, F, As, Nb, Ta Sn, Ge, Mo, F, Ti, Zr, Hf, 2 In2O3 Nb, Ta, W, Te Al, Ga, B, In, Y, Sc, F, V, 3 ZnO Si, Ge, Ti, Zr, Hf 4 CdO In, Sn Luận văn Thạc sỹ Khoa học Huỳnh Thị Bích Hảo 5 Viện Tiên tiến Khoa học và Công nghệ Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội 5 ZnO-SnO2 Zn2 SnO4, ZnSnO3 6 ZnO-In2O3 Zn2 In2O5, Zn 3In2O6 7 CdO-SnO2 Cd2SnO4, CdSnO 3 8 CdO-In2 O3 CdIn2O4 9 MgIn2O 4 10 GaInO3,(Ga,In)2 O3 Sn, Ge 11 ZnO-In 2O3-SnO2 Zn2 In2O5-In4Sn3O12 12 CdO-In2O3-SnO2 CdIn2O4-Cd2SnO4 13 ZnO-CdO-In 2O 3-SnO2 Tuy nhiên, vật liệu TCO thường được tập trung nghiên cứu và ứng dụng trong thực tế là các oxit kim loại pha tạp loại n, phổ biến như ITO, ZnO:Al (AZO), ZnO:Ga (GZO), ZnO:In (IZO)… do các vật liệu này có độ rộng vùng cấm Eg > 3 eV, nồng độ hạt tải cao n > 10 20 cm-3 , điện trở suất thấp ρ < 10 -3 Ω.cm, độ truyền qua T > 80% trong vùng ánh áng nhìn thấy… Các hợp chất hai thành phần đang được sử dụng để nghiên cứu nhiều trong vật liệu TCO bởi vì sự dễ dàng điều chỉnh nồng độ tạp chất trong quá trình chế tạo.
Việc lựa chọn vật liệu TCO thích hợp cho một ứng dụng nào đó đòi hỏi phải xem xét một số các thông số, không chỉ liên quan đến hiệu suất quang học và điện năng, mà còn có sự ổn định về hình thái bề mặt, quá trình hoạt động, độ bền (nhiệt, hóa học) và sự ổn định trong môi trường làm việc, độc tính, chi phí sản xuất… 1. Các tính chất đặc trƣng của TCO 1. Tính chất điện Độ dẫn điện của TCO được xác định bởi nồng độ n e và độ linh động µe của điện tử tự do trong vùng dẫn. Công thức tính độ dẫn điện hoặc điện trở suất trong môi trường đồng nhất được xác định như sau [19]: 1/ nee e (1.1) Độ dẫn điện tăng khi nồng độ ne và độ linh động µe của các điện tử đều tăng.
Nồng độ hạt tải thường phụ thuộc vào nồng độ pha tạp và trạng thái hoạt hóa của Luận văn Thạc sỹ Khoa học Huỳnh Thị Bích Hảo 6 Viện Tiên tiến Khoa học và Công nghệ Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội chất được pha tạp trong mạng tinh thể của vật liệu nền. Nồng độ n e được xác định bởi số lượng tối đa các nguyên tử pha tạp được đưa vào mạng nền. Tuy nhiên, nồng độ tạp chất quá lớn sẽ tạo ra nhiều sai hỏng trong mạng tinh thể gốc, làm giảm độ linh động của các điện tử và làm tăng sự hấp thụ của các hạt tải tự do. Do đó, nồng độ pha tạp không thể vượt quá giới hạn cho phép.
Chẳng hạn như màng ITO và ZnO pha tạp thì nồng độ pha tạp thông thường cỡ 10 20 - 1021 cm-3 , để có thể sử dụng với màng có độ dày không quá lớn. Độ linh động điện tử được xác định bởi các cơ chế tán xạ hạt tải có trong vật liệu màng. Đối với TCO, các cơ chế tán xạ có thể kể đến bao gồm tán xạ điện tử - phonon, điện tử - điện tử, điện tử - ion tạp chất, tán xạ trên các biên hạt. Tính chất quang Hệ số hấp thụ α có thể tính từ định luật Bouguer: I I0 e d [33].
Khi đó, độ hấp thụ A xác định từ quan hệ [4]: I I A 0 1 e d 1 R T (1.2) I0 Trong đó: I0, I lần lượt là cường độ ánh sáng tới và ánh sáng thu được. d là độ dày màng vật liệu. T và R lần lượt là độ truyền qua và độ phản xạ trong vùng ánh sáng nhìn thấy. Giả sử đã bỏ qua sự tán xạ trong màng, hệ số hấp thụ α được rút ra từ biểu thức (1.2) như sau: ln(T R) d (1.3) Mặt khác, một số yếu tố như cấu trúc vô định hình, đa tinh thể hay đơn tinh thể, sự định hướng tinh thể, độ xếp chặt hay xốp, sự pha tạp trong thành phần hóa học sẽ quyết định tính chất của màng TCO như khả năng dẫn điện, độ truyền qua và nhiều tính chất khác.
Các kết quả từ thực nghiệm về màng mỏng nói chung đều đưa ra kết luận thống nhất là đặc điểm cấu trúc của một loại vật liệu màng có thể thay đổi rất lớn theo các phương pháp và điều kiện chế tạo [4]. Do đó, các kết quả thực Luận văn Thạc sỹ Khoa học Huỳnh Thị Bích Hảo 7 Viện Tiên tiến Khoa học và Công nghệ Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội nghiệm được công bố trên thế giới đối với cùng một loại vật liệu màng TCO có sự khác nhau về tính chất và hình thái. Khi điều kiện chế tạo khác nhau về nồng độ pha tạp, nhiệt độ, thời gian phản ứng… thì tính chất của TCO có thể bị thay đổi. Sau khi lựa chọn vật liệu, tối ưu hóa TCO là một vấn đề phức tạp liên quan đến việc lựa chọn phương pháp chế tạo và các thông số chế tạo, lựa chọn nồng độ pha tạp và lựa chọn độ dày màng.
Hiện nay, các nhà khoa học đang nghiên cứu để tạo ra các TCO có hiệu suất cao với chi phí hợp lý và phù hợp cho từng ứng dụng cụ thể. Ứng dụng của vật liệu TCO Ứng dụng quan trọng của màng oxit dẫn điện trong suốt TCO dựa trên ưu điểm là độ truyền qua cao trong vùng ánh sáng nhìn thấy, độ dẫn điện cao và cũng như sự phản xạ hồng ngoại tốt. Các ứng dụng của TCO. Vật liệu oxit thiếc pha tạp flo (FTO) được sử dụng rộng rãi trong nhiều ứng dụng như lớp phủ phản xạ nhiệt trên kính của các tòa nhà hoặc dùng cho các cửa sổ tiết kiệm năng lượng và điện cực trong suốt cho màng mỏng silicon vô định hình - Si và pin mặt trời cadmium telluride (CdTe).
Ngoài ra, vật liệu thương mại còn có Luận văn Thạc sỹ Khoa học Huỳnh Thị Bích Hảo 8 Viện Tiên tiến Khoa học và Công nghệ Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội oxit indi thiếc (ITO) được sử dụng trong màn hình phẳng (FPD), tivi độ phân giải cao, màn hình cảm ứng và một số loại pin mặt trời dựa trên đế Si, Si vô định hình hoặc CIGS (Cu, In, Ga, S). Ngoài ra, một số TCO khác như oxit thiếc pha tạp antimon (ATO), oxit indi pha tạp thiếc (ITO) và oxit thiếc pha tạp flo (FTO) đã được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng trong quang điện tử như đi-ốt phát quang (LED) hay laze đi-ốt (LD), cảm biến khí, lớp phủ chống tia UV, điện cực trong suốt dẫn điện (TCE)… 1. Vật liệu ZnO ZnO là vật liệu bán dẫn được quan tâm nghiên cứu rất nhiều bởi các nhà khoa học, vì ZnO có triển vọng ứng dụng thực tế trong các lĩnh vực khác nhau. Như ta đã biết, ZnO là bán dẫn hợp chất loại n có độ rộng vùng cấm lớn (khoảng 3,37 eV) phù hợp cho các ứng dụng quang điện bước sóng ngắn.
Thêm vào đó, năng lượng liên kết exciton lên tới 60 meV, vật liệu ZnO có tiềm năng rất lớn trong việc phát triển các loại linh kiện phát quang có cường độ và hiệu suất cao nhờ quá trình tái hợp điện tử - lỗ trống. Mặt khác, ZnO trong suốt với ánh sáng nhìn thấy và có thể dẫn điện tốt khi pha tạp các nguyên tố hóa học khác vào. Trong luận văn này, chúng tôi chỉ đề cập đến vấn đề ZnO được pha tạp bằng các nguyên tố có hóa trị lớn hơn hóa trị của nguyên tố kẽm (Zn) và oxy (O). Điều này khiến thừa electron ở các liên kết Zn-X, X-O (X: Ga, Al, In, Sn…) nên trong bán dẫn ZnO thì hạt dẫn điện chủ yếu là điện tử.