Thiết Kế Và Xây Dựng Hệ Thống Dẫn Đường Tích Hợp INS/GPS Trên Cơ Sở Linh Kiện Vi Cơ Điện Tử

Luận án tiến sĩ kỹ thuật nghiên cứu thiết kế và xây dựng hệ thống dẫn đường tích hợp ins gps trên cơ sở linh kiện vi cơ điện tử dùng, phân tích chuyên sâu, xây dựng mô hình lý

• Tác giả: Nguyễn Văn Thắng
• Người hướng dẫn: TS Chử Đức Trình
• Trường học: Đại học Quốc gia Hà Nội
• Chuyên ngành: Kỹ thuật điện tử
• Đề tài: Hệ Thống Dẫn Đường Tích Hợp INS/GPS Cho Phương Tiện Giao Thông Đường Bộ
• Loại tài liệu: luận án tiến sĩ
• Năm xuất bản: 2017
• Địa điểm: Hà Nội

Tóm tắt

I. Tổng Quan Về Hệ Thống Dẫn Đường Tích Hợp INS GPS

Hệ thống dẫn đường đóng vai trò quan trọng trong nhiều ứng dụng, từ giao thông đường bộ đến hàng không và quân sự. Hệ thống tích hợp INS/GPS kết hợp ưu điểm của cả hai công nghệ: INS (hệ thống quán tính) cung cấp dữ liệu vị trí liên tục, không phụ thuộc vào yếu tố bên ngoài, trong khi GPS (hệ thống định vị toàn cầu) cung cấp vị trí chính xác tuyệt đối nhưng có thể bị gián đoạn. Sự kết hợp này tạo ra một hệ thống định vị mạnh mẽ, đáng tin cậy, đặc biệt quan trọng trong môi trường đô thị hoặc khi tín hiệu GPS bị yếu. Bài viết này sẽ đi sâu vào nguyên lý hoạt động, các thách thức và giải pháp liên quan đến hệ thống dẫn đường tích hợp INS/GPS. Theo luận án của Nguyễn Văn Thắng, 'Sự kết hợp giữa GPS và INS tạo ra một hệ thống mạnh mẽ hơn, khắc phục được những hạn chế riêng của từng hệ thống'.

1.1. Lịch Sử Phát Triển Của Hệ Thống INS GPS

Sự phát triển của hệ thống quán tính INS bắt nguồn từ các ứng dụng quân sự trong những năm 1940. Đến những năm 1980, sự ra đời của GPS đã mở ra khả năng kết hợp hai công nghệ này. Ban đầu, việc tích hợp còn đơn giản, chủ yếu sử dụng GPS để hiệu chỉnh sai số của INS. Tuy nhiên, với sự phát triển của bộ vi xử lý và thuật toán lọc, thuật toán Kalman filter, hệ thống tích hợp ngày càng trở nên tinh vi và chính xác hơn.

1.2. Ưu Điểm Vượt Trội Của Tích Hợp INS GPS

So với việc sử dụng độc lập, tích hợp INS/GPS mang lại nhiều ưu điểm. INS có khả năng hoạt động trong điều kiện tín hiệu GPS yếu hoặc bị chặn, trong khi GPS giúp hiệu chỉnh sai số tích lũy của INS theo thời gian. Hệ thống tích hợp cung cấp vị trí, vận tốc và hướng di chuyển liên tục, đáng tin cậy, đặc biệt quan trọng trong các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác và độ tin cậy cao như xe tự hành, autonomous driving, hoặc hệ thống hỗ trợ lái xe nâng cao (ADAS).

II. Thách Thức Lớn Nhất Của Hệ Thống INS GPS Hiện Nay

Mặc dù có nhiều ưu điểm, hệ thống tích hợp INS/GPS vẫn đối mặt với một số thách thức. Sai số của cảm biến INS có thể tích lũy theo thời gian, dẫn đến độ chính xác giảm. Tín hiệu GPS có thể bị nhiễu hoặc gián đoạn trong môi trường đô thị hoặc trong nhà. Việc xử lý và hợp nhất dữ liệu từ hai hệ thống đòi hỏi thuật toán phức tạp và hiệu quả. Ngoài ra, chi phí của cảm biến quán tính INS chất lượng cao cũng là một rào cản đối với việc ứng dụng rộng rãi. Theo nghiên cứu của Nguyễn Văn Thắng, 'Sai số của INS tích lũy theo thời gian là một trong những thách thức lớn nhất cần giải quyết'.

2.1. Sai Số Tích Lũy Của Cảm Biến Quán Tính INS

Sai số của cảm biến quán tính INS, đặc biệt là gia tốc kế và con quay hồi chuyển, là một vấn đề nghiêm trọng. Sai số này có thể do nhiều nguyên nhân, bao gồm độ lệch, độ trôi, nhiễu và sai số tỷ lệ. Theo thời gian, các sai số này tích lũy lại, dẫn đến vị trí ước tính của INS ngày càng sai lệch so với vị trí thực tế.

2.2. Vấn Đề Gián Đoạn Tín Hiệu GPS

Tín hiệu GPS có thể bị gián đoạn hoặc yếu trong nhiều tình huống, chẳng hạn như trong nhà, trong hầm, hoặc trong khu vực đô thị có nhiều nhà cao tầng. Khi tín hiệu GPS bị mất, hệ thống phải dựa vào INS để duy trì khả năng định vị. Tuy nhiên, do sai số tích lũy của INS, độ chính xác sẽ giảm theo thời gian.

2.3. Chi Phí Hệ Thống INS GPS Cao

Chi phí của các linh kiện chất lượng cao trong hệ thống INS/GPS thường khá cao, đặc biệt là với các cảm biến quán tính và bộ xử lý tín hiệu mạnh mẽ. Điều này có thể hạn chế việc triển khai hệ thống trong một số ứng dụng nhạy cảm về chi phí.

III. Phương Pháp Lọc Kalman Nâng Cao Độ Chính Xác INS GPS

Một trong những phương pháp phổ biến nhất để hợp nhất dữ liệu từ INS và GPS là sử dụng thuật toán Kalman filter. Lọc Kalman là một thuật toán ước tính trạng thái tối ưu, kết hợp thông tin từ các nguồn khác nhau và ước lượng sai số. Trong hệ thống INS/GPS, Kalman filter sử dụng dữ liệu từ GPS để hiệu chỉnh sai số của INS, và ngược lại. Các biến thể nâng cao của Kalman filter, như Adaptive Kalman filter (AKF), có thể tự động điều chỉnh tham số để thích ứng với các điều kiện khác nhau.

3.1. Nguyên Lý Hoạt Động Của Thuật Toán Kalman Filter

Thuật toán Kalman filter hoạt động dựa trên hai bước chính: dự đoán và cập nhật. Trong bước dự đoán, thuật toán ước tính trạng thái hiện tại dựa trên trạng thái trước đó và mô hình hệ thống. Trong bước cập nhật, thuật toán kết hợp các phép đo mới từ GPS để điều chỉnh ước tính và giảm sai số.

3.2. Ưu Điểm Của Lọc Kalman Trong Hệ Thống INS GPS

Lọc Kalman có nhiều ưu điểm trong hệ thống INS/GPS. Nó có thể ước tính trạng thái tối ưu, kết hợp thông tin từ các nguồn khác nhau và ước lượng sai số. Nó cũng có thể xử lý dữ liệu bị nhiễu hoặc không đầy đủ. Ngoài ra, lọc Kalman tương đối dễ triển khai và tính toán hiệu quả.

3.3. Các Biến Thể Nâng Cao Của Lọc Kalman

Có nhiều biến thể nâng cao của Lọc Kalman, chẳng hạn như Extended Kalman Filter (EKF) và Unscented Kalman Filter (UKF), có thể xử lý các hệ thống phi tuyến tính. Adaptive Kalman filter (AKF) là một biến thể khác có thể tự động điều chỉnh tham số để thích ứng với các điều kiện khác nhau. Các biến thể này có thể cải thiện độ chính xác và độ tin cậy của hệ thống tích hợp.

IV. Cách Ứng Dụng Map Matching Tăng Cường Độ Tin Cậy INS GPS

Map Matching (MM) là một kỹ thuật sử dụng bản đồ số để cải thiện độ chính xác của hệ thống định vị. Trong hệ thống INS/GPS, MM so sánh vị trí ước tính với dữ liệu bản đồ và điều chỉnh vị trí để khớp với đường đi gần nhất. Kỹ thuật này đặc biệt hiệu quả trong môi trường đô thị, nơi tín hiệu GPS có thể bị nhiễu hoặc gián đoạn. Việc kết hợp MM với thuật toán Kalman filter có thể cải thiện đáng kể độ chính xác và độ tin cậy của hệ thống.

4.1. Quy Trình Thực Hiện Map Matching Trong INS GPS

Quy trình Map Matching bao gồm các bước sau: thu thập dữ liệu vị trí từ INS/GPS, tìm kiếm các đoạn đường gần vị trí ước tính, tính toán khoảng cách giữa vị trí ước tính và các đoạn đường, và chọn đoạn đường gần nhất làm vị trí thực tế.

4.2. Lợi Ích Của Map Matching Trong Môi Trường Đô Thị

Map Matching đặc biệt hữu ích trong môi trường đô thị, nơi tín hiệu GPS có thể bị nhiễu hoặc gián đoạn do nhà cao tầng và các vật cản khác. MM có thể giúp hệ thống duy trì độ chính xác bằng cách khớp vị trí ước tính với dữ liệu bản đồ.

4.3. Kết Hợp Map Matching Với Thuật Toán Lọc Kalman

Việc kết hợp Map Matching với thuật toán Kalman filter có thể cải thiện đáng kể độ chính xác và độ tin cậy của hệ thống tích hợp. Kalman filter sử dụng thông tin từ MM để điều chỉnh ước tính vị trí và giảm sai số.

V. Ứng Dụng Thực Tế Của Hệ Thống INS GPS Trong Giao Thông

Hệ thống dẫn đường tích hợp INS/GPS có nhiều ứng dụng trong giao thông đường bộ, bao gồm hệ thống dẫn đường cho ô tô, xe tải, xe buýt, hệ thống theo dõi phương tiện, và hệ thống hỗ trợ lái xe nâng cao (ADAS). Trong tương lai, hệ thống này sẽ đóng vai trò quan trọng trong xe tự hành, cho phép xe di chuyển an toàn và hiệu quả trong mọi điều kiện.

5.1. Hệ Thống Dẫn Đường Cho Ô Tô Và Xe Tải

Hệ thống dẫn đường sử dụng INS/GPS để cung cấp hướng dẫn chính xác cho người lái xe. Hệ thống này có thể hiển thị bản đồ, chỉ đường bằng giọng nói và cung cấp thông tin giao thông theo thời gian thực.

5.2. Hệ Thống Theo Dõi Phương Tiện Trong Giao Thông

Hệ thống theo dõi phương tiện sử dụng INS/GPS để giám sát vị trí và trạng thái của phương tiện. Hệ thống này có thể được sử dụng để quản lý đội xe, theo dõi hàng hóa và ứng phó với các tình huống khẩn cấp.

5.3. Xe Tự Hành Và Tầm Quan Trọng Của INS GPS

Trong xe tự hành, hệ thống INS/GPS đóng vai trò quan trọng trong việc cung cấp thông tin vị trí, vận tốc và hướng di chuyển chính xác và đáng tin cậy. Hệ thống này cho phép xe tự hành di chuyển an toàn và hiệu quả trong mọi điều kiện.

VI. Triển Vọng Và Tương Lai Của Hệ Thống Dẫn Đường INS GPS

Sự phát triển của công nghệ dẫn đường đang diễn ra với tốc độ nhanh chóng. Trong tương lai, hệ thống INS/GPS sẽ trở nên nhỏ gọn hơn, chính xác hơn và tiết kiệm năng lượng hơn. Các thuật toán hợp nhất dữ liệu sẽ được cải thiện, cho phép hệ thống hoạt động hiệu quả hơn trong các điều kiện khắc nghiệt. Ngoài ra, sự phát triển của cảm biến MEMS sẽ giúp giảm chi phí của hệ thống, mở ra khả năng ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực.

6.1. Xu Hướng Phát Triển Của Cảm Biến MEMS

Cảm biến MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) đang ngày càng trở nên phổ biến trong hệ thống INS. Các cảm biến này nhỏ gọn, chi phí thấp và tiêu thụ ít năng lượng. Sự phát triển của MEMS sẽ giúp giảm chi phí của hệ thống INS/GPS và mở ra khả năng ứng dụng rộng rãi.

6.2. Cải Tiến Thuật Toán Hợp Nhất Dữ Liệu

Các thuật toán hợp nhất dữ liệu, chẳng hạn như Kalman filter, đang được cải thiện để hoạt động hiệu quả hơn trong các điều kiện khắc nghiệt. Các thuật toán này có thể kết hợp thông tin từ nhiều nguồn khác nhau, chẳng hạn như INS, GPS, camera và lidar, để cung cấp thông tin vị trí chính xác và đáng tin cậy.

6.3. Ứng Dụng INS GPS Trong Các Lĩnh Vực Mới

Hệ thống INS/GPS có tiềm năng ứng dụng trong nhiều lĩnh vực mới, chẳng hạn như robot, drone, và thực tế ảo. Trong tương lai, hệ thống này sẽ đóng vai trò quan trọng trong việc định vị và điều hướng cho các thiết bị tự động và các ứng dụng tương tác.

Trích đoạn nội dung tài liệu

Đặt vấn đề Những năm gần đây là khoảng thời gian mà con người sử dụng công nghệ định vị và dẫn đường phổ biến nhất. Đây là một nhu cầu hết sức thiết yếu và đặc biệt với các ứng dụng thương mại: Ứng dụng định vị, dẫn đường trong điện thoại thông minh, các loại xe ô tô, tìm kiếm cứu nạn, lũ lụt, theo dõi và cứu hộ khẩn cấp cho con người và các phương tiện đi lại… Bên cạnh đó, các hệ thống định vị và dẫn đường còn được ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác như thăm dò địa chất, theo dõi và điều khiển bay cho các phương tiện trên không (máy bay, tàu thăm dò địa chất, thám hiểm, thiết bị không người lái), định vị và dẫn đường cho các phương tiện di chuyển bằng đường hàng hải (tàu ngầm, tàu vận chuyển hàng hóa, tàu khai thác cá trên biển)… Để giải quyết được các nhu cầu đó có thể sử dụng một trong các hệ định vị và dẫn đường: Hệ thống dẫn đường vô tuyến (Loran, Omega và Tacan), hệ thống dẫn đường vệ tinh (GPS, GLONASS, Transit, JTIDS, DME…) và hệ định vị quán tính (INS) hoặc kết hợp chúng với nhau. Trong các phương thức kết hợp thì việc kết hợp INS và GPS để tạo ra hệ tích hợp INS/GPS được coi là lý tưởng nhất với lý do: GPS hoạt động ổn định và có độ chính xác cao khi làm việc trong điều kiện môi trường thuận lợi (quan sát được ít nhất 3 vệ tinh đối với các phương tiện định vị trên mặt đất và quan sát được ít nhất 4 vệ tinh đối với các vật chuyển động trong không gian). Tuy nhiên, khi GPS làm việc trong điều kiện không thuận lợi như thời tiết xấu, di chuyển vào các khu vực bị che chắn như đường hầm, trong khu vực có nhiều nhà cao tầng, đi dưới các cầu vượt và khu vực có nhiều cây cao rậm rạp… sẽ làm giảm tầm quan sát của GPS tới các vệ tinh dẫn đến tín hiệu định vị bị yếu thậm trí là mất thông tin định vị.

Bên cạnh đó, hệ định vị quán tính (INS) có ưu điểm nổi trội là có khả năng hoạt động tự trị trong bất kỳ điều kiện nào, có tốc độ cập nhật thông tin cao (1/64 giây trong khi tốc độ cập nhật của GPS là 1 giây). Tuy nhiên, INS có một nhược điểm lớn đó là khi làm việc trong khoảng thời gian dài thì sai số định vị và dẫn đường sẽ tăng do hiện tượng tích lũy sai số trong các cảm biến.bo TIEU LUAN MOI download : [e-mail] Xét về mặt chất lượng làm việc, các hệ định vị và dẫn đường đơn lẻ hay các hệ tích hợp như hệ tích hợp INS/GPS đều có sai số nhất định và đặc biệt là các hệ được thương mại hóa. Vì vậy, cần có các giải pháp nâng cao chất lượng, hiệu quả làm việc của chúng mà không làm tăng giá thành của sản phẩm. Chính vì vậy vẫn cần có các nghiên cứu để hiện thực hóa điều đó.

Có nhiều giải pháp để thực hiện như tìm ra các thuật toán thông minh, hiệu quả cho việc tích hợp hai hệ thống (bộ lọc Kalman, Kalman thích nghi…); nâng cao thuật toán dẫn đường (thuật toán Map matching); căn chỉnh để giảm lỗi ngay khi hệ thống bắt đầu làm việc; hay nâng cao chất lượng INS mà cụ thể là các cảm biến và sự kết hợp chúng với nhau. Về mặt cấu tạo, INS gồm một khối đo lường quán tính (IMU) và một thuật toán dẫn đường. Trong đó, IMU được cấu tạo bởi các cảm biến và thông thường là 3 cảm biến đo gia tốc (Accelermeter) và 3 cảm biến đo vận tốc góc (Gyroscope). Để nâng cao chất lượng làm việc của hệ tích hợp INS/GPS thương mại, luận án tập trung vào nghiên cứu và thực hiện hai giải pháp cụ thể.

Giải pháp thứ nhất là tìm ra thuật toán mới kết hợp với bản đồ số giúp cho hệ tích hợp INS và GPS làm việc hiệu quả hơn và giảm được các sai số mà các hệ tích hợp INS/GPS thông thường mắc phải (cải tiến về hệ thống). Giải pháp thứ hai là nâng cao chất lượng của INS bằng cách tạo ra một cảm biến đo vận tốc góc kiểu vi sai có khả năng bù lệch pha cho hai tín hiệu kích thích đầu vào (cải tiến về linh kiện của hệ thống). Trước khi thực hiện các giải pháp nghiên cứu mà luận án đặt ra, tác giả xin đưa ra tổng quan nghiên cứu về những lĩnh vực này ở trong và ngoài nước trong phần tiếp theo của luận án. Tổng quan về các cảm biến đo vận tốc góc và hệ tích hợp INS/GPS 1.

Tổng quan nghiên cứu về MEMS và các cảm biến dựa trên công nghệ MEMS MEMS được viết tắt của cụm từ Microelectromechanical Systems - Các hệ vi cơ điện tử, là các hệ có sự kết hợp của các thành phần có chức năng hoạt động dưới dạng điện và cơ với nhau ở kích thước cỡ mirco mét (µm). Các linh kiện MEMS ra đời vào năm 1954 khi Charles Smith tìm ra hiệu ứng áp điện trở ở các vật liệu bán -7- (LUAN.bo TIEU LUAN MOI download : [e-mail] dẫn Silicon (Si) và Germanium (Ge). Ý tưởng chế tạo các linh kiện và thiết bị có kích thước nhỏ được Richard P.Feymann đề xuất vào cuối năm 1959. Kể từ đó công nghệ này đã phát triển rất mạnh mẽ.

Công nghệ MEMS ra đời là khởi nguồn của các vi cảm biến và các bộ kích thích/chấp hành làm nhiệm vụ nhận biết môi trường và sự thay đổi trong môi trường đó [55]. Vì kích thước nhỏ gọn nên MEMS cần tới nguồn cung cấp cỡ µv và các khối vi xử lý tín hiệu [30]. Các hệ vi cơ điện tử làm cho hệ thống làm việc với tốc độ nhanh hơn, giá thành rẻ hơn, độ tin cậy cao hơn và có khả năng tích hợp được nhiều tính năng phức tạp hơn [24]. Vào những năm 1990, MEMS đã xuất hiện cùng với sự phát triển của quá trình sản xuất mạch tích hợp (IC).

Sự thúc đẩy mạnh mẽ của các chính phủ và các ngành công nghiệp đã tạo điều kiện cho sự bùng nổ các nghiên cứu về MEMS. Bên cạnh những thiết bị MEMS tích hợp đơn giản như các gia tốc kế/cảm biến gia tốc, đầu máy in phun mực. được thương mại hóa thì các thiết bị MEMS phức tạp hơn cũng đã được nghiên cứu và ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau của đời sống con người như không gian vũ trụ, các phân tích y sinh, truyền thông không dây, lưu trữ dữ liệu v. Đến cuối những năm 1990, hầu hết các bộ cảm biến MEMS trong đó có các cảm biến đo vận tốc góc và cảm biến gia tốc đã được chế tạo bằng các phương pháp: vi cơ khối (bulk micromachining), vi cơ bề mặt (surface micromachining), và LIGA (Lithgraphie Galvanofruning und Abformung): khắc hình, mạ điện và làm khuôn [27].

Ngoài ra, còn áp dụng các quy trình vi chế tạo 3 chiều căn cứ vào từng yêu cầu cụ thể như tạo ra các thiết bị y sinh và các bộ vi kích thích/chấp hành có nguồn điện áp đầu ra cao hơn. Trong các hệ vi cơ điện tử, các cảm biến gia tốc và cảm biến vận tốc góc chiếm một tỉ lệ phần trăm đáng kể trong số các cảm biến làm bằng Silicon. Cảm biến gia tốc có số lượng bán ra cao thứ hai sau cảm biến áp lực (pressure sensor) [69] và chủ yếu được ứng dụng trong ngành công nghiệp ô tô [78], ứng dụng y sinh [37], điện tử gia đình [80], rô bốt, phân tích rung, hệ định vị [73] v.bo TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail. Tổng quan nghiên cứu về ứng dụng của cảm biến đo vận tốc góc và các biện pháp nâng cao hiệu quả của hệ tích hợp INS/GPS Thuật ngữ Gyroscope (còn gọi là con quay hồi chuyển hay con quay cơ học cổ điển và sau này được gọi là cảm biến đo vận tốc góc) lần đầu tiên được đưa ra bởi nhà khoa học người Pháp, Leon Foucault.

Khi đó, Foucault đã áp dụng định luật chuyển động quay của cảm biến đo vận tốc góc để giải thích chuyển động quay của trái đất vào năm 1852 [83]. Về mặt phân loại thì con quay hồi chuyển dùng trong đo đạc, điều khiển thông thường được chia thành 3 nhóm chính: - Con quay có trọng vật quay tròn (spinning mass gyroscope) hay con quay cơ học thông thường. - Con quay quang học (optical gyroscope): Con quay laser vòng; Con quay sợi quang học. - Con quay dao động (vibrating gyroscope): Con quay dao động dựa trên công nghệ vi cơ điện tử (MEMS gyroscope); Con quay dao động hoạt động dựa trên hiện tượng áp điện hoặc áp trở.

Dưới đây là một số công trình nghiên cứu có liên quan đến các con quay này: Con quay hồi chuyển đã ra đời và được trình bày trong Hình 1. Khi cảm biến đo vận tốc góc bị quay quanh trục của nó với tốc độ cao nó sẽ chống lại chuyển động theo các hướng cố định và luôn giữ độ ổn định cân bằng ở vị trí ban đầu. Hoạt động của cảm biến đo vận tốc góc dựa trên lý thuyết của vật quay tức là khi vật quay bị nghiêng vuông góc với hướng quay thì nó sẽ sinh ra một chuyển động tuế sai hay còn gọi là chuyển động tiến động. Chuyển động này giữ cho thiết bị luôn có hướng thẳng đứng, do vậy góc liên quan đến bề mặt tham chiếu có thể đo được (vận tốc góc).

Vì vậy, có thể nói rằng thiết bị này là công cụ dùng để đo đạc và duy trì phương hướng dựa trên nguyên tắc bảo toàn mô men động lượng. Các cảm biến đo vận tốc góc đa trục sẽ cung cấp các giá trị đo theo hai hoặc ba hướng vuông góc.bo TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.1 Con quay cơ học cổ điển1 Do tính bảo toàn mô men động lượng của đĩa quay trong quá trình chuyển động, con quay cơ học cổ điển đã được ứng dụng để tạo ra các thiết bị định hướng và dẫn đường trong lĩnh vực hàng hải. Những thiết bị dẫn hướng đầu tiên đã có mặt trên những con tàu biển lớn từ năm 1911 trên cơ sở các phát minh của nhà bác học Mỹ, Elmer Sperry, như được minh họa ở Hình 1.2 Con quay cơ học dùng trong hàng hải2 Năm 1920, công cụ này đã được ứng dụng vào trong các hệ thống dẫn lái của các loại bom ngư lôi và đến năm 1930 thì được ứng dụng vào làm các bộ dẫn hướng cho hệ thống tên lửa và đạn đạo [91].com/technology/gyroscope 2 http://ed-thelen.org/Gyro-hcmut.bo TIEU LUAN MOI download : [e-mail] Sự ra đời của MEMS là tiền đề cho việc tạo ra các cảm biến đo vận tốc góc (Gyroscope) và các cảm biến đo gia tốc (Accelerometer) kích thước cỡ nm và µm.