CHƯƠNG 1 SIÊU MẠNG HOP PHAN VÀ BÀI TOÁN HAP THU SONG ĐIỆN TỪ MẠNH BIEN DIEU THEO BIEN ĐỘ BỞI ĐIỆN TU GIAM CẢM TRONG BAN DAN KHOI 1. Tổng quan về siêu mang hop phan 1. Khái niệm về siêu mạng hợp phan Siêu mạng hợp phân là vật liệu bán dan mà hệ điện tử có câu trúc chuẩn hai chiêu, được câu tạo từ một lớp mỏng bán dẫn với độ dày dj, ký hiệu là A, độ rộng vùng cam hẹp Es (vi dụ như GaAs) đặt tiếp xúc với lớp bán dẫn mỏng có độ day d; ký hiệu là B có vùng cấm rộng Dã (ví dụ AlAs). Các lớp mỏng nay xen kẽ nhau vô hạn dọc theo trục siêu mang (hướng vuông góc với các lớp trên).
Trong thực tế tồn tại nhiều lớp mỏng kế tiếp dưới dạng B/A/B/A., và độ rộng rào thé đủ hẹp dé các lớp mỏng kế tiếp nhau như một hệ tuần hoàn bố sung vào thế mang tinh thé. Khi đó, điện tử có thé xuyên qua hang rào thế di chuyên từ lớp bán dẫn vùng cắm hẹp này sang lớp bán dẫn có vùng cắm hẹp khác. Do đó, điện tử ngoài việc chịu ảnh hưởng của thế tuần hoàn của tinh thể nó còn chịu ảnh hưởng của một thế phụ. Thế phụ này được hình thành do sự chênh lệch năng lượng giữa các cận điểm đáy vùng dẫn của hai bán dẫn siêu mạng, và cũng biến thiên tuần hoàn nhưng với chu kỳ lớn hơn rất nhiều so với hằng số mạng.
Sự có mặt của thế siêu mạng đã làm thay đổi cơ bản phổ năng lượng của điện tử. Hệ điện tử trong siêu mạng hợp phần khi đó là khí điện tử chuẩn hai chiều. Các tính chất vật lý của siêu mạng được xác định bởi phô điện tử của chúng thông qua việc giải phương trình Schodinger với thế năng bao gồm thế tuần hoàn của mạng tinh thể và thế phụ tuần hoàn trong siêu mạng. Từ sự tương quan của đáy và đỉnh vùng cắm của bán dẫn tạo thành siêu mạng, ta có thê phân biệt siêu mạng hợp phần làm ba loại.
Loại I: được tạo thành từ các bán dẫn có độ rộng vùng cam hoản toàn bao nhau (Siêu mang Al,Ga;_,As/GaAs gồm vai trăm lớp xen kẽ nhau bởi tỷ lệ pha tạp x đối với AI thay đổi từ 0,15 đến 0,35 và chu kỳ thay đổi từ 50A° đến 200A°). Trong siêu mạng này các tương tác giữa các hạt tải từ các lớp riêng biệt chỉ xảy ra gitta các vùng năng lượng cùng loại. Loại II: được tạo ra từ các bán dẫn có độ rộng vùng cấm nam gần nhau nhưng không bao nhau hoặc chỉ trùng một phần (siêu mạng Ga,Ini.y được tao ra năm 1977). Trong siêu mạng này có thé xảy ra tương tac giữa các hạt tải nằm trong các vùng khác nhau, tức là điện tử của bán dẫn nay tương tác với lỗ trong của bán dẫn kia.
Loại III: Siêu mạng hợp phần loại này được tạo ra từ một bán dẫn thông thường và một bán dẫn khác với khe năng lượng bằng 0(zero - gap). Ngoài ra người ta còn có thé tạo ra siêu mang pha tạp hay siêu mang "nipi". Siêu mạng loại này được tao ra bởi sự pha tạp lớp A loại n với lớp B loại p.Ph6 năng lượng và hàm sóng của điện tử giam cầm trong siêu mạng hợp phần. Các tính chất vật lý của siêu mạng được xác định bởi phổ điện tử của chúng thông qua việc giải phương trình Schrodinger với thế năng bao gồm thé tuần hoàn của mang tinh thé và thé phụ tuần hoàn trong siêu mạng.
Bằng cách giải phương trình Schrodinger trong đó ta đưa vào thế tuần hoàn một chiều có dang hình chữ nhật ta thu được hàm sóng và phổ năng lượng của điện tử trong siêu mang hợp phan có dạng như sau: 10 é, (Kk, )=2A-A(cosk,d + cosk,d) (1.1) Trong biéu thức (1.1), A là độ rộng của vùng mini; d=d¡+d; là chu kỳ siêu mạng; k,, k, là các véc tơ xung lượng của điện tử theo hai trục tọa độ x,y trong mặt phăng siêu mạng. Phổ năng lượng của mini vùng có đạng: E, (k)=<, —A„coskđ (1.2) A, là độ rộng của mini vùng thứ n, xác định bởi biểu thức: exp {- 2m (d—dy) U,/# | é: - (1.3) d—dy 2m’ (d—d,) U,/ i? Trong công thức (1.3), do là độ rộng của hố thế biệt lập; U, =Azø,+Az, là độ sâu của hồ thé biệt lập; Ae, =|zˆ— ¿| là độ sâu của hồ thế giam giữ điện tử được xác định bởi cực tiểu của hai vùng dẫn của hai bán dan A và B; Ae, = le" -e}| là độ sâu của hồ thé giam giữ lỗ trống được xác định bởi hiệu các cực đại của các khe năng lượng giữa hai bán dẫn A và Wr B; n là chỉ sô mini vùng; ¢, = nla các mức năng lượng trong hồ thé 2m'd? biệt lập [5,17,23].))| 12 Từ đó ta có: -\ Wk Waren é,(k) = at tae An c0s(k.4) 11 A(r)=Az,+As, là thế siêu mạng được xác định bởi hiệu các khe năng lượng hai ban dẫn. Như vậy, thé của siêu mạng bang tổng năng lượng chênh lệch của các vùng dẫn Ae, và độ chênh lệch năng lượng các vùng hóa trị Ae, của hai lớp bán dẫn kế tiếp. Như đã trình bày ở trên, vì chu kỳ của siêu mạng lớn hơn nhiều so với hằng số mạng, trong khi đó biên độ của thế siêu mạng lại nhỏ hơn nhiều so với biên độ của thế mang tinh thé.
Do đó, ảnh hưởng của thé tuần hoan trong siêu mạng chi thé hiện ở các mép vùng năng lượng. Tại các mép của vùng năng lượng, quy luật tán sắc có thể xem là dang bậc hai, phố năng lượng có thé tim thấy trong gần đúng khối lượng hiệu dụng. Đối với các vùng năng lượng dang hướng không suy biến, phương trình Schrodinger có dạng: hi? -A’y(r)+A(r)y(r)= Ey (r) 2m Vi A(r) la tuần hoàn nên hàm sóng của điện tử y(r) có dạng ham Block thỏa mãn điều kiện biên trên mặt tiếp xúc giữa hồ thế và hàng rào thế. Hàm sóng tong cộng của điện tử trong mini vùng n của siêu mạng hợp phần (trong gần đúng liên kết mạnh) có dang[15]: ol?) peg eL (ba »)Seven (2-m, d) 05 m=l Trong đó, Lx, Ly là độ dài chuẩn hóa theo hướng x và y; d và Nạ là chu kỳ và số chu kỳ siêu mang hợp phan; y,(z)la hàm sóng của điện tử trong hồ cô lập.
Bài toán hấp thụ phi tuyến sóng điện từ mạnh biến điệu theo biên độ trong bán dẫn khối.Sự hấp thụ sóng điện từ trong bán dẫn khối Việc nghiên cứu hiệu ứng động của bán dẫn nói chung, cấu trúc hệ thâp chiêu nói riêng cho ta nhiêu thông tin có giá trị về tính chât và các hiệu 12 ứng của hệ điện tử trong hệ bán dẫn thấp chiều. Một trong những hiệu ứng động được các nhà vật lý lý thuyết cũng như thực nghiệm quan tâm nghiên cứu đó là độ dẫn cao tần của bán dẫn và sự hấp thụ sóng điện từ trong các hệ vật liệu bán dẫn. Ngay từ những thập niên cuối của thế kỷ trước, trên quan điểm cô điển, dựa vào phương trình động học Bolzmann, độ dẫn cao tần đã được quan tâm nghiên cứu rộng rãi. Trong các công trình đó, bài toán vật lý được giới hạn trong miền tần số cô điển œ<<k7 (nhiệt độ cao), với giả thiết thời gian phục hồi xung lượng trung bình z của điện tử không phụ thuộc vào tần số @ của sóng điện từ.
Khi sóng điện từ được truyền vào vật ran thì có thé xảy ra các hiện tượng sau đây: sóng truyền qua, sóng phản xa, sóng bị hấp thụ. Sự khác nhau giữa sóng truyền trong chân không và truyền trong vật ran thể hiện qua hằng số điện môi z¿và độ dẫn điệnơ. Hang số điện môi z›cho phép xác định gián tiếp độ xê dịch của dòng hạt tải; độ dẫn điện o xác định khả năng của dòng thực mà điện trường gay ra. Phổ hap thụ của bán dẫn rất phức tạp, gồm ba phần chính sau: chuyên dịch trực tiếp từ vùng dẫn lên vùng hóa trị; chuyên dịch gián tiếp giữa vùng dẫn và vùng hóa trị và chuyển dịch nội vùng [1,6,9,7,8,17,18].
Sự hấp thụ do chuyền dịch trực tiếp giữa vùng dẫn và vùng hóa trị xuất hiện khi điện tử vùng hoá trị hap thụ một photon có năng lượng lớn hơn độ rộng vùng cấm và chuyền dịch lên vùng dẫn với vector sóng k gan như không thay đổi (do vector sóng của photon coi là rất nhỏ). Khi đó, tại vùng hoá trị xuất hiện vector sóng —k. Sự hấp thụ này xảy ra đối với những chất bán dẫn có khe vùng cam như InSb, InAs, GaAs, GaSb. Hai loại hap thu do chuyén dich trực tiếp và gián tiếp của điện tử từ vùng hoá trị lên vùng dẫn có thé được tính trực tiếp bằng lý thuyết nhiễu loạn phụ thuộc thời gian[1,6,17].
Tuy nhiên, có thé sử dụng biểu thức của tensor độ dẫn điện đề tính những chuyển dịch loại này. Hệ số hấp thụ sóng điện từ chỉ phụ thuộc vào phần thực của tensor độ dẫn điện. Khi không xét tới tương tác điện tử-phonon cũng như bỏ 13 qua các tương tác khác, biểu thức phần thực độ dẫn điện có dạng giống như quy tắc Fermi: Ww eoPEm 2 Reo, =") Z |(m| H|n)} ð(E„T— E,—h@) (1.6) mn Sự hấp thu do chuyền dịch nội vùng: ngoài các chuyên dich giữa các vùng dẫn ở trên, sự hấp thụ sóng điện từ còn phụ thuộc vào chuyên dịch nội vùng, được thể hiện khi tần số sóng điện từ nhỏ hơn độ rộng vùng cắm hoặc nếu như trong cùng một vùng năng lượng của kim loại hay bán dẫn tồn tại các trang thái lap day và các trạng thái không lấp đầy. Sự hấp thụ do chuyên dịch nội vùng là sự hấp thụ mà các điện tích tự do hấp thụ hoặc bức xa phonon liên tục dé có thé chuyển dich từ trạng thái này sang trạng thái khác.
Do đó, có thé coi chuyền dịch loại này là chuyên dịch liên tục giữa các trạng thái kế tiếp nhau[5,9,16]. Ngoài các chuyên dịch nội vùng do tương tác điện tử-phonon, điện tử tự do có thé chuyén dịch giữa các trang thai do các tương tác khác như tương tac điện tt-ion nút mạng, điện tử-tạp chất,.[12,13,19,22], trong đó tương tác điện tử - phonon có đóng góp đáng kể nhất đối với chuyên dich của điện tử tự do. Như đã phân tích ở trên, dù là hấp thụ do chuyên dịch giữa các vùng dẫn và vùng hóa trị hay hấp thụ do dịch chuyên nội vùng thì tương tác giữa hat tải và phonon có đóng góp đáng kế nhất đối với sự dịch chuyền của các hạt tai tự do.