CHƯƠNG 1.1 Điện cực dẫn điện trong suốt Hình 1. Giản đồ pin mặt trời. Điện cực dẫn điện trong suốt (Transparent conductive electrode - TCE) là màng dẫn điện cho ánh sáng truyền qua. TCE là một phần quan trọng của nhiều thiết bị điện tử và quang điện tử như màn hình cảm ứng, màn hình tinh thể lỏng (LCD), điốt phát quang hữu cơ (OLED), pin mặt trời,.
Ví dụ, trong tế bào năng lượng mặt trời, TCE có thể đóng vai trò làm cực âm hoặc cực dương cho phép ánh sáng truyền qua và đi vào thiết bị, đồng thời thu các điện tích được tạo ra.1 cho thấy giản đồ của một pin mặt trời có TCE làm cực âm. Tương tác của các photon với vật liệu có độ rộng vùng cấm khác nhau. Các vật liệu phổ biến nhất hiện nay được sử dụng làm điện cực trong suốt là các oxit dẫn điện trong suốt (Transparent conductive oxides - TCO) điển hình như oxit thiếc indium (ITO) và oxit kẽm pha tạp nhôm (AZO). Màng các oxit dẫn điện trong suốt đối với ánh sáng nhìn thấy vì năng lượng vùng cấm của chúng cao hơn Luận văn Thạc sĩ Khoa học Hoàng Văn Hoàn 4 Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu năng lượng của các photon trong vùng khả kiến.
ITO có độ rộng vùng cấm là 3,75 eV [13], nên có thể hấp thụ một phần lớn ánh sáng có bước sóng nhỏ hơn 300 nm. Độ truyền qua đối với các bước sóng trên 1000 nm giảm theo cấp số nhân do có liên quan đến dao động chung của các điện tử vùng dẫn, được gọi là dao động plasma [13]. Độ truyền qua và độ dẫn điện của màng oxit dẫn điện trong suốt có thể được điểu chỉnh bằng cách thay đổi độ dày của màng lắng đọng. Màng dày hơn tạo nhiều kênh dẫn điện tử hơn, nhưng kém trong suốt tức là độ truyền qua và độ dẫn điện tỉ lệ nghịch với nhau.
Phổ truyền qua và phản xạ của vật liệu ITO [14]. Trong thập kỷ qua, thị trường màn hình điện tử và màn hình cảm ứng đã tăng mạnh. Các công nghệ thiết bị mới yêu cầu các tính năng mới cho TCO như tính linh hoạt cơ học, quy trình chế tạo đơn giản, chi phí thấp và trọng lượng nhẹ. ITO không thể đáp ứng mọi kỳ vọng cho thế hệ điện tử tiếp theo.
Thứ nhất, ITO có đặc tính giòn, vì vậy nó không linh hoạt; khả năng biến dạng thấp, biến dạng nhỏ 2- 3% cũng có thể tạo ra các vết nứt của màng ITO trên các đế mềm dẻo làm giảm độ dẫn điện của điện cực và giảm hiệu suất của thiết bị [15]. Thứ hai, indium là một nguyên tố hiếm và giá của indium rất đắt đỏ [16]. Thứ ba, chế tạo ITO rất tốn kém, đòi hỏi môi trường nhiệt độ cao và chân không cao để kiểm soát độ dày và nồng độ pha tạp [16]. Ngoài ra, nó được lắng đọng bằng phương pháp phún xạ có thể làm hỏng các lớp bên dưới trong trường hợp thiết bị hữu cơ.
Cuối cùng, ITO không Luận văn Thạc sĩ Khoa học Hoàng Văn Hoàn 5 Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu thích hợp cho các ứng dụng hiển thị vì có chỉ số khúc xạ cao, phản xạ ánh sáng, theo đó làm giảm độ sáng của màn hình. Một lớp phủ bổ sung cần được áp dụng để giải quyết vấn đề này, dẫn đến việc tăng giá thành của thiết bị. ITO được nghiên cứu khả năng ứng dụng trên các đế mềm dẻo linh hoạt như polyethylene terephthalate (PET) [16]. Tuy nhiên, những cách tiếp cận này không chỉ làm tăng thêm chi phí sản xuất mà còn làm giảm tính chất quang và điện của các điện cực.
Vì vậy việc nghiên cứu tìm ra các vật liệu thay thế ITO được ưu tiên hàng đầu.2 Các vật liệu thay thế Các vật liệu đáng chú ý hiện nay để thay thế ITO bao gồm graphene, ống nano cacbon (CNT), polyme dẫn điện trong suốt, dây nano kim loại.1 Graphene Graphene là một dạng thù hình của cacbon có cấu trúc hai chiều (2D) với các nguyên tử cacbon sắp xếp đơn lớp tạo thành mạng có dạng tổ ong. Graphene lần đầu tiên được chế tạo bởi Noveselov và Geim vào năm 2004 [17], được coi là hệ vật liệu quan trọng của nhiều lĩnh vực đặc biệt trong chế tạo các linh kiện quang điện tử. Mạng tinh thể lục giác của graphene [18]. Tính dẫn điện của graphen hầu hết là do liên kết π liên hợp trọng mạng tinh thể.
Tính ổn định của graphen do các nguyên tử cacbon trong graphene có lai hóa sp2 (tổ hợp của obitan s, px và py tạo thành liên kết σ). Điện tử còn lại tức obitan pz của từng nguyên tử cacbon chồng lên nhau và tạo ra hai dải liên kết, π và π*, cho toàn bộ tấm. Trong graphen đơn lớp, các nguyên tử cacbon liên kết với các nguyên tử xung quanh tạo thành các vòng benzen trong đó mỗi nguyên tử cho một điện tử chưa ghép đôi. Liên kết cacbon-cacbon trong graphene có độ dài khoảng 0,142 nm.
Độ dày của graphen chỉ bằng 0,35 nm, bằng 1/200.000 đường kính của tóc Luận văn Thạc sĩ Khoa học Hoàng Văn Hoàn 6 Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu người. Graphen là vật liệu siêu nhẹ với mật độ phẳng là 0,77 mg/m2. Cấu trúc của graphen là một vòng cacbon lục giác với diện tích 0,052 nm2 (hình 1. Một vòng benzen trong graphene chỉ bao gồm hai nguyên tử cacbon vì mỗi nguyên tử ở đỉnh được chia sẻ với ba vòng đơn vị khác.
Do đó graphene có cấu trúc mỏng nhẹ nên có độ trong suốt rất cao, độ truyền qua 97,7% tức là nó chỉ hấp thụ 2,3% ánh sáng vùng nhìn thấy [19]. Theo sự khúc xạ và giao thoa của ánh sáng, graphene với số lượng lớp khác nhau sẽ cho thấy các màu sắc và độ tương phản khác nhau [20]. Kết hợp với độ dẫn điện cao, graphene trở thành một màng dẫn điện trong suốt rất tiềm năng cho việc thay thế nhiều màng TCE truyền thống khác như oxit thiếc indium (ITO), flo oxit thiếc pha tạp (FTO). Khi sử dụng graphene trong lĩnh vực này có thể giải quyết vấn đề về tính dễ vỡ, ô nhiễm môi trường và nguồn tài nguyên indium hạn chế.
Hơn nữa, sự hấp thụ ánh sáng của graphene sẽ đạt tới độ bão hòa nếu cường độ của ánh sáng vượt quá một giá trị tới hạn nhất định. Sự hấp thụ bão hòa trong graphene xảy ra ở vùng cận hồng ngoại do graphene có dải hấp phụ rộng và độ rộng vùng cấm bằng không. Một tính chất thú vị khác của graphene là tính linh động của điện tử. Cho đến nay graphen là vật liệu dẫn điện cao nhất ở nhiệt độ phòng (~ 106 S/m), độ linh động rất cao (2 x 105 cm2/V.
Như đã đề cập bên trên, các nguyên tử cacbon trong graphene được lai hóa sp2, cho thêm một điện tử vào liên kết π hoàn toàn tự do di chuyển ở nhiệt độ phòng, mang lại độ dẫn cao. Bên cạnh đó graphen là một bán kim loại do có sự xen phủ nhỏ giữa vùng dẫn và vùng hóa trị của nó. Do đó, các điện tử đỉnh vùng hóa trị có thể nhảy lên đáy vùng dẫn với năng lượng thấp hơn mà không cần bất cứ kích thích nhiệt nào. Độ dẫn nhiệt và độ bền cơ học của graphen cũng rất cao.
Graphen có cấu trúc tinh thể cứng và dai nhất trong số tất cả các vật liệu đã biết. Độ bền kéo và mô đun đàn hồi của graphen tương ứng là 125 Gpa và 1,1 Tpa [23]. Độ dẫn nhiệt của graphen ở nhiệt độ phòng là khoảng 5 x 103 W/mK [43], cao hơn gấp 10 lần độ dẫn nhiệt của đồng (401 W/mK). Tuy có nhiều tính chất vượt trội để thay thế ITO trong TCE, công nghệ chế tạo graphene chất lượng cao và lắng đọng lên đế vẫn gặp nhiều thách thức.
Graphene chủ yếu tổng hợp dựa theo ba phương pháp là CVD, tách lớp, và khử GO thành graphene (rGO). Với phương pháp tách lớp, tách lớp cơ học bằng băng dính chuyên dụng bóc tách graphene từ khối graphite cho hiệu suất kém và dễ gây ra các khuyết tật, đứt gãy trên tấm nên ít được dùng trong sản xuất graphen. Phương pháp tách lớp trong dung dịch (liquid exfoliation) sử dụng lực tác dụng mạnh lên graphite trong dung dịch bằng phương pháp rung siêu âm hoặc chuyển động tốc độ cao. Các dung dịch thường được dùng cho phương pháp này là các dung dịch Luận văn Thạc sĩ Khoa học Hoàng Văn Hoàn 7 Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu hữu cơ như imethylformamide (DMF) [24], N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) [25].
Tuy nhiên, các chất kể trên có nhiệt độ sôi cao khiến việc loại bỏ chúng rất khó khăn sau khi phủ dẫn đến điện cực trong suốt chế tạo bằng phương pháp tách lớp thường có điện trở bề mặt cao (~ 1k Ω/ ) ứng với độ truyền qua (~85%). Điện trở bề mặt có thể giảm đi hai hoặc ba lần nếu sử dụng thêm chất pha tạp (VD: HNO3 ) và phải nung ở nhiệt độ cao (>400 °C) để loại bỏ hết chất hữu cơ cũng như liên kết các tấm graphene với nhau. Lắng đọng pha hơi hóa học (CVD) cũng là một phương pháp để chế tạo màng graphen. Mặc dù với chi phí cao, yêu cầu nhiệt độ cao và nhiều điều kiện khắt khe khác, nó vẫn là phương pháp được sử dụng rộng rãi để tổng hợp graphene.
Đơn lớp graphene có thể được tổng hợp trên lá đồng đa tinh thể dựa vào quá trình phân hủy của hợp chất hidro-cacbon (điển hình là CH4 và H2) dưới nhiệt độ ~1000 °C và áp suất 250 mTorr. Tấm đồng hấp thụ hidro-cacbon và phân hủy tạo thành C ở bên trong và quá trình tiếp diễn cho đến khi nồng độ của cacbon bên trong đạt bão hòa. Khi đó, xuất hiện các mầm ở bên ngoài tấm đồng, chúng hợp nhất với nhau và tạo ra một lớp graphen bao phủ hoàn toàn bề mặt tấm đồng [26]. Để lắng đọng graphene lên đế, có thể sử dụng một loại băng dính nhiệt chuyên dụng và xử lý đồng còn dư bằng dung dịch FeCl3.
Một phương pháp khác để tổng hợp graphene là khử graphene oxit (GO) thành graphene. Phương pháp này có thể sản xuất mực in graphene với số lượng lớn nhưng lại sử dụng hóa chất khử độc hại như hydrazine. Đồng thời chất lượng graphene cũng kém hơn phương pháp tách lớp do quá trình khử diễn ra không hoàn toàn và để lại nhiều khuyết tật trên tấm graphene. Tóm tại, graphene được chế tạo bằng phương pháp CVD có thể đạt được điện trở bề mặt dưới 100 Ω/ nếu pha tạp đúng cách.
Tuy nhiên hầu hết các phương pháp đã được nghiên cứu đều cho điện trở khoảng 1 kΩ/.